TSMC 廠務季刊

2017.9, Vol.27 / 技術專文

Strict Defense – The Optimum Operation Defense of Ammonia Nitrogen System Membrane Degasifier

禦敵從嚴─氨氮系統脫氣膜最佳運轉防禦

文 | 楊政儒 | 陳建助 | 竹科廠務三部 |

半導體製程中會產生高濃度氨氮廢水，廠內以脫氣膜資源最佳化方式去除水中氨氮，脫氣膜法於膜管內通以硫酸，膜管外通以氨氮廢水，藉由質傳效應使硫酸吸收廢水中氨氣，形成硫酸銨副產物。此方法除了可消耗廠內製程行為產生之大量廢硫...

按讚

0

點閱 (71)

2017.9, Vol.27 / 技術專文

Reverse Flush Strategy Analysis of Reverse Osmosis in High Concentration Wastewater Environment

逆滲透膜於高濃廢水下之反向流交互產水操作策略

文 | 蔡宇軒 | 王世民 | 竹科廠務三部 |

對半導體製造業大廠而言，水資源高度依賴與廢水排放品質，視為汙染減量與環境改善之標竿，2016年新設之逆滲透二段濃縮處理設備，負責進階回收內含氫氟酸廢水與廢氣洗滌塔廢水之逆滲透濃縮廢水，該廢水導電度極高，並內含多種化...

按讚

0

點閱 (52)

2016.9, Vol.23 / 技術專文

Design and Experience Sharing for Acidic Waste Drain (O3) Reclaim to Ultrapure Water system

含臭氧酸鹼廢水回收至純水之設計與運轉分享

文 | 楊淵超 | 溫士賓 | 竹科廠務一部 |

含臭氧酸鹼廢水為含臭氧的機台排放廢水，其為擴散及蝕刻機台之臭氧產生器與純水混和用來清洗晶圓上的微量有機物。透過排水水質量測及用途追蹤，發現其水質特性為高氧化性、低導電度，總有機碳濃度可達純水回收標準。然而臭氧氧化性...

按讚

0

點閱 (61)

金筆獎

2015.9, Vol.19 / 技術專文

Ammonia Removal Analysis by Combing RO Concentration and the MAP Method

二次逆滲透濃縮聯合磷酸銨鎂沉澱法之氨氮減量分析研究

文 | 蔡宇軒 | 王正維 | 陳生鵬 | 竹科廠務三部 |

對半導體製造業大廠而言，水資源的高度依賴性與廢水排放需求，為汙染減量與環境改善之標竿，近年政府特別將氨氮廢水視為重點改善目標，各科學園區藉由訂定放流汙水納管限值或規劃除氮廢水系統積極因應，面對日益嚴格之氨氮減量管制...

按讚

0

點閱 (70)

2014.9, Vol.15 / 技術專文

Practices to Improve the Quality of Wastewater Treatment Systems

廢水處理系統工程品質提昇應用實務

文 | 傅正貴 | 鄭守義 | 十四廠七期新建工程專案 |

隨著半導體製程日漸精密，產生的廢水有多元及複雜化的趨勢，加上環境保護意識抬頭，建立高品質之廢水處理系統就相對重要，本篇文章首先分析歷年來新建廠施工品質缺失及分類，進而找出可行及有效的改善對策，從『人、機、料、法』四...

按讚

0

點閱 (41)

2014.6, Vol.14 / 技術專文

New Technology for Ammonia Recycling from Wastewater

創新氨氮廢水資源化

文 | 李玫 | 新廠設計部 | 傅正貴 | 十四廠七期專案 | 王俊元 | 十四B廠廠務一部 |

半導體事業所排放的廢水常含有高濃度的氨氮與雙氧水，具有高污染濃度、高生物毒性等特性，依新制之放流水標準，對於氨氮廢水的處理是刻不容緩的。本文介紹以脫氣膜(MD)的處理方式，將廢水中的氨氮轉換為硫酸銨廢液，企圖將廢水...

按讚

0

點閱 (57)

金筆獎入圍

2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Recycling of Alkaline Wastewater from Semiconductor Plant

半導體廠鹼性廢水的回收與資源再利用技術

文 | 丁瑞華 | 新廠營建部 | 陳國益 | 兆聯實業股份有限公司 |

含氨 (Ammonia) 的鹼性廢水是半導體廠棘手的問題，因為水中除了氨外，往往還伴隨著高濃度的雙氧水。以回收的方式來濃縮廢水中的氨，並導入脫氣膜 (Membrane Degasifier) 與硫酸反應生成硫酸氨。...

按讚

0

點閱 (66)

2011.7, Vol.03 / 技術專文

Using ‘TransMembrane ChemiSorption’ (TMCS) for Ammonia Removal from Industrial Waste Waters

以中空絲膜取出廢水中的氨氮

The extraction of ammonia using membrane contactors provides several advantages in solving a common problem...

按讚

0

點閱 (46)

文章分類

熱門關鍵詞