TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Increasing the capacity of Ammonium Sulfate Crystallization

循環經濟-硫酸銨結晶系統產能提升策略

文 | 劉子豪 | 周彥呂 | 林冠維 | 張子宸 | 張詠翔 | 新竹廠務六部 |

2018年台積引入機械式蒸氣再壓縮技術處理硫酸銨廢液，2021年將此技術由中科導入至竹科與南科。竹科與中南科非同系統商建造，其系統設計有部分不同，故在實務運轉之操作參數亦有差異；F12B藉由控制結晶顆粒大小來穩定推...

按讚

0

點閱 (31)

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Establishment of ammonium sulfate drying system and air pollution control technology

循環經濟_硫酸銨乾燥系統設立與空污防治技術

文 | 高舶格 | 台南廠務四部 |

隨著產能及研發規模持續擴充，台積公司採取「廢棄物產出最小化，資源循環使用最大化」的廢棄物管理方針。其中，針對廢硫酸及氨氮廢水，繼民國104年成功轉製為可委外再利用的硫酸銨廢液；台積公司再次領先業界、進一步導入「機械...

按讚

0

點閱 (13)

2020.12, Vol.40 / 技術專文

Operation and Maintenance for Crystallization Technology of Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid

硫酸銨乾燥系統運轉實務與維護保養

文 | 曾俞勳 | 田鎰菁 | 中科廠務二部 |

應用節能的機械式蒸氣再壓縮技術，將30%液態硫酸銨經由蒸發、濃縮再結晶，製作成為固態再生資源產品，以物理反應執行，將液體相變化為固體，使體積減少的機制達成減廢，雖原理簡單，但由於高濃度含結晶顆粒溶液，運作特性不同於以往...

按讚

0

點閱 (34)

2020.6, Vol.36 / 技術專文

New Technology of NH4N High Removal Efficiency and Recycling in Caustic Wastewater-Stripper

鹼性廢水中氨氮的高效脫除與資源再利用新技術

文 | 韓華楊 | 劉建國 | 南京廠務一部水處理課 |

對於半導體製造業大廠，廢水有效處理達到排放要求，高濃度的氨氮廢水處理格外重要，尤其針對南京廠，根據最新出臺的《江蘇省半導體行業排放標準》，政府規定的硫酸鹽類濃度小於600ppm，且氨氮外排標準已由45ppm 調整至20p...

按讚

0

點閱 (71)

2020.6, Vol.36 / 技術專文

Crystallization Technology of Semiconductor Waste Sulfuric Acid Recovery to Industrial Grade Ammonium Sulfate Liquid

半導體廢硫酸回收轉製成工業級硫酸銨乾燥技術探討

文 | 曾俞勳 | 中科廠務二部 | 劉憲文 | 南科廠務七部 |

為了達成「廢棄物產出最小化與資源回收最大化」的循環經濟理念，台積公司持續推動源頭減量及廠內廢棄物回收再利用。本次研究導入普遍用於化工業的「結晶乾燥系統」，對硫酸銨廢液進行蒸發濃縮產出工業級硫酸銨晶體，不但節省硫酸銨委外...

按讚

0

點閱 (85)

2018.6, Vol.30 / 技術專文

Tool Exhaust HEPA Retrofit in Particulate Matter Reduction

高效濾網於機台排氣粒狀物減量之運用

文 | 陳昭文 | 中科廠務三部 | 吳曜安 | 新廠工程管理部 |

近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2018年7月1日起將針對固定污染源的懸浮微粒、細懸浮微粒等粒狀污染物開徵空氣污染防制費，因應粒狀污染物減量趨勢，各廠需積極進行白煙粒狀物改善。目前先進製程的粒狀污染物排...

按讚

0

點閱 (109)

2017.6, Vol.26 / 技術專文

Application of Exhaust Shunting Retrofit in Particulate Matter Reduction

排氣分流改造應用於粒狀物減量

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題開始受到重視，近年來PM2.5超過空氣品質標準，環保署公告2017年1月1日起各縣市列為三級空氣污染防制區，面對未來將進行總量管制及排放物種削減之趨勢，各廠需進行白煙粒狀物改善。目...

按讚

0

點閱 (86)

2014.6, Vol.14 / 技術專文

New Technology for Ammonia Recycling from Wastewater

創新氨氮廢水資源化

文 | 李玫 | 新廠設計部 | 傅正貴 | 十四廠七期專案 | 王俊元 | 十四B廠廠務一部 |

半導體事業所排放的廢水常含有高濃度的氨氮與雙氧水，具有高污染濃度、高生物毒性等特性，依新制之放流水標準，對於氨氮廢水的處理是刻不容緩的。本文介紹以脫氣膜(MD)的處理方式，將廢水中的氨氮轉換為硫酸銨廢液，企圖將廢水...

按讚

0

點閱 (56)

金筆獎入圍

2012.7, Vol.07 / 特別企劃

Recycling of Alkaline Wastewater from Semiconductor Plant

半導體廠鹼性廢水的回收與資源再利用技術

文 | 丁瑞華 | 新廠營建部 | 陳國益 | 兆聯實業股份有限公司 |

含氨 (Ammonia) 的鹼性廢水是半導體廠棘手的問題，因為水中除了氨外，往往還伴隨著高濃度的雙氧水。以回收的方式來濃縮廢水中的氨，並導入脫氣膜 (Membrane Degasifier) 與硫酸反應生成硫酸氨。...

按讚

0

點閱 (65)

文章分類

熱門關鍵詞