TSMC 廠務季刊

2023.06, Vol.50 / 技術專文

The brand-new proposal of power generator respond to power rationing

當限電成為常態，發電機運轉新思維

文 | 余宗賢 | 楊智翔 | 侯谷諺 | 葉清 | 台中廠務三部 |

近年台電限電頻繁而當備轉容量不足時，發生大規模停電的風險增加，因此探討發電機該如何找出較佳的運轉方式。本文定義發電機三種運轉模式，模式⑴ : F15P7發電機單群11台啟動；模式⑵ : ...

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2021.03, Vol.41 / 技術專文

The last mile of the factory construction project–Commission Aesthetic

建廠工程的最後一哩路–試俥美學

文 | 沈炫孚 | 黃煒添 | 新廠工程管理部 |

試俥管理是一系列有系統有組織架構的執行過程；從設計階段開始，經全方位的營建施工與施工品質查驗控管，然後在完整的系統上進行一系列測試與運轉過程。利用5-Tier[1]試俥管理手法搭配標準試俥流程及完整...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文

Automation Circulation Drum System Development

研磨液自動循環系統開發解決手動操作風險

文 | 翁儷瑜 | 張育正 | 新廠設計部 |

現行研磨液的均勻再分散，是藉由搖搖機來進行；然而，搖搖機屬於高風險手動作業設備，非自動化的人力操作凸顯誤操作的風險、作業安全及人力資源取得的問題。本計畫開發的研磨液自動循環系統，於回流端和抽吸端的汲取管分別裝設混流...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Machine Engineering Data Analysis Processing Technology

機台工程資料分析預先處理技術

文 | 簡伯恩 | 張志成 | 新廠工程管理部 |

隨著製程微型化演進，任何細小的參數變化皆會影響製程的良率與機台效能。製程研發階段時，機台端及廠務端有即時偵測系統進行製程環境及供應系統參數監測，但是在兩者之間的裝機管路沒有即時監測系統或使用機械式元件，當產品有異常...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

New Revolution in Slurry Filtration System - Cross Flow Filtration

研磨液過濾系統新革命 - 掃流過濾

文 | 江宜蓁 | 奈米材料中心一部 | 曾誌江 | 新廠設計部 |

在半導體製程中，改善晶圓缺陷為提昇良率重要的一環。以化學機械研磨中的刮傷缺陷之改善為例，一般常見手法為裝置濾心以降低研磨液中微粒子數，但目前過濾方法的效果十分有限。本研究顛覆過去既有的過濾思維，在半導體業首創掃流式...

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2016.9, Vol.23 / 新象新知

Pressure Driven Flow for Netted Piping or Tubing

壓力驅動的網管流模擬

文 | 游添生 | 聯華氣體工業股份有限公司 | 詹益政 | 國立高雄海洋科技大學 |

常見流體在單管中的流動，在網管間的流動甚少提及。本研究以壓力、質量流率、比容及焓做為計算變數，並引入狀態方程式以計算非理想氣體的流動。以節點做為質量及能量守恆的條件，不需要有封閉回路或虛擬回路。由於園區氣體在管路中...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文

Facility General Meter Setup and Application

廠務常用儀表安裝與選用

文 | 劉彥宏 | 南科廠務三部 |

製程儀控系統在工廠扮演著神經中樞與控制中心的地位，其中儀表擔負著各製程系統的眼睛，即時反應線上系統重要參數與品質數據，同時也肩負工廠系統安全與人員保護的重要任務。本文主旨在介紹廠內常用儀表，介紹溫度、壓力、液位與流...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

A Novel Gas Supply Technique with Stable Output Concentration: Application for the Gas with High Reactivity & Extreme Toxicity

一個新穎的穩定濃度供氣技術：高活性劇毒氣體的應用

文 | 劉俊男 | 黃介然 | 新廠設計部 |

乙硼烷(B2H6, Diborane)為一種相當重要的半導體製程氣體，其具有高活性與劇毒性。鋼瓶內的B2H6即使未和其他物質接...

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2011.7, Vol.03 / 樂活園地

TSMC Flower Festival

台積電賞花季

文 | 曾勝榮 | 公共設施服務部 |

2010年4月春暖花開，我們 F2/5 的接駁車路徑開始，探尋花開的蹤影，沿著園區二路來到 F12P1 廠區周圍，然後環繞 F12P4 廠區生態池，看到層層杜鵑漫開，心中產生了不一樣的悸動 ! 如果再結合 F3、F...

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2011.4, Vol.02 / 特別企劃

The Energy Saving Study of Variable Primary Flow Chiller System

冰水系統之節能探討

文 | 林學成 | 設計營建部 |

在半導體廠之運轉電費，由以往經驗來看，冰機系統佔總耗電量，高達14%之多，如圖1所示，故由冰機系統切入考量，可得到一定比重之節能成效。有鑑於此，tsmc評估既有系統架構之優缺點後，...

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