TSMC 廠務季刊

2019.06, Vol.34 / 技術專文

Distributed Optical Fiber Sensing Temperature On-Line Monitoring and Locate Fault for Power Cable

分散式光纖電力電纜溫度即時監測及故障預警測距系統

文 | 鍾易璋 | 竹科廠務三部 |

透過電力電纜監測技術的原理概況，探討傳統測溫方法與即時光纖測溫技術的優劣，得知光纖測溫系統在電力電纜應用中的先進性和優越性，進一步研究拉曼散射的原理以及光時域反射技術闡述光纖測溫系統的基本原理以及應用的可行性。本文...

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金筆獎入圍

2018.12, Vol.32 / 技術專文

Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants

半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控

文 | 林崇瑋 | 何薇如 | 十五A廠工安環保部 |

以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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2018.12, Vol.32 / 新象新知

The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries

高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略

文 | 蔡朋枝 | 國立成功大學醫學院工業衛生學科暨環境醫學研究所 |

高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多，其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準，而具容許濃度也有可能無建議採樣方法，且環測數據多為未檢出，因而在技術、經費與人力需求上，無法單純使用作業環境監測來解決。如...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

New Fab Earth Anchor with Grid Design Construction and Quality Management

新建廠格樑地錨設計施作與品質驗證

文 | 黃煒添 | 新廠工程管理部 | 蔡佳宏 | 潘冀聯合建築師事務所 |

中科擴建廠區以「格樑預力地錨」作為邊坡擋土防護設施(台積電首次採用)，此工法廣泛用於台灣地區邊坡防護工程，其優點為造價合理、工期較短且可做整體景觀綠化。本案從設計初期地質資料收集、擋土地錨設計、設計驗證(電腦軟體模...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

On-line IC Monitor System for AAS Chimney

煙囪連續監測系統技術探討

文 | 吳博哲 | 中科廠務一部 | 吳曜安 | 中科廠務三部 |

本文主要說明煙囪連續監測採樣系統的建構緣由及目的，探討此系統與手動採樣方法的優缺點，並與檢測公司使用之標準手法做比較。初步結果顯示由連續監測結果可發現，無機酸及氨隨時間的進行有明顯的變動，可見本採樣系統能及時的反應...

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2016.12, Vol.24 / 技術專文

Application of Mobile Air Quality Monitoring Vehicle

空氣品質監測車的應用

文 | 紀碧芳 | 陳駿華 | 新廠設計部 |

本文主要在說明空氣品質監測車(站)設置的緣由與目的，並說明空品車的配備及監測項目，未來可透過即時監測了解周界環境的空氣品質變化，並與臨近環保署測站比較，分析周界環境是否受工廠影響。空品監測車已於今年6月份打造完成，...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Evaluation and Exploration of New Technology on THC Air Pollution Monitoring

空污總碳氫化合物監測新技術評估及探討

文 | 林宗標 | 南科廠務一部 |

目前廠內有機廢氣污染防治設備，均使用Baseline 9000的總碳氫化合物（Total Hydrocarbon, THC）分析儀器量測廢氣的排放濃度。為了提昇競爭力及運轉彈性，本文依據環保署制訂的空污法規，進行T...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Online Monitoring AC/DC Capacitors Ageing of UPS

不斷電系統電容器老化在線監測及本質壽命評估

文 | 沈禎道 | 新廠設計部 |

UPS應用於廠內電力敏感設備的防護已行之有年，在平時運轉中，時有因內部異常導致UPS切換，雖然大部分的切換對下游負載並無影響，但有時仍會影響負載或引發更大的電力事故。本文統計歷年UPS異常原因，發現電容器異常佔內部...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

Airborne Molecular Contamination Monitoring Technology for New Fab Cleanroom Construction

新建廠潔淨室氣態分子汙染監控技術之應用實務

文 | 黃裕欣 | 李建國 | 蘇鈺洲 | 十四廠七期新建工程專案 |

本文以建廠期間極具代表性的黃光區為例，說明兩項主要污染物氨(NH3)和總有機碳(TOC)，如何應用監控儀器配合各種空氣分子汙染(Airborne molecular contamination, AMC)之去除設備...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Real Time Monitoring System for Low Frequency Magnetic Field in Semiconductor Fabs

低頻磁場即時監測系統於半導體廠房的應用

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

半導體廠房內到處都充斥著電磁波，為使機台彼此不受電磁波干擾而能正常作業，就必須作好半導體廠房的電磁波管理，第一步先要建立即時電磁波監測系統，本文探討即時電磁波監測系統所需的感測器要求、即時電磁波監測系統建立的方式，...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Performance-based Design and Safety Monitoring of Hi-Tech Fabs

科技廠房之性能設計與安全監測

文 | 王彥博 | 國立交通大學土木工程系 |

本文主要探討科技廠房的震害原因，提出科技廠房耐震設計的策略，並介紹結構健康監測的概念與願景，盼能將這些具有實用價值的研究成果從state-of-the-art 推向state-of-the-practice之境界，...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

Natural Disaster Alert Platform

天災預警平台

文 | 李豐豪 | 三廠廠務部 | 蕭博戎 | 三廠廠務部 | 蕭文豐 | 十二廠四/五期廠務工程專案 |

近年地球暖化造成各地天災不斷，而有些天災的影響範圍非常大，如冰島的艾雅法拉火山爆發、日本地震造成的輻射外洩、中國沙塵暴等，都對世界各地人的生活、交通及經濟造成不小的影響，天災無法阻止，但若可以提早得知做好預防則可以...

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