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2016.6, Vol.22 / 技術專文
The Retrospect and Innovation of Cooling Tower Plume Reduction Design
冷卻水塔水蒸氣改善設計回顧與創新
文 | 李建享 | 中科廠務一部 | 徐明甫 | 中科廠務一部 | 楊志偉 | 新廠設計部 | 邱育暐 | 太丞股份有限公司 |
本文主要分析水蒸氣產生的原因，並參照國內外最新技術，比較各種應用實例，以此發展適合廠區使用之改善方式，經過事前的評估計算及分析，設計了消霧裝置，再經現場量測驗證後，確實有效的減少自冷卻水塔排放至大氣中的水氣，並減少...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
A New Perspective Heat Recovery - Total Heat Recovery and War Against Cold
全新角度檢視水側熱回收 - 全熱回收抗寒大作戰
文 | 蘇泓霖 | 鍾善昌 | 南科廠務四部 |
目前廠內35℃溫水熱源使用12℃冰機冷卻水出水溫度供應，在無塵室低負載或者極劣氣候-寒流狀態下，因已無熱能再被12℃冰機吸收，會直接影響35℃溫水溫度下降，間接影響到無塵室溫、溼度控制。因此本文提出新運轉手法再進化...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
The Dynamic Energy Saving MAU
動態節能外氣空調箱
文 | 陳廷宇 | 徐家紹 | 葉俊賢 | 竹科廠務三部 |
公司在廠房設計階段，就已經將綠建築納入設計發包範圍內，接著就該思考如何將智慧化措施也納入設計中。在針對無塵室空調系統各單元深入解析後，將實際運轉經驗知識化，並透過監控系統自動化，導入了智能系統即完成了標準化的動態節...

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點閱 (52)
2016.6, Vol.22 / 技術專文
The Brief Introduction of the Application of Run-Around Coil Heat Recovery System to MAU
淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用
文 | 施文彬 | 中科廠務一部 | 張智凱 | 奇立實業股份有限公司 | 樊素娟 | 艾法股份有限公司 |
節能減碳，提高能源使用效率已成為當前刻不容緩的議題之一。本文透過對於盤管環路熱回收系統的介紹，以及瞭解該系統在實際空調領域的應用方式後，說明如何將盤管環路熱回收系統導入半導體廠「外氣空調箱」（Make-up Air...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
Development and Application of Energy Conversion Factors (ECFs) Calculator of Fab Facility Systems
廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用
文 | 蔡耀文 | 林廸 | 胡石政 | 國立台北科技大學能源與冷凍空調工程系 |
製程機台的耗能除了本身直接的電力需求外，尚需考量廠務系統之能耗，SEMI S23定義了能源轉換係數為提供單位製程設施使用量所需之耗電量，透過廠務「能源轉換係數」（Energy Conversion Factor, ...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文
Micro Contamination Prevention -Application of IPA Reduction in F12P6 ECP Area
微污染防治 - 十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇減量之應用與探討
文 | 趙世閔 | 李懷宇 | 周家祿 | 竹科廠務三部 |
隨著半導體製程快速演進，氣態分子汙染物(AMC)對於半導體廠的製程良率有顯著影響，異丙醇(IPA)為常見之溶劑，普遍用於機台清潔與製程內晶圓清洗，已有許多案例證實IPA對於電化學電鍍（ECP）製程之晶邊良率具有極大...

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2016.6, Vol.22 / 新象新知
New Design of VOCs Abatement System : Regenerative Thermal Oxidizer and Rotary Recuperative Thermal Oxidizer
揮發性有機物削減設備節能新設計：蓄熱焚化爐與旋轉閥式蓄熱焚化爐
文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 曹志明 | 十五廠六期新建工程專案 | 劉邦昱 | 華懋科技股份有限公司 |
目前公司廠內所使用的有機廢氣處理，採用沸石濃縮後再以高熱進行焚化，並且利用熱回收，將燃燒後的廢熱透過熱交換提高燃燒前的廢氣溫度；而隨著節能的目標不斷提升，燃燒所消耗的燃料量也漸漸受到重視，以熱再生技術取代熱回收技術...

