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Vol.32 / 技術專文
Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake
六級強震巨災應變對策
地震為發生機率高且不易預測之天災,近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震;且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷),因此如何面對這麼巨大的天然災害,並於第一時間做好緊急應變,固守人員安全並快速回復...

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Vol.06 / 新象新知
A Moving Aesthetic of Contemporary Building:Southern Branch of National Palace Museum
當代建築的流動美學 - 故宮南院
歷經一波三折,國立故宮博物院南院興建計畫終於塵埃落定,佔地七十公頃的故宮南院園區將於2015年全面開放營運,博物館主體建築由姚仁喜率領的「大元聯合建築師事務所」設計;園區景觀則由行遠國際開發工程股份有限公司負責。故...

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金筆獎入圍
Vol.32 / 技術專文
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估,結果多為未檢出,且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物,必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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Vol.32 / 技術專文
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
隨著公司近年來陸續進入先進製程,使用的氣體及化學品種類變得更多,生產過程也變得更複雜,衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題,顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣,鑑別出酸性排...

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Vol.02 / 特別企劃
Green Eco-Community Planning and Development
綠色生態社區的發展與規劃
全球暖化問題持續加溫,統計台灣近百年來暖化速度是全球平均值的二倍,全球增溫0.6度,台灣增溫達1.1度。此外,台灣人口密度高居全球第二,70%以上的人口集中於都市,造成都市土地過度開發,綠地面積偏低且不透水率高達9...

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Vol.32 / 技術專文
Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
南科地區在2009年莫拉克風災時,出現超過200年重現期的降雨量,當時廠房雖未淹水受損,但從風險預防及營運持續管理的角度,我們希望具體量化洪水風險,檢討對應的改善措施,並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...

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Vol.33 / 技術專文
Establish TSMC Ecological Management Objectives and Development Roadmap
建構台積電生態環境管理目標與發展藍圖
本研究旨在探討如何建構台積電生態環境管理目標,並藉由動態式管理手法將短、中、長期的工作計畫轉化為台積電生態環境發展藍圖。透過國內外文獻回顧整理,擬定台積電生態環境管理5大目標及其30個關鍵因子,以問卷深度訪談40位...

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Vol.02 / 技術專文
F14P1 Office Building Environment Comfort Survey
F14P1辦公室環境舒適度調查
2010年底,公共設施服務部對F14P1 O棟三千多位同仁作了一個辦公室環境舒適度調查,經過一個多月的推廣,總共收到931位同仁的回應,表達了他們對各項辦公室環境指標的滿意度。實施如此規模的問卷調查,從問卷的設計、...

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Vol.02 / 新象新知
A new approach for companywide clock alignment
提昇企業時鐘準點
時間,它與我們形影不離,但視線可及之處,如接待大廳、會議室及演講廳等的時鐘,由於準確度不同,時間呈現亦各有差異,易造成使用者困擾,也因採傳統式電子鐘故需額外人力調整時間及更換電池,因此,尋求一種自動對時且準確性高的...

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Vol.01 / 技術專文
WHAT IS INDOOR AIR QUALITY AND ITS DEVELOPMENT ?
淺談室內空氣品質內容及發展趨勢 - 達成健康的室內環境
室內空氣品質泛指建築物內的環境特徵會影響人體健康、舒適度或工作效率之因子,包含室內空氣中污染或危害物質的濃度、溫度、溼度,影響的因子包含發生源、污染物質、空調系統及人員感受,污染物質及因子包含一氧化碳(carbon...

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Vol.01 / 新象新知
Green Life
生活"綠"動
生活中人們隨手一罐或一杯攜帶方便的消暑飲料,帶來清涼解渴的同時,也變成數量可觀的資源垃圾,為了再次傳達企業應有的綠色環保理念及感謝大家對垃圾分類的落實執行,因此,團隊中便醞釀出一個具環保意涵又能美化環境的裝置藝術來...

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Vol.01 / 新象新知
d²w technology
與自然和諧共好的綠色塑料
“塑膠袋",在人類生活中提供了其它材料所無法取代之方便性與經濟性,但也伴隨著處理棘手之問題,如掩埋無法分解,燃燒產生毒氣 ( 戴奧辛 ),就算有心做回收,也因油膩、髒污不利回收,更因材質種類繁多,致標示...

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Vol.03 / 樂活園地
TSMC Flower Festival
台積電賞花季
2010年4月春暖花開,我們 F2/5 的接駁車路徑開始,探尋花開的蹤影,沿著園區二路來到 F12P1 廠區周圍,然後環繞 F12P4 廠區生態池,看到層層杜鵑漫開,心中產生了不一樣的悸動 ! 如果再結合 F3、F...

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Vol.39 / 技術專文
ECP/B.S. Area IPA total solution and management
防微杜漸–ECP/B.S區環境IPA全面改善及管理機制
隨著製程演進,製程對環境氣膠微汙染控制(AMC)品質要求更嚴格,以ECP/B.S.為例,環境異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)濃度控制目標值再下降75%,ECP/B.S.區IPA主要來源為外氣空調箱(...

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Vol.39 / 技術專文
Analysis and prevention IPA sources in clean room environment
半導體製程無塵室環境IPA來源分析與防治
隨著製成世代的進步,半導體晶圓製程的線徑也越來越小,但化學品使用量卻越來越多種多樣,本文著重於有使用異丙醇(IPA)的機台其IPA的洩漏改善,由作業觀察到設備的改善活動CIT(Continual Improvement ...

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Vol.39 / 技術專文
No AMC Contamination–IPA/Acetone Concentration Improvement in CleanRoom
AMC零污染–無塵室異丙醇及丙酮濃度改善
從10奈米製程以降,清洗晶片的機台大量使用異丙醇、硫酸、雙氧水等化學品進行清洗,因其尾氣混排至酸性洗滌塔,未能有效處理的異丙醇及丙酮容易伴隨外氣進入無塵室。因現有處理有機物的化學濾網未能有效吸附這些小分子量的氣體,使無塵...

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