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2020.9, Vol.39 / 技術專文
Research and Defense of Air Pollution Impact on AMC
空污對微污染影響的探討與防禦
文 | 王威凱 | 中科廠務一部 |
隨著半導體導線線徑的縮減及製程發展的演進，氣態分子污染物(AMC)的管制及監控方式也更受重視，面臨微污染物威脅，必須要有完整監測系統搭配防治計畫，除了無塵室環境內機台或者是人為污染管控外，外氣污染也是相當大的考驗，目前大...

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2020.9, Vol.39 / 技術專文
No AMC Contamination–IPA/Acetone Concentration Improvement in CleanRoom
AMC零污染–無塵室異丙醇及丙酮濃度改善
文 | 楊尊中 | 陳民軒 | 中科廠務三部 |
從10奈米製程以降，清洗晶片的機台大量使用異丙醇、硫酸、雙氧水等化學品進行清洗，因其尾氣混排至酸性洗滌塔，未能有效處理的異丙醇及丙酮容易伴隨外氣進入無塵室。因現有處理有機物的化學濾網未能有效吸附這些小分子量的氣體，使無塵...

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2020.9, Vol.39 / 技術專文
The crisis and exploration of air AMC in Nanjing
南京外氣AMC的危機與探究
文 | 屈悅 | 許焱欽 | 南京廠務一部 |
半導體工藝的精進，使得潔淨室對空氣的品質要求越來越高，小顆粒的懸浮分子污染物對製品的影響越來越大。南京台積電身處工業園區，AMC問題存在內憂外患的危機。因南京廠區為新建廠，廠區內部目前仍有大量的有機溶劑施工作業，以及有半...

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點閱 (25)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Cybersecurity Protection–Trends and Strategies in Industrial Control Cybersecurity
廠務資安防護–工控資安趨勢及策略
文 | 黃稚程 | 新廠設計部 |
孫子兵法云：「多算勝，少算不勝，而況無算乎」。從資安風險的角度來衡量廠務，需清楚內部有何工業控制系統，何系統與可用性及人員安全的關聯性最高，何系統流程影響工廠運轉最深，並釐清這些系統或流程受駭客攻擊的可能性，然後藉由資安...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Supply Parameter Change Management
落實廠務全面品質管理的關鍵議題–廠務變更管理
文 | 邱保仁 | 竹科儀控系統課 |
在晶圓廠中廠務系統所扮演的角色是提供穩定、有品質的物料(SDS、CDS、 GAS)供機台設備製造晶圓使用；因此，提供穩定而有品質的物料是廠務永遠追求的目標，而關鍵點就在於系統機台的參數設定，參數的設定失真會影響到物料的輸...

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點閱 (30)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Facility Systems Supply Quality Management
廠務系統穩定運轉–廠務供應品質
文 | 陳恩德 | 竹科儀控系統課 |
現今晶圓生產、及機台運作需要穩定及高品質的電力、空調、水處理、及氣體與或化學品供應，越高階製程所需要的廠務供應品質要求越高。目前廠務品質管理分為In-line/Off-line不同指標，本文探討廠務既有品質管理是否與Fa...

