Application of 3D Reality Technology for New Fab Construction Project
三維實境技術在高科技廠房專案的應用
The Faster Installation Method for PCW Hookup
精進速度的製程 冷卻水系統安裝工法
隨著公司產能建置越來越快，裝機任務能否順利達成取決於廠商人力與施工效率兩大因素，但目前廠商專業人力常無法滿足大量裝機需求。其中製程冷卻水( PCW)系統安裝，遭遇最大問題就是專業銲工人力的短缺，因專業銲工人力的培養...
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Machine Engineering Data Analysis Processing Technology
機台工程資料分析預先處理技術
隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...
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Introduction of EUV Foundation Installation
談極紫外光微影掃描設備基座安裝
現今半導體先進製程產業已是不進步就是退步的高度競爭之中，隨著產品愈來愈精密，設備機台對於安裝環境的需求也相對愈來愈高。以基座（Foundation）而言，從一開始的載重需求至微振動需求，進而增加剛性的需求，每一個需...
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Recycled Material Activation of Disconnection Tool
拆移機資產活化再利用
近年半導體製程演進快速，調整機台配置(layout)以滿足產能需求已成常態，加上廠區無塵室(fab)空間有限，進而衍生大量拆移機發生，統計2016年1月至2017年12月，新竹及台南廠區約2,000多台拆移機，其中...
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On-site Earthquake Early Warning System Set Up and Performance Verification
現地型地震預警系統的設置實務與績效驗證
本文將先簡單介紹地震預警系統的發展歷史及目前的應用層面，然後再詳細說明地震預警系統的理論及種類，並比較各系統硬體及運算邏輯的差異。在讀者已有基本的地震預警知識後，才進入到本文的主題「現地型地震預警系統的設置實務與績...
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Hookup Integration System Development
裝機整合管理系統的建置
裝機配管工程，又稱為二次配管裝機工程（Hookup），為半導體廠房新建或擴建專案時，連接主要生產機台之施工作業。本文主要針對本公司裝機配管從招標發包階段之成本管理方法進行探討，說明目前遭遇之困難及如何藉由系統工具的...
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The Development and Application of Hookup Hierarchy System
裝機工程階層式系統的發展與應用
新機台裝機時，需依據製程生產機台的需求進行各種廠務供應系統二次配管的設置，為符合母廠的相同標準，管路配置被要求與標準機台進行比對符合相同的標準；本篇在此將闡述藉由階梯式的表格建立明確地將管路配置的上下游階層關係，應...
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Full-Casing Pile Design,Construction and Quality Management
全套管基樁設計施作與品質驗證
本文主要在說明中科新建廠房建築物載重基樁選用全套管基樁工法之主要考量，包含地理位置、地質特性、工法成熟度與專案時程要求等因素，並藉由本工程從地質資料蒐集、基樁載重試驗確認極限承載力、基樁施工後驗證承載力、施工階段查...
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金筆獎入圍
Application of 3D Reality Technology for New Fab Construction Project
三維實境技術在高科技廠房專案的應用
隨著資訊科技及行動電子裝置的發展，虛擬實境、擴增實境及混合實境等科技新技術如雨後春筍般湧現，且已成功應用於石化、汽車及遊戲產業。本文透過文獻探討，分別介紹虛擬實境、擴增實境及混合實境等科技新技術，並依高科技廠房專案...
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Intelligent Design to Implement for All TSMC Office Buildings
台積電辦公大樓導入智慧化設計
台積電自從竹科十二廠第四期辦公大樓取得台灣第一棟智慧建築與綠建築雙鑽石級認證後，300mm Fabs廠務處就開始思考如何將智慧化的措施與綠建築規範一樣，納入於採購規範當中作為新廠建築之發包設計準則；近年來ICT(I...
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The Considerations of Building Planning and Construction Quality Control in accordance with the Changes of CNS Standards Related to Fire-Resistance
從建築物構造耐火試驗法國家標準變更談建廠規劃及品管注意事項
經濟部標準檢驗局參照國際ISO 834系列標準於2014年11月3日公告制定CNS 12514-1、4、5、6、7、8、9等7部新版建築物構造構件耐火試驗法系列標準，內政部營建署亦因應國家標準變更，訂定2015年6...
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Systematic Removal of Wooden Template - Wooden Template Removal with Platforms to Enhance Efficiency and Safety
木模板拆除系統化 - 研究以平台式拆除木模板提升效率及工安
傳統木模板拆除其工率及安全上有賴豐富經驗之師傅，然而國內技術工人有老化趨勢以及技術傳承斷層的問題，如何提高施工效率與安全之作業環境，便形成新建廠專案管理重要課題。本文透過木模板拆除載具比對試驗，並參考無塵室平台施工...
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Application of Micro Vibration On-line Monitoring System
微振動即時監測系統之應用
本文將先簡單舉例說明「振動」對半導體機台的影響性，再介紹國際上常用的Colin Gordon微振動準則(VC-Curves)，讓讀者了解振動對產能、良率的影響性。之後的章節將說明微振監測系統的架構與應用範圍，以及與...
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Integrating Next-Generation Technology Into Today’s Nano/MEMS Research Facilities
整合次世代技術於現今奈米/微機電廠務系統之探討
This article is to describe the architectural design approach to the latest-generation nano/MEMS research f...
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Standard Architectural Drawings in Construction
建築標準圖的應用
本文主要在探討建築標準圖在專案過程中的應用，試圖闡述何謂建築標準圖，並依序說明標準圖的目的、範疇、內容及該由誰來負責這項工作，且以新建廠房專案說明如何將建築標準圖應用在專案生命週期的不同階段，最後以建築標準圖未來進...
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Database Enhancement of the Tools Utility Requirement for New Fab Project
新建工程機台需求之資料庫進階強化計畫
新廠的設計，是依製程生產機台的需求（Tools Utility Requirement）及位置（Layout）進行各種廠務供應系統之設置與規劃；本篇將闡述藉由 IDI (Initial Design Integra...
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