TSMC 廠務季刊

2012.10, Vol.08 / 技術專文

Performance Test for 40nm Liquide Particle Counter

40奈米液相微粒分析儀實測

文 | 洪舜立 | 專案管理部 |

在晶圓的生產過程中微粒(Particle)會造成品質瑕疵，甚至於報廢，因此如何量測與去除一直是個重要議題，本文針對量測液相流體微粒的新式40奈米微粒分析儀(Particle Counter)與現行主力65奈米分析儀...

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2012.10, Vol.08 / 新象新知

Waste Chemical Recycle Technology

化學廢液回收再利用技術

文 | 鄭昭平 | 廠務技術發展專案 |

18吋(450mm)晶圓這個名字在半導體產業從2007年的初試啼聲，到現在大家已耳熟能詳，其所代表的意義，18吋已不再是“做”與“不做”的爭議，而是反應出對它的需求越...

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2012.10, Vol.08 / 新象新知

Recent Development of OLED ( Organic Light Emitting Diode)

可撓式OLED顯示器最新應用

文 | 林宥芯 | 新廠規劃部 |

近年來隨著科技進步，個人電腦、網路及資訊傳播的普遍化，顯示器成為了人機互動不可或缺的重要角色，而不斷進步的顯示技術更是帶動了顯示器產業跨躍式的發展。傳統ㄧ般的CRT螢幕對使用者來說，顯得厚重、佔體積，因此已逐漸的被...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃

The New Solution to Voltage Sag - Preliminary Analysis on DySC

解決壓降的新選擇 - 淺談動態壓降校正器

文 | 張清淦 | 新廠營建部 | 魯建文 | 安葆國際實業股份有限公司 |

依據美國電力EPRI電力研究協會的統計，製造業廠房每年平均經歷20次以上因電力問題影響產線的事故，大部分都被認為是件”沒辦法解決的事”，為了避免這些電力系統壓降問題影響產線正常生產，以往多採...

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2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Innovative Air Condition Chilled Water System Multi-Core Concept Implementation of Energy Efficient Design and Operational Optimization

創新型空調冰水系統多核心分工節能設計及運轉最佳化

文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 胡毓堂 | 吳孝修 | 三廠廠務部 |

本研究以逆向思考突破傳統舊有節能思維，以創新方法新技術之“多核心分工節能最佳化模式”運轉，亦即依不同天候條件及空調負載變化需求，各系統做最適化相互匹配及多核心分工變頻運轉，使其運轉處於最佳狀...

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2012.7, Vol.07 / 技術專文

Decay Distance of Magnetic Field Emitted by Tools

機台產生的磁場其衰減強度與距離關係之探討

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

機台作業時會產生電磁波，為使機台彼此不受電磁波干擾，筆者即進行機台磁場強度的衰減距離研究，以便找出機台之間不受電磁波干擾的安全距離。除了實際測量並搭配理論來做擬合，並透過合理的參數來做物理理論擬合的解釋，結果發現機...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

Green Concept of Wet Scrubber Design Development in tsmc

綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 楊宗敏 | 晃誼科技股份有限公司 |

面臨製程機台排氣量不斷增加、成分越來越複雜的挑戰下，我們必須對空氣污染防制設備進行改善。本文將針對台積電各十二吋廠洗滌塔的發展趨勢及所面臨之困境進行探討，以既設廠設計搭配學理說明，分析不同的設計因子對處理效率的影響...

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2012.4, Vol.06 / 技術專文

Floor Vibration Assessment

樓板振動評估

文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |

The floor vibration control is very important not only to High-Tech manufacturing factory but also to other...

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2012.4, Vol.06 / 技術專文

Energy Saving Lighting Control Systems for F15 Office

十五廠辦公大樓節能照明控制與設計

文 | 林文琮 | 公共設施服務部 |

在科技發達的今天，照明需求也多樣化，然而此多樣化不只侷限在不同類型的燈具，照明控制的需求也逐漸的增加，尤其如何建立一套功能強大與價格合理及親和式控制介面的照明控制一直是業界的努力目標。桌面上燈光到底有多亮？是使用...

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2012.4, Vol.06 / 新象新知

A Moving Aesthetic of Contemporary Building：Southern Branch of National Palace Museum

當代建築的流動美學 - 故宮南院

文 | 洪湘寧 | 新廠規劃部 |

歷經一波三折，國立故宮博物院南院興建計畫終於塵埃落定，佔地七十公頃的故宮南院園區將於2015年全面開放營運，博物館主體建築由姚仁喜率領的「大元聯合建築師事務所」設計；園區景觀則由行遠國際開發工程股份有限公司負責。故...

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2012.4, Vol.06 / 新象新知

Different Thinking of Office Interior Design

辦公室設計的另類思考

文 | 馬匡偉 | 公共設施服務部 |

新的辦公室設計觀念是要讓員工能把辦公室當做第二個家，所以在設計上儘可能朝向提高舒適度及增加多樣化，例如在辦公室主走道與走廊上，利用空間轉折、顏色及照明的變化來創造一些空間以做為休閒區塊或小型的對談區及討論室，又或可...

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2012.1, Vol.05 / 特別企劃

Apply Simulation and Analytical Techniques in Construction Resource Planning and Scheduling

應用模擬及分析技術於營建工程的資源分配及時程規畫

文 | 陳士明 | 陳柏翰 | 張陸滿 | 國立台灣大學 |

迄今為止，很少有文獻介紹在特定的工程目標及限制條件下，承包商如何找出人力、材料、設備及空間的最佳化分配。因此，傳統的資源分配及時程規畫方法往往相當依賴經驗或直覺判斷，而非依據實際數據做分析。本文作者應用模擬及分析技...

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2012.1, Vol.05 / 技術專文

Facility Seismic Design

設備的地震力設計考量

文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 |

本文主要在探討機電附屬設備地震力設計的法範與TSMC的設備耐震規範。一般而言，在建築物的使用期間，遭遇一次強烈地震使得主體結構損壞的機率可能只有2%，但是攸關半導體廠房機能的廠務與製程設備，卻可能在一次五到十年回歸...

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2012.1, Vol.05 / 技術專文

i-GET System (Intelligent-Gas Chemical Tracing)

氣體及化學原物料品質即時追蹤系統

文 | 朱慧明 | 研究專案部 |

隨著製程技術進入奈米世代，原物料對晶片良率的影響越來越重要，當有異常發生時，能夠迅速的找到問題所在，並採取必要的防護措施是非常關鍵的，i-GET (Intelligent - Gas Chemical Tracin...

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2012.1, Vol.05 / 新象新知

Smart Parking Application - F15 Office Building eTag Solution

採用eTag（電子識別標籤）作為智慧型停車場之創新應用－以十五廠辦公棟停車場作規劃設計

文 | 鄒李達 | 十五廠二期專案 |

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2011.10, Vol.04 / 特別企劃

Introduction to F14P3 Office Building Innovative Design and Maintenance

十四廠三期辦公棟創新設計與維護簡介

文 | 蘇鈺洲 | 新廠設計部 | 伍建南 | 公共設施服務部 |

十四廠三期辦公棟是目前台積最新穎的辦公區，有多項創新的設計及兼具綠建築的實踐。除了延續十二廠四期辦公棟的設計理念外，也導入許多新的設計概念來讓辦公環境更自然且人性化，本文的主軸以介紹幾項能夠代表這棟建築物的獨特性為...

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