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點閱 (38)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
The Problem Solving Method for Faclity Interruption Event.
廠務系統供應中斷問題解決方法
文 | 劉佳芳 | 竹科儀控系統課 |
隨著半導體製程不斷演進與製程複雜、及高科技產品快速地推陳出新 ，晶圓的價值也持續攀高，及必須快速生產推向市場，一但廠務供應中斷影響生產，或是廠務排放品質異常導致環保問題，除了工廠大範圍運作受影響，公司信譽與形象也會受負面...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Reliability Management
廠務系統穩定運轉–可靠度管理
文 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
廠務系統為穩定運轉，而設計為熱備援模式穩定供應，廠務系統除了要求各個設備穩定運轉外，也要求即時運轉在熱備援模式，以避免任何一項設備問題停機而影響整體系統穩定供應；為了能夠即時偵測系統是否符合熱備援穩定運轉需求，因此系統可...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Alarm Management
廠務系統穩定運轉–警報管理
文 | 王明富 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
警報管理為廠務運轉的基石，如何建構完整度100%整合系統架構沒有遺漏?如何智能區別為真實警報或是維修、保養及測試警報?系統發生警報泛洪(Alarm Flooding)時，值班該如何面對?如何讓警報轉化為事件?需要智能自動...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
User Requirements–based Information Integration Platform for Facility Management
使用需求導向資訊整合平台–以廠務開關門十件事為例
文 | 吳智瑋 | 新廠規劃部 | 賴意中 | 新廠規劃部 |
近年來隨著廠務組織合併/調整與運轉管理持續精進，舊有廠務值班與品質管理資訊整合平台已漸漸不符使用。存在的問題包含資訊整合廣度不足，且散落在不同的資訊系統、廠內運轉狀況的彙整與呈現不夠即時等。為了提升廠務運轉管理的效率，本...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Consumption Management
廠務系統穩定運轉–桶槽用量管理
文 | 林威志 | 中科儀控系統課 |
隨著半導體製程的演進，製程所需的化學品用量也隨之大增，造成原物料與廢液的產出也大增，因此物料用量的管理與廢液清理的管理便成為一個重要的課題；廠務系統係Central供應Fab使用，如何確保製程所需的化學品能供應無虞並且產...

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點閱 (68)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
The basis for stable operation–People management
穩定運轉的基礎–人員管理
文 | 詹立得 | 南科儀控系統二課 |
有效的人員管理機制是提升廠務運轉穩定不可或缺的要素，針對工作的執行性質不同多年來已發展出許多的管理方法，諸如高度風險工程管理、特殊作業許可證等管理辦法，本文就針對人員管理與廠務運轉穩定度的相關性深入討論，找出現階段廠務運...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Engineering Management
廠務系統穩定運轉–施工管理
文 | 吳柏葳 | 南科智能廠務管理課 |
伴隨著半導體製程的演進，相關所需的工程包含建廠、改機、擴充、移機及拆機等大大小小的工程是廠務團隊每天都要面對的，如何在維持廠務系統正常穩定運轉條件下，管理好施工人員的安全與施工品質一直是廠務重要的課題之一。本文將提出一平...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility daily management Platform planning
日常管理落實–開關門十件事看板規劃
文 | 陳民凱 | 南科儀控系統一課 | 詹立得 | 南科儀控系統二課 | 劉家瑞 | 南科儀控系統一課 | 張翊祥 | 南科儀控系統一課 |
本文以台積電的品質管理為開頭，說明落實日常管理在企業營運及策略中的重要性，探討日常管理是如何利用PDCA的管理循環，去建立日常考核的關鍵績效指標(KPI)。並且進一步的將日常管理落實在廠務的主要工作任務上，從中我們得知現...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
PM management system for facility stable operation
廠務穩定運轉之PM管理系統
文 | 張明葆 | 廠務處 |
半導體製造業需要穩定與高品質的供應系統，因此廠務設施穩定運轉就是其中的關鍵，其系統單元據有多元性與複雜性，然而這麼龐大與多元系統設備要如何平時做好維修保養管理，並提供穩定的Utility給晶圓生產製造將是一大考驗。 本文...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Uninterrupted Quality Management–Facility SMP
持續不間斷的品質管理–廠務SMP
文 | 何吉修 | 南科儀控系統二課 | 吳永堂 | 廠務處 | 李豐豪 | 新廠設計部 |
台積公司的整合製造管理平台(Super Manufacturing Platform, SMP)，除了能讓客戶得到相同的品質與可靠度，還能享有更大的產能彈性、縮短良率學習曲線與量產時間，並減少昂貴的產品重新認證所需要的流...

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