TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

The Assessment of Zero Liquid Discharge in Advanced Packing Process wastewater

先進封裝製程廢水零排評估與規劃

文 | 林俊凱 | 先進封裝廠務一部 |

隨著半導體製程發展，製程用水日益增多，如何有效將機台排水適當分流並利用水回收技術進行廢水回收成為廠務重要課題。近年來水處理技術不斷發展，實廠應用EDR/BWRO/蒸發罐/結晶罐等技術達成零排放目標，但近年全球公司注...

按讚

0

點閱 (45)

2022.12, Vol.48 / 技術專文

Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up

因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法

文 | 林志剛 | 台南廠務九部 |

近年新廠快速擴展，於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06)，平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊，整體工期需較以往縮減6~9個月，主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

按讚

0

點閱 (30)

2022.12, Vol.48 / 技術專文

System Design and Removal Strategy of PFAS from Semiconductor Wastewater

製程廢水中短鏈全氟化合物去除策略與設計規劃

文 | 蔡宇軒 | 何顯利 | 新廠設計部 |

半導體界近年積極開發工業再生水技術，將自身排放的工業廢水再製供前段製程重新使用，廢水中不易被水處理系統去除的短碳鏈全氟化合物，雖然台灣目前未有制訂法規管制排放濃度，但已開始被重視是否影響再生水水質。本研究探討多方文...

按讚

0

點閱 (74)

2019.03, Vol.33 / 技術專文

Establish a Big Data Platform to Enhance Water Treatment Efficiency and to Perform Equipment Predictive Maintenance

建立大數據管理平台以提升水處理系統效能與實現設備預知保養

文 | 王俊元 | 南科廠務五部 |

在一個晶圓廠中，為維持系統的穩定運轉與品質要求，「維護保養」是一個重要的基本要素。在廠務的運轉系統中，往往我們會用傳統式固定時間或固定頻率的方式進行設備維護保養，但過度保養與維修保養不及的狀況都有機會發生。然而，系...

按讚

0

點閱 (63)

2017.9, Vol.27 / 技術專文

The Technology and Opportunity of Zero Liquid Discharge

業界廢水零排技術與機會點

文 | 陳國蔚 | 中科廠務二部 |

降低環境污染的議題是各國致力追求的目標。從2015年12月國內友廠於新聞發佈製程廢水零排放開始，零排變成各行各業所討論的標竿，但零排放需付出更多的電能，對於環境不見得是友善。本文透過分析業界零排放的重要技術(MBR...

按讚

0

點閱 (80)

2014.9, Vol.15 / 技術專文

Practices to Improve the Quality of Wastewater Treatment Systems

廢水處理系統工程品質提昇應用實務

文 | 傅正貴 | 鄭守義 | 十四廠七期新建工程專案 |

隨著半導體製程日漸精密，產生的廢水有多元及複雜化的趨勢，加上環境保護意識抬頭，建立高品質之廢水處理系統就相對重要，本篇文章首先分析歷年來新建廠施工品質缺失及分類，進而找出可行及有效的改善對策，從『人、機、料、法』四...

按讚

0

點閱 (41)

金筆獎入圍

2012.4, Vol.06 / 特別企劃

TMAH Reclaim in Green Recycle

四甲基氫氧化銨(TMAH)綠色循環回收再利用

文 | 李玫 | 新廠設計部 |

以四甲基氫氧化銨(TMAH) 作為顯影劑，已廣泛使用在半導體業及光電產業等高科技產業，所產生之污染也因此與日俱增。TMAH廢液同一般鹼類具有腐蝕性，亦因製程之不同，不純物可能包含: 光阻劑、介面活性劑、重金屬陽離子...

按讚

0

點閱 (164)

2011.7, Vol.03 / 技術專文

Using ‘TransMembrane ChemiSorption’ (TMCS) for Ammonia Removal from Industrial Waste Waters

以中空絲膜取出廢水中的氨氮

The extraction of ammonia using membrane contactors provides several advantages in solving a common problem...

按讚

0

點閱 (45)

文章分類

熱門關鍵詞