TSMC 廠務季刊

2024.03, Vol.53 / 技術專文

Biodiversity Management-Habitat Creation and Management of Fireflies

生物多樣性的經營-螢火蟲的棲地營造與管理

文 | 張采依 | 凃佩君 | 公共設施服務部 |

在都市環境與科技廠區中營造自然生態環境為生態與科技共存的重要元素之一。其中螢火蟲為評估生態系統健康的可靠指標物種，也在生態食物網中扮演重要角色，故台積廠區以復育螢火蟲作為生物多樣性經營。依據螢火蟲幼蟲的生活環境氛圍...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文

Modularized Handover Management Method for New FAB Certification and Acceptance

新建廠認證驗收模組化移交管理方法

文 | 林文榮 | 台南廠務六部 |

因應新世代製程演進及消費市場的強烈需求，公司新建廠房頻繁已成為這幾年來的常態。為了能更快速進入生產模式，相對的新廠房如何在最短時程進入運轉生產已成為必然之趨勢。新建廠專案分成以下四個主要階段：設計規劃→監...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

OneFAC Benefit Accessing and Future Development

OneFAC效益評估及未來發展對策

文 | 黃昭文 | 竹科廠務一部 |

本文由廠務組織的合併規劃開始，構思OneFAC平台開發的目標設定與規劃，說明OneFAC平台開發的五大主要功能，藉由OneFAC管理人員與使用者的實際操作討論，持續進行系統改版與功能擴充，最後進行使用效益評估，藉由使用者...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

Study on Facility Organization and Operation Methodology in RD FAB

論研發廠廠務組織的規劃與運作模式

文 | 尤國男 | 竹科廠務五部 |

廠務組織承擔工廠永續營運的基礎，設計規劃新廠區並為公司提供穩定和維護良好的運營環境。其中研發廠廠務總是在新製程開發階段與RD組織密切合作，一方面參與製程問題改善，另一方面解決新製程衍生的空污、水污問題等。同時把這些累...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

To investigate the Challenge of AAS Systems in tsmc 8"Semiconductor Fab

探討台積電八吋晶圓廠空污處理系統的挑戰

文 | 連上舜 | 竹科廠務二部 |

隨著台灣歷經了多次的空氣污染防制法的修訂與政策變遷，建置時的空污處理設備效率不彰是許多老廠正面臨的問題。如何持續精進空污處理設備以達到公司綠色製造，永續經營的理念是關鍵。本文以台積電首座八吋晶圓製造廠三廠為例，運用KT決...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文

Building-up Effective CPM Managements for New Fab Construction Project

建構高科技廠房建廠要徑管理模式

文 | 呂孟倉 | 新廠工程管理部 |

本文由高科技廠房建廠時程管理的實務切入，討論要徑法(CPM)在高科技廠房工程上的限制。並藉由軌道運輸啟示，提出類比列車軌道時程管理上與高科技廠房建廠時程管理有相似之處，研究建構一個適用於高科技廠房建廠專案的要徑管理...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility

半導體廠房土壤污染整治

文 | 陳人滎 | 林裕聰 | 先進封裝工安衛生部 |

台積電先進封測三廠為公司首次跨產業、坐落桃園市並與合作客戶收購廠房，進行土地移轉時，依法應提供土壤污染檢測資料，執行全廠區及重點區細部土壤檢測。經XRF篩測後發現，碼頭區受重金屬鉻、汞、鎳污染，且污染集中於 1 公...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Safety Management for EUV Tool

超紫外光機台全方位安全管理

文 | 曾威霖 | 十二廠工安環保一部 |

超紫外光(EUV)為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律(Moore's law)的新世代微影技術，亦是台積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備，EUV造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣(Hydroge...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Fab & HPM Area Construction Procedure and Management

廠房無塵室與危害性物質放置樓層之工序與施工管理

文 | 徐偉翔 | 新廠工程管理部 | 陳修皓 | 新廠工程管理部 | 張允泰 | 新廠工程管理部 | 王毅挺 | 新廠工程管理部 |

晶圓廠廠房之新建工程中，包含了土建結構、內裝、無塵室、機械、電力、監控、裝修、氣體、化學、純水、廢水等數十項工程，廠房內的管線分佈綿密、工項繁瑣且複雜。若沒有有效的管理方法，就會造成不同系統間的管路干涉、與施作空間...

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2015.3, Vol.17 / 技術專文

Automatic Material Handling System Design for GIGA FAB Cross Phase Bridge

超大晶圓廠間的自動晶圓傳輸橋接設計

文 | 董啟峰 | 製造技術中心 |

台積電在卓越製造技術有一重要因素即為導入超大晶圓廠 (GIGA FAB) 概念，而跨接橋樑 (Cross Phase Bridge) 的設計則確保超大晶圓廠運作的成功。本文主在說明一個跨接橋的設計需考慮何因素，並利...

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2014.12, Vol.16 / 技術專文

Construction of Ecological Conservation Landscaping Start from the TSMC Taiwan Native Plants Afforestation

建構以生態保育為目標的廠區綠化 - 從台積電原生植物為起點

文 | 胡維新 | 國立自然科學博物館 |

在台積電中科十五廠建廠即注意到生態保育的重要，積極將傳統工業區的綠化從「環境綠化」提升至「生態綠化」的層次，引進大量台灣本土的樹種，總計有66科106屬125種，藉以提高廠區物種的多樣性，並配合流動水體，搭配地被、...

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2014.3, Vol.13 / 技術專文

Site Evaluation Methodology and Practice Study

廠房選址評估理論與現況探討

文 | 賈芸如 | 陳素雲 | 新廠規劃部 |

因應不斷進步的製程及產品需求，高階晶圓廠的持續建置與發展是無可避免的競爭趨勢，因此尋找適當的晶圓廠用地以配合產能的擴充一直是新廠規劃部重要的任務之一。本文希望透過理論的介紹與國內外廠房選址的經驗，分享廠房選址的方法...

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2014.3, Vol.13 / 技術專文

Site and Building Planning Indices

新廠規劃指標

文 | 沈建宏 | 新廠規劃部 |

本文主要是探討新廠規劃時指標的意義及趨勢，利用既有廠區指標作為規劃參考，完成空間規劃。首先說明廠房規劃階段必須界定的三個步驟，並說明如何透過指標的引導進行系統性的廠房規劃。接著，為結合廠房規劃步驟說明各項指標的意義...

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2014.3, Vol.13 / 技術專文

Initial Design Integration Enhancement for New Fab Planning Application

新廠規劃的前導者 - IDI系統再進化

文 | 朱慧明 | 新廠規劃部 | 吳瑛期 | 新廠規劃部 |

新建廠房於規劃設計時，必須依據生產機台的需求 (Tools Utility Requirement) 進行各種廠務供應系統規劃與建造，各系統容量規劃及管路配置長度是影響建廠成本的關鍵因素；本篇將闡述建立生產機台需求...

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2014.3, Vol.13 / 技術專文

New IT Developing Method - Agile Software Development

新資訊系統開發方法 - 敏捷式軟體開發

文 | 林宥芯 | 新廠規劃部 |

本文以敏捷式系統開發方法(Agile Development)開發的新廠設計管理平台(PDM)為例，說明此方法與傳統系統開發方法的差異處，並說明如何能分階段完成系統規劃與開發。希望能根據此經驗，提出敏捷式系統開發方...

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2014.3, Vol.13 / 新象新知

Challenge, Innovation and Fancy in 450mm Era

十八吋的挑戰創新與新奇

文 | 周友華 | 450mm專案 |

New market demand from sort of mobile applications upon ultra-low power devices will induce advanced techno...

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