Application of 3D Reality Technology for New Fab Construction Project
三維實境技術在高科技廠房專案的應用
Sharing of AP3 Annual Maintenance Report and Abnormal Voltage Insulator Case Handling
AP3年度維修報告與急電絕緣礙子異常處理分享
AP3於2022年度11/22~11/23進行電力系統小歲修，完成廠區50%高壓系統保養，歲修期間不影響生產，共執行七項保養與一項改善工程；本次APM共發現6件異常，包括主變壓器NGR的CT絕緣值不良、VCB接線軟...
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OneFAC Benefit Accessing and Future Development
OneFAC效益評估及未來發展對策
本文由廠務組織的合併規劃開始，構思OneFAC平台開發的目標設定與規劃，說明OneFAC平台開發的五大主要功能，藉由OneFAC管理人員與使用者的實際操作討論，持續進行系統改版與功能擴充，最後進行使用效益評估，藉由使用者...
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Study on Strategy of Assignment for New Fab Facility Manager
新廠廠務主管派任策略
台積電在先進製程居於世界領導地位，除了研發能力是關鍵因素，能快速將新廠區導入運轉生產也是獲利的重要關鍵。本文目的是研究新廠廠務主管如何藉由知識延續發展之派任策略，將研發廠區之成果，順利轉移到新廠廠務組織。...
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Study on Facility Organization and Operation Methodology in RD FAB
論研發廠廠務組織的規劃與運作模式
廠務組織承擔工廠永續營運的基礎，設計規劃新廠區並為公司提供穩定和維護良好 的運營環境。其中研發廠廠務總是在新製程開發階段與RD組織密切合作，一方面參 與製程問題改善，另一方面解決新製程衍生的空污、水污問題等。同時把這些累...
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Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility
半導體廠房土壤污染整治
台積電先進封測三廠為公司首次跨產業、坐落桃園市並與合作客戶收購廠房，進行土地移轉時，依法應提供土壤污染檢測資料，執行全廠區及重點區細部土壤檢測。經XRF篩測後發現，碼頭區受重金屬鉻、汞、鎳污染，且污染集中於 1 公...
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Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...
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Safety Management for EUV Tool
超紫外光機台 全方位安全管理
超紫外光(EUV)為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律(Moore's law)的新世代微影技術，亦是台積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備，EUV造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣(Hydroge...
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Risk Analysis and Coping Strategies for Pyrophoric Material in Usage of Semiconductor Manufacturing Plant
發火性物質運轉風險與安全對策
半導體製程陸續使用越來越多發火性物質於生產過程中，此類發火性物質大部份兼具禁水特性，於異常洩漏時遇空氣自燃且接觸水會產生非常劇烈反應。本研究應用HazOp風險分析方法及參考SEMI-5761B草案規範，針對使用發火...
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Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...
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Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake
六級強震巨災應變對策
地震為發生機率高且不易預測之天災，近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震；且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷)，因此如何面對這麼巨大的天然災害，並於第一時間做好緊急應變，固守人員安全並快速回復...
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New Fab Earth Anchor with Grid Design Construction and Quality Management
新建廠格樑地錨設計施作與品質驗證
中科擴建廠區以「格樑預力地錨」作為邊坡擋土防護設施(台積電首次採用)，此工法廣泛用於台灣地區邊坡防護工程，其優點為造價合理、工期較短且可做整體景觀綠化。本案從設計初期地質資料收集、擋土地錨設計、設計驗證(電腦軟體模...
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The Underground Pipe Arrangement of Taichung Site Hillside Land
中科擴建廠區山坡地地形外管線整合
為了持續推進先進製程，公司於2015年第二季正式動工中科擴建廠區，此基地位於台中市大肚山東側山坡，前身為國防部彈藥庫使用，對比過去取得的土地，雖然同屬於科學園區，但因為截然不同的基地特性使得開發難度增加，中科擴建廠...
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Environmental Impact Assessment Practice
淺談環境影響評估制度及實務
《環境影響評估法》是環境保護制度中相當重要的一項法規，其創始源自美國1969年國家環境政策法，目前全世界有超過100個國家參考，各國依據自己執行經驗回饋，發展出各國的環境政策並滾動式修正，台灣因其時空背景所發展出的...
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Fab & HPM Area Construction Procedure and Management
廠房無塵室與危害性物質放置樓層之工序與施工管理
晶圓廠廠房之新建工程中，包含了土建結構、內裝、無塵室、機械、電力、監控、裝修、氣體、化學、純水、廢水等數十項工程，廠房內的管線分佈綿密、工項繁瑣且複雜。若沒有有效的管理方法，就會造成不同系統間的管路干涉、與施作空間...
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Study on Civil Engineering of New Fab in Nanjing
南京新建廠土建工程之探討
本文章說明南京建廠所看到與紀錄之南京地區建築行業，在專案管理與工法上之特性，進而與台灣進行差異的比對，主要針對發包模式、施工方法與工序、品質、設計圖面作為觀察重點，在南京這大開大闔與專案眾多之建築施工風氣下，衍生出...
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Space Management Challenge for Nanjing Project
空間管理在南京建廠面臨到的挑戰
空間管理工作在新建廠中負責整合各種系統管路及設備，進行合理的安排，使各種管路整齊、美觀的配置於廠房內，且能在施工過程中避免管路干涉，減少返工修改及各種資源的浪費，達到降低施工成本及提高工作效率的目的。本文整理了南京...
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