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2021.9, Vol.43 / 技術專文
Practice of Facility Technical Development
廠務技術發展實務(看法與作法)
文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |
廠務主要工作是依靠三大支柱保養、警報和巡檢來維持工廠穩定運作，隨著製程技術的演進，廠務也需要技術發展來滿足先進製程生產和環境永續的目標，畢竟技術發展是製造業維持競爭力的根本，廠務技術發展的做法可由感測器開發、防禦過...

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2020.12, Vol.40 / 新象新知
Special gas rapid quality detection system
特殊氣體品質快篩系統
文 | 黃介然 | 王義信 | 新廠設計部 |
半導體先進製程不斷提升下，面臨著如何確保氣體品質以提高產品良率與降低製程成本等問題。針對快篩檢驗鋼瓶氣體品質開發特殊氣體品質快篩系統(Special Gas Rapid Quality Detection System)...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文
Application of Supply Quality Check for Process Gas Materials - A Case of C3H6
製程氣體原物料供應品質監測實務應用─以丙烯為例
文 | 林其鋒 | 盧從智 | 南科廠務五部 氣化三課 |
檢視製程氣體供應系統可發現，特殊氣體原物料品質監測屬於品質把關較不足的一塊，目前運轉供應上僅能依靠廠商提供原物料檢驗報告及既有供應系統的鋼瓶壓力來檢視供應品質，若能導入高精度且能於供應鋼瓶上線前防守，定能提高整體供應系統...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
Underground Cable Pipeline Bend On-line Measurement
地下電纜管路變形在線偵測技術
文 | 黃錠城 | 南科廠務一部 |
南科原本為甘蔗田，地下10~50公尺為黏土、細沙、粉土組成。地下水位升降會造成鄰近地層壓縮產生塑性變形，也就是地層下陷。2018南科六廠地下電纜發生絕緣短路，影響半廠電力供應。起因電纜出口處地層下陷，上方土壤重壓管...

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2018.3, Vol.29 / 新象新知
Dependable Companion Robots for Daily Inspection
談巡檢機器人於廠務運轉之應用
文 | 余宗賢 | 張書豪 | 中科廠務一部 |
廠務設備數量龐大且遍布整個廠區，僅靠傳統人力巡檢的管理模式，已無法完整涵蓋現今的工廠運作，當廠區規模為超大晶圓廠(GigaFAB)，更是需要投入大量人力；為此，導入巡檢機器人於廠房設備之日常運作，並針對廠區水、電、...

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2017.9, Vol.27 / 技術專文
Improvement of Slurry Dispense System
化學研磨液供應系統的改善
文 | 孫聖哲 | 竹科廠務四部 |
隨著半導體產業日新月異的發展，整條製程產線上從化學品供應系統到設備機台都須不斷地強化更新。本篇著重在化學研磨液供應系統的強化。現今化學研磨液供應系統雖趨於成熟，但為了因應新物料的產生、使用者需求、更精準的品質以及強...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文
Background Noise Reduction of HV Partial Discharge Monitoring System
高壓系統局部放電雜訊背景改善
文 | 賴柏青 | 南科廠務一部 |
TSMC導入了在線式局部放電監控技術(on-line PD)[1]，於主高壓設備監控，期能早期偵測出異常前兆，降低高壓元件故障影響之事故發生。量測技術為高頻電磁場量測法(近十幾年來局部放電偵測...

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2016.3, Vol.21 / 技術專文
Facility General Meter Setup and Application
廠務常用儀表安裝與選用
文 | 劉彥宏 | 南科廠務三部 |
製程儀控系統在工廠扮演著神經中樞與控制中心的地位，其中儀表擔負著各製程系統的眼睛，即時反應線上系統重要參數與品質數據，同時也肩負工廠系統安全與人員保護的重要任務。本文主旨在介紹廠內常用儀表，介紹溫度、壓力、液位與流...

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2011.4, Vol.02 / 技術專文
A Ditopic Fluorescent Sensor for Potassium Fluoride
偵測氟化鉀之雙目標螢光感測器之研究
文 | 陳虹瑤 | 台灣大學環境工程系 | 許明皓 | 台灣大學環境工程系 | 吳怡亭 | 國立台灣大學化學工程系 | 林語騰 | 國立台灣大學土木工程系 | 黃正吉 | TSMC 製造技術中心 | 張陸滿 | 國立台灣大學土木工程系 | 林郁真 | 台灣大學環境工程系 | 林正芳 | 台灣大學環境工程系 |
添加的氟化鉀(KF)“接通”螢光感測器1 與感測器2，但添加氯化鉀(KCl) 和溴化鉀(KBr) 在螢光感測器 1 與感測器2 中卻無螢光反應。螢光反應同時也可以“關閉&rdqu...

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