TSMC 廠務季刊

2022.9, Vol.47 / 技術專文

AI application-AMC prediction by machine learning and pollution source analysis

應用AI-AMC機械學習預測與污染來源分析

文 | 莊鎧瑋 | Arizona Facility |

因應市場的需求，半導體製程技術演進快速，電晶體30年內已縮小了1000倍，到了五奈米的技術，而隨著規格及產線環境要求的提升，氣態分子微汙染(airborne molecular contamination, AMC...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Fab & HPM Area Construction Procedure and Management

廠房無塵室與危害性物質放置樓層之工序與施工管理

文 | 徐偉翔 | 新廠工程管理部 | 陳修皓 | 新廠工程管理部 | 張允泰 | 新廠工程管理部 | 王毅挺 | 新廠工程管理部 |

晶圓廠廠房之新建工程中，包含了土建結構、內裝、無塵室、機械、電力、監控、裝修、氣體、化學、純水、廢水等數十項工程，廠房內的管線分佈綿密、工項繁瑣且複雜。若沒有有效的管理方法，就會造成不同系統間的管路干涉、與施作空間...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Dynamic Energy Saving MAU

動態節能外氣空調箱

文 | 陳廷宇 | 徐家紹 | 葉俊賢 | 竹科廠務三部 |

公司在廠房設計階段，就已經將綠建築納入設計發包範圍內，接著就該思考如何將智慧化措施也納入設計中。在針對無塵室空調系統各單元深入解析後，將實際運轉經驗知識化，並透過監控系統自動化，導入了智能系統即完成了標準化的動態節...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Application of Photoionization Detector for Real-time AMC Monitoring in Cleanroom

光離子化偵測器在潔淨室內空氣分子污染物即時監控的應用

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 賴盈宏 | 新廠設計部 | 莊青龍 | 沃亞科技股份有限公司 |

已有證據顯示空氣分子污染物(AMC)對半導體廠的製程良率具有顯著影響，不少案例證實其對晶圓缺陷(Defect)的直接關聯，包含腐蝕、成形異常或電性異常等問題，因此部份大廠將AMC納入潔淨室環控因子；另外，隨著半導體...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

Airborne Molecular Contamination Monitoring Technology for New Fab Cleanroom Construction

新建廠潔淨室氣態分子汙染監控技術之應用實務

文 | 黃裕欣 | 李建國 | 蘇鈺洲 | 十四廠七期新建工程專案 |

本文以建廠期間極具代表性的黃光區為例，說明兩項主要污染物氨(NH3)和總有機碳(TOC)，如何應用監控儀器配合各種空氣分子汙染(Airborne molecular contamination, AMC)之去除設備...

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金筆獎入圍

2014.6, Vol.14 / 技術專文

Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air

以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 馮郁寧 | 國立臺北科技大學 | 胡石政 | 國立臺北科技大學 |

本研究採用有限體積法，透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析，以一新建廠房相關數據進行模型的建立，同時將鄰近廠區相關數據納入評估，針對該廠區在不同季節條件下，污染物(總...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Performance-based Design of Smoke Removal in Cleanroom

無塵室性能式煙控設計

文 | 邱民昇 | 新廠設計部 |

無塵室內性能式煙控設計，係整合環境特性、氣流控制系統與排煙系統而成的煙控系統；以高程差環境建構出蓄煙井，調節氣流建構壓差環境，再配合終端之排煙設備將煙塵排至室外，達到煙控目的。性能式煙控經過驗證後，即可突破消防規章...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

FFU Installation Procedure for New Fab Construction

新建廠FFU安裝程序之改善研究

文 | 謝松德 | 十二廠六期專案 |

針對新建廠之cleanroom 的 FFU+ULPA 之安裝施工方法，思考其改善方案；對施工承包商各種 extra cost 影響最少，但是卻能夠獲得最大改善效益，以此作為出發點；並基於設備之詳細尺寸、施工環境特性...

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