TSMC 廠務季刊

2011.7, Vol.03 / 特別企劃

Giga Fab15 - a Sustainable Building

創新設計 - 超大晶圓廠十五廠永續建築

文 | 賴敏政 | 規劃管理部 |

台積中科15廠第三座Giga Fab，也是台積電所擘畫的另一段美好的延伸，醞釀許久的中科廠在2010年7月15日正式動土,時間才剛過不久，2011年5月12日正式進入移機階段，在這300天的一點一滴，只有往前絲毫沒...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

Using Welding Parameters, Empirical Rules and Critical Path Method to Manage the Installation of PVDF/PP Piping System in a UPW System

利用系統化的施工數據及要徑法，管理純水系統中PP及PVDF配管工程

文 | 丁瑞華 | 十二廠六期專案 |

利用系統化的施工數據分析及專案管理模式，管控純水系統專案中大量安裝之聚偏二氟乙烯管線 (polyvinylidene fluoride; PVDF) 及聚丙烯 (polypropylene; PP) 管線工程，使能...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

Exhaust Damper Improvement, Development and Application in New Fab Construction

排氣系統風門型式發展與新建廠區之應用

文 | 姚文淙 | 十二廠六期專案 |

在廠務排氣系統的建置過程中，風門與風管為主要的構成元件。若以去年新建完成之十四廠四期廠區為例，整個排氣系統的建置總排氣量，約為3,000,000CMH，其中風管的材料使用總量，達到30,000平方公尺以上。若單就風...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

General Introduction of Smart Device Diagnosis to Improve Process Efficiency Management

由控制閥診斷談製程效能管理

文 | 鄒李達 | 十五廠二期專案 |

儀錶製造的技術及功能近年來因IC研發及製程的進步而日新月異，近十年來各大控制廠商也陸續設計出智能儀錶(Smart Device 或Intelligent Device)。而儀錶設備如何應用在製程生產讓控制生產更加穩...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

Liquid Helium Supply System Implement Evaluation

液態氦氣供應系統導入TSMC評估

文 | 洪舜立 | 十二廠六期專案 |

液態氦氣供應系統能兼顧品質、供應來源充足、節能省碳及降低工作Loading等多重功效，本文說明液態氦氣供應系統與氣態氦氣供應系統之差異並對建立長期穩定的氦氣供應系統提出分析，藉此整合採購、廠務風險管理及製程同仁們的...

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金筆獎

2011.7, Vol.03 / 技術專文

TSMC Hsinchu, Taichung and Tainan FAB Acceleration Scale Factor During Earthquake and Damper Design Concept

竹科、中科、南科FAB地震放大倍率與阻尼器減震策略

文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 | 陳錦村 | 研究專案部 | 賴敏政 | 專案管理部 |

隨著TSMC產能的進一步擴展，生產基地已經擴展到台灣三個主要的科學園區，然而，台灣本島是個地震高風險區域，斷層的分佈可以說是遍及全島，任何一個斷層的活動都可能造成全台的震撼，對於擁有高精密製程的半導體廠房來說，傳統...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Application of ASHRAE 52.2 Air Filter in USGBC LEED-NC

ASHRAE 52.2空氣濾網在美國綠建築LEED-NC的應用

文 | 呂坤福 | 研究專案部 |

由於國家政府及企業不斷的向外尋求資源或產品，在國際交通網路便捷性不斷的提昇下，跨國性貿易行為正蓬勃發展，從已開發國家、開發中國家並延伸至未開發國家。為確保合約雙方對產品品質及性能達成共識，共通標準遂應運而生，空氣濾...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Passive EMI Shielding Approach for CDSEM

以被動屏蔽(passive shielding)方式解決CDSEM受低頻磁場干擾之案例

文 | 于淳 | 研究專案部 |

在第一期的新工季刊中，曾介紹關於電子束作業機台受低頻磁場干擾與防治的相關理論和方法，本期筆者將以在F12P4 跟微影設備工程師一同用被動屏蔽來解決受低頻磁場干擾的CD-SEM為例，與大家經驗分享。...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Exhaust Monitoring System Study and Design

