TSMC 廠務季刊

2022.9, Vol.47 / 技術專文

Air Distribution Improvement and Management of Downflow Clean Room

單向流無塵室氣流組織改善及精進管理

文 | 葉濤 | 姜玉龍 | 上海廠務部 |

不同於其他廠區無塵室內前期造價昂貴的天車系統(Automatic Material Handling System, AMHS)，F10廠區無塵室內採用的是人工物料搬運系統(Manual Material Handlin...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park

南科防洪策略

文 | 吳昆桂 | 六廠工安環保部 | 連唯盛 | 十五B 廠工安環保部 |

南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Space Management Challenge for Nanjing Project

空間管理在南京建廠面臨到的挑戰

文 | 賴慶鴻 | 新廠工程管理部 |

空間管理工作在新建廠中負責整合各種系統管路及設備，進行合理的安排，使各種管路整齊、美觀的配置於廠房內，且能在施工過程中避免管路干涉，減少返工修改及各種資源的浪費，達到降低施工成本及提高工作效率的目的。本文整理了南京...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

Development Procedure of Programmable Logic Controller by On-line Simulation

廠務控制程式模擬流程開發

文 | 李宥廷 | 陳民凱 | 南科廠務三部 |

在廠務系統中，大部分系統皆由設備廠商提供程式，部份廠商因機密問題不提供原始程式，又程式撰寫方式均以階梯圖撰寫，且動輒上千條程式，難以深入詳細的動作邏輯。故本文制定出廠務控制程式開發流程，並配合Off Line模擬系...

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2016.12, Vol.24 / 新象新知

The Application of Dynamic Process Simulation to Semiconductor Facility Operation

談動態製程模擬技術在半導體廠廠務運轉的應用

文 | 蔡昀叡 | 300mm Fabs廠務處 | 鄭昭平 | 新廠規畫部 | 吳劉駒 | MYNAH Technologies, LLC |

本文介紹模擬技術的發展及應用現況，並說明如何透過動態製程模擬技術結合控制系統，來模擬半導體廠設備運轉特性及外在環境變化，建構仿真工廠以提供一個擬真的實戰訓練環境，協助廠務運轉人員快速累積知識與經驗，在面對異常事件或...

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2015.3, Vol.17 / 新象新知

Application of Construction Simulation Techniques

營建模擬技術的運用

文 | 王維志 | 國立交通大學 |

本文所謂營建模擬的「模擬」乃指「模仿」營建流程真實情況之運作，進而預估該流程之執行成效。早在1963年，美國學者就建議利用模擬技術來協助營建機具的選擇決策，所以營建模擬其實並不是一個新技術，但國內業界可能對此領域比...

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2014.6, Vol.14 / 技術專文

Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air

以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 馮郁寧 | 國立臺北科技大學 | 胡石政 | 國立臺北科技大學 |

本研究採用有限體積法，透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析，以一新建廠房相關數據進行模型的建立，同時將鄰近廠區相關數據納入評估，針對該廠區在不同季節條件下，污染物(總...

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2014.3, Vol.13 / 技術專文

Multi-Dimensional Simulation for Fab Construction

廠房建築施工多維度模擬應用

文 | 賴彥程 | 國立台灣大學 | 鄭昭平 | 新廠規劃部 |

本文將介紹針對晶圓廠下部結構製作4D施工模擬之研究過程與成果，旨在探討應用電腦輔助工具於高科技廠房建廠施工優化，解決以往不易掌握之資源分配、空間衝突、排程管理等問題。研究係藉助台積電十四廠七期下部結構之場、預鑄混合...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Explosion Simulation of Hydrogen Released from the Massive EPI Processes

大量EPI製程氫氣洩漏爆炸後果模擬分析

文 | 洪文當 | 工程品質暨安全管理部 | 黃建彰 | 財團法人安全衛生技術中心 |

EPI 製程使用大量氫氣已經在國內外造成一些事故，因為製程需求，新建廠需規劃大量EPI機台，新工處與財團法人安全衛生技術中心共同合作，希望針對製程設備以定性及定量方式進行風險評估。此外，以CFD電腦模擬方式定性模擬...

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2012.1, Vol.05 / 特別企劃

Apply Simulation and Analytical Techniques in Construction Resource Planning and Scheduling

應用模擬及分析技術於營建工程的資源分配及時程規畫

文 | 陳士明 | 陳柏翰 | 張陸滿 | 國立台灣大學 |

迄今為止，很少有文獻介紹在特定的工程目標及限制條件下，承包商如何找出人力、材料、設備及空間的最佳化分配。因此，傳統的資源分配及時程規畫方法往往相當依賴經驗或直覺判斷，而非依據實際數據做分析。本文作者應用模擬及分析技...

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2012.1, Vol.05 / 技術專文

Facility Seismic Design

設備的地震力設計考量

文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 |

本文主要在探討機電附屬設備地震力設計的法範與TSMC的設備耐震規範。一般而言，在建築物的使用期間，遭遇一次強烈地震使得主體結構損壞的機率可能只有2%，但是攸關半導體廠房機能的廠務與製程設備，卻可能在一次五到十年回歸...

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2012.1, Vol.05 / 特別企劃

5D Simulation in Enginneering Design

5D模擬在工程設計上的應用

文 | 沈建宏 | 專案管理部 |

從工程初期開始籌劃時，即應思考如何能在整個工程設計生命週期內的每一個階段都使業主、設計師、工程師及營建團隊都能在共同的作業平台發揮各自重要的功能，5D的概念即是結合視覺模型、溝通管理及資料庫建立等多功能智慧型數位平...

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2011.10, Vol.04 / 技術專文

Measurement and Analysis of Slab Stiffness

樓版勁度量測及分析

文 | 陳錦村 | 研究專案部 |

廠房的微振等級通常是由垂直向振動所控制，而垂直向振動則和樓版的勁度(stiffness)相關，有關樓版勁度的設計通常先用有限元素法(Finite Element Method)數值模擬求出其勁度，再配合結構體完成後...

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