TSMC 廠務季刊

2022.9, Vol.47 / 技術專文

The Breakthrough in the Spatial Location of Local Scrubber

8吋成廠區在LSC拆裝的空間位置突破 - 以8廠為例

文 | 曾能駿 | 李家維 | 謝穎至 | 新竹廠務一部 |

F8從世大建廠之初運轉至今已超過20年，隨著半導體產業日新月異及製程的進步，產能需求銳不可擋，如何在有限的空間把機台安裝效率最大化已成為製造生產端、設備機台端與廠務運轉端最大挑戰。本文旨在分享及介紹F8拆裝機過程的規劃，...

按讚

0

點閱 (24)

2022.9, Vol.47 / 技術專文

The Breakthrough and Innovation of Local Scrubber Stable Operation by iSystem Implementation

iSystem導入對廠務LSC穩定運轉的突破與創新

文 | 李珩銘 | 台中廠務三部 |

Local Scrubber欲達成有效節能運轉成效，其先決條件是確保其製程尾氣處理效能可達到良好水準。iSystem藉由確認製程機台所使用的製程氣體，並依據定義該製程氣體於Local Scrubber處理的方式，即時依據...

按讚

0

點閱 (60)

2022.3, Vol.45 / 技術專文

Air pollution reduction-Discussion on the removal efficiency of organic pollutants by Local Scrubber

空污減量-現址式尾氣處理設備針對有機污染物去除效率探討

文 | 楊竣凱 | 台中廠務一部 | 蔡景安 | 台中廠務一部 |

空氣污染議題是近年來工廠運轉日益重視議題，而煙囪排放有機污染物已成為顯學，本研究透過污染物源頭分析，利用現址式尾氣處理設備(Local scrubber)改造，進行源頭污染物減量改善，提升有機物去除效率，並利用模擬...

按讚

0

點閱 (27)

2019.9, Vol.35 / 技術專文

Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber

應用濕式旋風集塵器於製程尾氣處理設備改善細懸浮微粒研究

文 | 張聖杰 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備(Local Scrubber,LSC)後端酸性排風管所產生阻...

按讚

0

點閱 (139)

2018.12, Vol.32 / 技術專文

Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid

廢硫酸去除雙氧水系統安全防護提升

文 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 | 劉明翰 | 十四B廠工安衛生部 | 唐祺夏 | 十八廠 | 劉柏青 | 南科廠務五部 | 蕭千城 | 南科廠務五部 | 吳厚萱 | 中科廠務五部 |

本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

按讚

0

點閱 (338)

2016.6, Vol.22 / 技術專文

Prevention is Better than Cure - Preventive Maintenance of Local Scrubber a Thorough Study and Breakthrough

預防勝於治療 - 製程尾氣處理設備預防保養追根究底與瓶頸突破

文 | 郭勝欽 | 張貴琳 | 竹科廠務三部 |

本文主要分析製程尾氣處理設備(以下簡稱Local Scrubber)粉末(以下簡稱Powder)阻塞的原因，並針對廢氣處理系統設備內部引氣管路進行改善，依據製程氣體特性及管路流場，分析製程尾氣經彎曲段或流向改變時，...

按讚

0

點閱 (88)

2015.9, Vol.19 / 技術專文

lectrical ExplosionPrevention Guidelines and Practice

電氣防爆規範與實務

文 | 徐永政 | 廠務品質管理部 |

本文介紹防爆危險場所之防爆設備安裝、選用規則，以及新建廠之防爆設備規劃。依新建廠防爆區之危險區域劃分結果，大部分區域危險等級劃分為Zone 2，有少部分區域劃分為Zone 1（易燃液體供應區/儲存區之集液井溝）及Z...

按讚

0

點閱 (42)

文章分類

熱門關鍵詞