TSMC 廠務季刊

2014.9, Vol.15 / 技術專文

Application of Plug-in Type Power Panel

隨插即用施工電盤的應用

文 | 劉明芳 | 新廠營建部 |

傳統式電盤都是採用開盤接線方式，增加人員碰觸帶電體及誤接線的風險；而施工電源都是先規劃土建需使用的部分，等機電包進來再拉設一次電源給所有平行包使用，同樣的電源要拉設兩次，除了線路多拉設一倍造成資源浪費之外，也增加管...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

Practices to Improve the Quality of Wastewater Treatment Systems

廢水處理系統工程品質提昇應用實務

文 | 傅正貴 | 鄭守義 | 十四廠七期新建工程專案 |

隨著半導體製程日漸精密，產生的廢水有多元及複雜化的趨勢，加上環境保護意識抬頭，建立高品質之廢水處理系統就相對重要，本篇文章首先分析歷年來新建廠施工品質缺失及分類，進而找出可行及有效的改善對策，從『人、機、料、法』四...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

Quality Examination and Assurance of Raised Floor

高架地板品質檢測與驗證

文 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |

無塵室為晶圓廠生產的必要環境，高架地板提供無塵室內設備機台及人員操作生產的完整空間，為構成無塵室重要系統之一，因此高架地板品質檢測與驗證程序特別重要，以確認提供整體晶圓廠生產的標準環境。高架地板驗證程序包含：高架地...

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2014.9, Vol.15 / 技術專文

Auto Gas Tungsten Arc Welding and Inspection Guidelines

金屬管線氬銲自動銲接實務與銲道規範

文 | 劉士豪 | 詮特科技公司 | 黃煒添 | 工程品質暨安全管理部 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |

半導體產業之高潔淨金屬管線銲接，主要以氬銲(GTAW)為主，並已廣泛用於製程氣體管線銲接。本文針對金屬管線自動銲接原理、氬銲自動銲接種類、銲接實務與操作參數、銲接品質管理實務及銲道品質檢查等進行探討。...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air

以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 馮郁寧 | 國立臺北科技大學 | 胡石政 | 國立臺北科技大學 |

本研究採用有限體積法，透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析，以一新建廠房相關數據進行模型的建立，同時將鄰近廠區相關數據納入評估，針對該廠區在不同季節條件下，污染物(總...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Influence of Cleanroom Ambient Humidity on the Formation of Nanoparticles

無塵室環境濕度對於奈米粒子污染生成的影響

文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |

Water condensation on wafer surfaces is highly related to the formation of nanometer size defect. In the ma...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications

溶液除濕空調與節能應用

文 | 周政隆 | 新廠設計部 | 陳俊棋 | 台灣費思科技 |

傳統空調系統的優勢在於顯熱的處理，即使經過百年的改善精進，要在既有的原理基礎上得到良好的潛熱處理效率仍是困難。而溶液除濕空調(Liquid-Desiccant Air Conditioning., LDAC)系統則...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Constant Pressure Feedback Control Method for Low Pressure Vapor Gas Distribution System

低蒸氣壓氣體之壓力恆定迴授控制應用

文 | 黃介然 | 新廠設計部 | 許駿烽 | 十二廠務工程專案 |

低蒸氣壓氣體供應系統，會因相位變化造成供給壓力不足或不穩定，且以機械式調壓閥調整壓力，調壓閥之機械壓損特性亦會造成供應壓力之不穩定。本文探討此一現象之發生原因，並應用壓力恆定迴授控制改善低蒸氣壓氣體之供應。...

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2014.6, Vol.14 / 新象新知

Inhibition Of Copper Corrosion By Removal Of H2O2 From CO2-Dissolved Water Using Palladium Catalysts

鈀(Pd)觸媒於超純水中去除雙氧水以抑制銅腐蝕之應用

超純水系統因紫外光的照射會導致內含有10～40μg/L的雙氧水，另雙氧水處於超純水酸性環境中會加速銅腐蝕的行為。目前發現藉由鈀觸媒陰離子樹脂(Palladium-loaded monolithic anion...

