TSMC 廠務季刊

2024.03, Vol.53 / 技術專文

From Green Building to Zero Carbon Building

從綠建築到零碳建築

文 | 孫旭輝 | 新廠工程處 |

綠建築從英國建築研究所1990 年發展至今，已經歷了30 多年，1996 年美國綠建築協會的大力推展，台灣從1999 年開始推動綠建築標章制度，成為全世界第四個推動的綠建築評估系統，將綠建築逐步推展至巔峰。截至今年...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller

冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用

文 | 黃承灝 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 |

廠務空調系統中以冰水主機為最耗能之設備，冰機主要散熱結構為冷凝器，其中因冷卻水為開放系統，水中容易生成微生物及藻類並於冷凝器銅管壁上形成結垢，進而降低冷凝器熱交換效率，使壓縮機需提升作功以達成散熱造成耗能增加，本文...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System

人工智慧應用於冰水系統節能技術探討

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 | 蔡昆憲 | 製造技術中心 |

台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化，應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制，成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C)，但因機台管...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System

正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |

在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2018.6, Vol.30 / 新象新知

Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing

低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術

文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |

本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文

Application of UPS HRS Harmonic Reduction and Power Factor Correction

不斷電諧波抑制系統之諧波改善與功因校正實務應用

文 | 黃晋益 | 李豐裕 | 周俊宏 | 胡緯民 | 南科廠務三部 |

UPS啟用節能模式後，變電站受到UPS輸出側之高諧波或低功因負載影響，導致電源總諧波失真程度及功率因數變差，同時，變電站需提供更大電流以因應高諧波或低功因用電設備。本文一開始先說明UPS節能模式如何使變電站諧波與功...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

New Challenges of Exhaust Reduction - EPI Dual ACP Exhaust Reduction Project

排氣減量新挑戰 - 雙磊晶反應室機台排氣

文 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 | 陳駿華 | 新廠設計部 |

磊晶機台共分成Main Chamber和氣櫃（Gas Box）兩個箱體，彼此互通，每個箱體上方銜接6吋的排氣風管，調整前兩支風管總抽風量為1248CMH，另外還有兩個預潔淨反應室（SiCoNi），各接6吋的排氣風管...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

The Energy Saving Practice of Fab Lighting Control

淺談廠區照明節能實務

文 | 詹勝羽 | 中科廠務一部 | 卓怡愷 | 南科廠務三部 |

本文主要針對廠區內已實施之照明節能方式，淺談照明節能控制系統及避難標示燈電池減廢方法。照明節能控制系統方面，主要介紹如何在廠房24小時運轉下，在對的時間下提供最佳的照明，系統主要功能有可自動或手動進行遠端照明控制及...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

New Blue Ocean of Energy Saving and Waste Reduction - The Principle and Application of MVR

節能減廢新藍海 - 機械式蒸氣再壓縮系統原理概述及應用

文 | 張朝鈞 | 中科廠務二部 |

廢棄物減量為公司綠色製造主軸之一，2015年致力於廢硫酸去除雙氧水回收再利用，大幅減少廢硫酸委外清運量及處理費用。2016年隨占比調整，30%硫酸銨已躍居最大宗廢棄物，分析30%硫酸銨其中水份佔70%，除增加廢棄物...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

The Brief Introduction of the Application of Run-Around Coil Heat Recovery System to MAU

淺談盤管環路熱回收系統在外氣空調箱的應用

文 | 施文彬 | 中科廠務一部 | 張智凱 | 奇立實業股份有限公司 | 樊素娟 | 艾法股份有限公司 |

節能減碳，提高能源使用效率已成為當前刻不容緩的議題之一。本文透過對於盤管環路熱回收系統的介紹，以及瞭解該系統在實際空調領域的應用方式後，說明如何將盤管環路熱回收系統導入半導體廠「外氣空調箱」（Make-up Air...

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2015.12, Vol.20 / 新象新知

IOT Meets Big Data: Microsoft Smart Building Pilot Project

當物聯網遇見大數據：以微軟智慧節能前瞻計畫為例

文 | 鍾振武 | 公共設施服務部 | 賈儒慶 | 公共設施服務部 | 黎昌憲 | 公共設施服務部 |

本文針對微軟在辦公物業及其運轉設施的維護管理進行介紹，說明如何透過導入前瞻性的能源管理方案，並結合全球知名的能源管理顧問公司(Accenture)及美國能源部的勞倫斯柏克萊國家實驗室(Lawrence Berkel...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications

溶液除濕空調與節能應用

文 | 周政隆 | 新廠設計部 | 陳俊棋 | 台灣費思科技 |

傳統空調系統的優勢在於顯熱的處理，即使經過百年的改善精進，要在既有的原理基礎上得到良好的潛熱處理效率仍是困難。而溶液除濕空調(Liquid-Desiccant Air Conditioning., LDAC)系統則...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Energy Saving in Data Center Infrastructure

高效率綠機房節能手法探討

文 | 孫旭輝 | 新廠設計部 |

因技術演進及應用需求增加，雲端運算、虛擬化、智慧節能、巨量分析等功能不斷增加，電腦機房之設置走向高密度、高穩定性、高效率、高彈性、可擴充性，但也高耗能的趨勢，設計一個節能又穩定的機房為一重要的課題。電腦機房空調供...

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2012.7, Vol.07 / 技術專文

Energy Saving on Elevator Operations

電梯節能新技術探討

文 | 吳國璋 | 林志勇 | 公共設施服務部 |

利用馬達反向運作產生電力回授發電之技術存在已久，但隨著材料科學精進及電力電子技術演進，電力回收效率已有明顯進步。新式電梯在回生運轉過程中加入發電回收系統回收電力，藉由永磁式馬達新技術增加回收效能，不但能有效增加電梯...

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2012.4, Vol.06 / 特別企劃

i-ASC Air System Controller for Power Saving

節能指揮家 i-ASC

文 | 許駿烽 | 張晉銚 | 十二廠廠務一部 |

本文由離心式空氣壓縮機的工作程序切入主題，利用十二廠的實際運轉狀況針對耗電量大的廠務單元系統進行改良，藉由ASC (Air system controller )系統的導入讓空壓機生產穩定性與效率能夠提升 ; 另一...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

Heat Pump Application and Energy Saving

熱泵的節能與應用

文 | 王義信 | 李玫 | 設計營建部 |

Heat pump乃是利用卡諾循環 (Carnot cycle)設計的一種熱機，而"熱泵"是由英文 Heatpump 翻譯而來，熱泵壓縮機利用吸收環境的熱能，不需燃燒，不產生二氧化碳及廢熱氣，可...

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