TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area

成廠區有限空間的空污防治設備建置對策

文 | 曾柏凱 | 新竹廠務二部 |

隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前述，提出ESG 2050年淨零排放目標，老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難，更是有不同種類排氣風管串接混...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Improvement Strategy and Implementation Effect of Mixed Air Emission in RD Fab

RD廠區空污混排改善策略與執行成效

文 | 林裕愷 | 新竹廠務五部 | 黃友元 | 新竹廠務五部 |

RD Fab 先進製程研發致使製程不斷變化，2020 new chemical申請數較前幾年上升71%(全年120件)，依F12B實驗運轉經驗制訂從源頭、現址式洗滌塔(Local Scrubber)至中央處理設備(...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Management of Waste Chemical from Advanced Process Equipment

先進製程設備機台廢酸排放站前管理

文 | 陳政揚 | 竹科廠務五部 |

半導體先進製程不斷演進，化學品使用越多元，相對設備機台排放的廢酸越複雜，發生混排的機會越高。本篇研究針對設備廢酸站前排放區分兩大主題 : ①管理層面 ②廠務系統強化，並以某先進製程廠廢液IPA含酸為例，裝機前NTCC及S...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber

中央洗滌塔排水回收再利用改善空污排放

文 | 楓祥儀 | 陳聖偉 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |

半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools

先進製程酸性排氣混排改善對策探討

文 | 李宗元 | 十二B 廠工安環保部 | 吳淑嫺 | 設備物質安全專案 |

隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

Green Concept of Wet Scrubber Design Development in tsmc

綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 楊宗敏 | 晃誼科技股份有限公司 |

面臨製程機台排氣量不斷增加、成分越來越複雜的挑戰下，我們必須對空氣污染防制設備進行改善。本文將針對台積電各十二吋廠洗滌塔的發展趨勢及所面臨之困境進行探討，以既設廠設計搭配學理說明，分析不同的設計因子對處理效率的影響...

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