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2014.6, Vol.14 / 新象新知

Internet of Things and the Application for Fab’s Facility System

物聯網簡介

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

未來世界要如何達成全面的自動化智慧化，是要如何透過各類感測器多點的建立，進而達成全面對物質環境即時的監測，還有將人類的工作知識程式化置於雲端，再透過網路讓各相關機器彼此自動化的互通運作，而大量減少人為對資訊處理的介...

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2014.3, Vol.13 / 新象新知

SEMI Taiwan High-Tech Facility Committee

台灣高科技廠房設施委員會

文 | 鄭昭平 | 新廠規劃部 | 張陸滿 | 國立台灣大學 | 李靜怡 | SEMI台灣高科技廠房設施委員會 |

高科技半導體廠房設計與監造的能力對產業未來的發展與競爭力極為重要，台灣可以透過提高廠房設施之技術層次，突破關鍵技術之瓶頸，採取產學策略聯盟合作加速研發，以提昇在國際上的競爭能力及永續實力; SEMI台灣高科技廠房設...

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2013.12, Vol.12 / 技術專文

The Applications of BIM in Property Management

建築資訊模型於物業管理之運用

文 | 陳維東 | 國立雲林科技大學 | 黃盈樺 | 國立雲林科技大學 | 林祐正 | 國立台北科技大學 |

近年來3D導向建築資訊模型(Building Information Modeling, BIM)技術的發展與應用，已在土木及建築產業形成一股不容忽視的風潮。BIM之建置原意旨在提供設計施工視覺及資訊的相關參考，因...

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2013.12, Vol.12 / 技術專文

TSMC Office Roadmap on Integrating BIM with Facility Management

台積電辦公室管理應用建築資訊模型技術之發展藍圖

文 | 鍾振武 | 林永祥 | 賈儒慶 | 胡佩青 | 伍建南 | 榮一弘 | 公共設施服務部 |

本文主要在探討建築資訊模型如何應用於建築物之設施管理(Facility Management, FM)，基於公共設施服務部已建置完成的BIM立體模型及其相關資訊，並檢視在既有周邊系統、運轉與維護建築物完整生命週期之...

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2013.12, Vol.12 / 技術專文

Applications of BIM Technology in Facility Inspection Management

建築資訊模型技術於巡檢管理之應用

文 | 李柏璁 | 林永祥 | 公共設施服務部 |

近年來建築資訊模型(Building Information Modeling, BIM)的興起，已逐步的推廣到如何應用於營運維護管理。公共設施服務部（Public Utilities Service Depart...

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2013.12, Vol.12 / 技術專文

Applications of BIM Technology in Intelligent Building Certification

建築資訊模型技術於智慧建築標章申請與結合應用

文 | 廖偉勝 | 公共設施服務部 | 孫旭輝 | 新廠設計部 |

我國智慧建築標章認證涵蓋範圍包括綜合佈線、系統整合、資訊通信、安全防災、健康舒適、貼心便利與節能管理等項目，本公司亦已於2012年針對新竹十二廠四期辦公大樓提出申請，最後取得國內首棟鑽石級智慧建築標章，在此申請作業...

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2013.9, Vol.11 / 新象新知

An Energy Conservation Technology for Exterior Walls – STO System

節能外牆技術 - STO系統

文 | 李宗軒 | 新廠營建部 | 曹偉雋 | 台灣檢驗科技股份有限公司 |

建築空調用電主要是為了解決室內過熱的問題，而熱主要是經由屋頂、外牆與透明窗傳入室內。經屋頂傳遞進室內的熱量雖大，其影響僅限於頂層空間；然對於非頂層且少開窗的空間，外牆就是傳遞熱源的主要途徑。本文將以十五廠廠房外牆工...

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