廠務排氣監控系統探討與設計

文 | 李文振 | 新廠設計部 |

AAS(Air Abatement System)是半導體晶圓廠生產所必需的重要系統，必須考量許多因素以符合各項運轉需求，如安全控管、空間運用、系統容量設計及運轉操作維修等等，故於建廠階段就必須將所有相關因素納入設...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Office Building Indoor Environment Quality Improvement

辦公室室內環境改善方向探討

文 | 馬匡偉 | 公共設施服務部 |

由於工商業時代的工作型態，再加上環境的影響，使得人們待在密閉的居住空間或是辦公空間的時間越來越多，但在這些密閉空間裏享受空調系統帶來的舒適便利之餘，如果對空調及通風系統不加以留意的話；「病態建築物症候群」（SBS；...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

FAB12 Family (P1/2.P4/5.P6.P7) Giga-Emergency Power Plant

如何建置大十二廠高壓電力備援系統

文 | 曾韋然 | 十二廠六期專案 |

電力系統能提供穩定及足夠的供應電力，是讓公司生產運作之最基本的原動力。如何建置一個穩定可靠的電力系統？將是我們的任務。十二廠P1/2,P4/5,P6,P7 四個廠區以地理位置的優勢，整合所有電力系統資源...

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2011.7, Vol.03 / 技術專文

Using ‘TransMembrane ChemiSorption’ (TMCS) for Ammonia Removal from Industrial Waste Waters

以中空絲膜取出廢水中的氨氮

The extraction of ammonia using membrane contactors provides several advantages in solving a common problem...

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2011.7, Vol.03 / 新象新知

Let’s talk about Tablet PC and application in new FAB project

淺談平板電腦的技術發展於建廠專案應用的可能性

文 | 林宥芯 | 規劃管理部 |

來自全錄帕洛阿爾托研究中心的艾倫•凱（Alan Kay）在60 年代己提出了一種可以用筆輸入的資訊稱為Dynabook 的新型筆記型電腦的構想。但直到2002 年秋季才因微軟公司大力推廣Windows X...

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2011.7, Vol.03 / 新象新知

Solar Power Optimizer : How It Works, and The How It Works, and The

太陽能功率優化器的原理與應用

文 | 謝志杰 | 太陽能製造營運處 |

隨著傳統石化能源因為碳排放所造成的溫室效應，以及對核能安全性的疑慮，再生能源受到愈來愈多的重視。太陽光電系統由於以下幾個優點而受到矚目： 1. 無需燃料、無廢棄物與汙染、無轉動組件與噪音。 2.太陽電池壽命長久，長...

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2011.7, Vol.03 / 新象新知

The Application of Ceiling Fans in Environmental Protection and Air Condition

自然風吊扇對綠色環保與空調舒適度之應用

文 | 林志勇 | 管采榕 | 公共設施服務部 |

在偶然的機會拜訪工研院綠能所討論室內空氣品質相關議題，會議快結束時工研院綠能所江政旭博士介紹會議室中安裝的另類產品－自然風吊扇。令我們驚艷的是在開會過程中幾乎沒有發現有風扇的存在，自然風吊扇吹出來的風與一般電扇相較...

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2011.7, Vol.03 / 特別企劃

An application of Man-Cut Retaining Pile Method on F15P1 GAS YARD

人工鑽掘樁工法在十五廠一期 GAS YARD基樁之應用實例

文 | 廖哲逸 | 潘冀聯合建築師事務所 |

國內許多都會區在有限土地資源下，為了有效利用土地空間，增進環境及生活品質，提升建築物使用機能，都應對建築專案之規劃、設計、施工、及後續之管理維護作妥善計畫。尤以專案之初所進行的大地工程，其高風險與高勞力等特性，更是...

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