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金筆獎入圍
2016.6, Vol.22 / 新象新知
Local Scrubber Enhancement─ UV Technology Application in N2O Reduction
廢氣處理設備大突破 - 紫外光技術應用於氧化亞氮減量
文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |
2015年12月聯合國COP21巴黎協定，通過限制全球升溫不超過攝氏2度的目標，各國政府紛紛提出國家自定減碳計畫，面對日益嚴格之溫室氣體減量管制趨勢，為達到廠區自我要求改善目標，本文以目前台積電僅次於PFCs第二大...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文
Introduction of Simulation Technology Development for Electrical System
電力系統模擬器的開發技術介紹
文 | 賴意中 | 300mm Fabs廠務處 | 黃柏賓 | ABB艾波比股份有限公司 |
本文說明如何透過軟體開發一個全廠規模的電力系統模擬器，從現況分析到系統架構逐步拆解，利用原生的電力監控程式語言，打造出擬真的虛擬電力系統操作平台，進而提供運轉人員在沒有風險的情況下，進行各項的操作模擬訓練，模擬器規...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文
TSMC 1-Second UPS Development and Applicatio
一秒鐘不斷電系統合作開發與實際應用
文 | 陳柄宏 | 南科廠務三部 | 游天威 | 南科廠務三部 |
早在2010初南科廠務提出一項構想，並與不斷電系統（以下稱UPS ; Uninterruptible Power Supply ）製造商研發團隊合作，在不改變機台之既有電力供應方式與保養時間的前提下，能有一套電壓調...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文
Application Analysis of Lead-acid Battery Regeneration
鉛酸電池再生應用分析
文 | 陳敏睿 | 竹科廠務一部 | 賴彥廷 | 竹科廠務一部 |
不斷電系統( Uninterruptible Power Supply ; UPS )為確保晶圓廠生產不受電力系統供電品質影響的重要設備，而其中核心儲能元件電池對於UPS能否在電力系統異常時提供受保護設備穩定的電源...

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點閱 (33)
2016.3, Vol.21 / 技術專文
Semiconductor Factory Power System Transient Surge Defense and Protection
半導體廠電力系統尖波分析與防治
文 | 李豐裕 | 南科廠務三部 |
本文主旨在說明電力系統因為雷擊、斷路器開關、電力電子元件切換、共振等因素所產生的雜訊對電力系統正弦波所造成的畸變，以及這些雜訊對系統上的各類電氣設備可能產生的影響。介紹針對這些異常雜訊，建立量測與預防機制，及提供改...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文
Fab15 Generator Operation Smoke Reduction Improvement
十五廠發電機運轉黑煙減量改善
文 | 林裕翔 | 中科廠務一部 |
台積電中科廠區，執行發電機保養啟動時排放黑煙的狀況，雖符合現行環保法規要求，但因發電機數量眾多，啟動時所產生的黑煙龐大且集中有礙觀瞻之慮，容易造成民眾的疑慮。作為國內標竿企業，面對環保議題戮力積極改善，降低機組啟動...

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金筆獎入圍
2016.3, Vol.21 / 技術專文
Facility System Blackout Testing
高科技廠房電力系統全黑測試
文 | 黃舜鴻 | 竹科廠務二部 |
廠務電力系統的全黑測試為新建科技廠房驗證廠務系統當電力發生重大異常甚至停電時，供電可靠度或電力備援能力之測試。本文將分享新建廠房在正式運轉前必經的電力系統全黑測試，紀錄測試前準備工作及測試過程，期許經由此次測試之項...

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金筆獎入圍
2016.3, Vol.21 / 技術專文
The Total Management of Facility Alarm Suppression
廠務全面警報隔離與氣化參數管理
文 | 朱烜宏 | 中科廠務一部 | 林宗廷 | 南京廠務專案 |
監控系統的警報隔離對廠務運轉管理而言是非常重要的，無論是工程進行、維護保養、異常處理、停機等都必須進行警報隔離，讓主管與值班人員可以聚焦於非計劃性的警報，隨時掌握系統運轉狀況。透過警報的全面隔離管理，可以有效率的管...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文
Cost-effective Disaster Recovery Solution
伺服器備援機制最佳效益方案
文 | 林安祺 | 涂賢凱 | 南科廠務一部 |
現代企業大多擁有為數眾多的伺服器，提供使用者各種不同的服務，例如資料庫、網頁、eMail等，如何維持伺服器持續正常運轉及故障時能在最短時間內恢復功能，一直是十分重要的課題。在業界常用的作法之一就是建構高可用性叢集(...

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