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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Establish TSMC Ecological Management Objectives and Development Roadmap
建構台積電生態環境管理目標與發展藍圖
文 | 鍾振武 | 公共設施服務部 |
本研究旨在探討如何建構台積電生態環境管理目標，並藉由動態式管理手法將短、中、長期的工作計畫轉化為台積電生態環境發展藍圖。透過國內外文獻回顧整理，擬定台積電生態環境管理5大目標及其30個關鍵因子，以問卷深度訪談40位...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
The Development Roadmap of Environmental Facility for Advanced Semiconductor Operations
先進半導體廠房環保設施發展藍圖
文 | 李明利 | 新廠設計部 |
本研究旨在探討未來先進半導體廠房環保設施發展藍圖，先從文獻回顧過去世界半導體業的環保設施發展方向，從中汲取未來可能需持續改善的重點。再從檢討目前半導體廠房在空氣及放流水的防治方法，伴隨製程發展的演進及環保法令要求趨...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
The Roadmap of Circular Economy and Resource Recycling Technologies in TSMC
台積電的循環經濟藍圖及資源再生技術
文 | 丁瑞華 | 中科廠務二部 |
「循環經濟」是近年來的熱門議題，是以創新思維擺脫過去「線性經濟」模式，透過資源的妥善循環，帶動經濟發展及環境保護。至今，全球各國家或者企業層級，均積極地透過循環經濟創造下一波經濟的發展策略，而循環經濟也將是台灣下一...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Methodology for Exploring Air Pollution Control Measures in R&D Fab
探索研發廠空污防制對策之方法論
文 | 王若杰 | 竹科廠務三部 |
現今半導體製程發展一日千里，研發廠所面臨的空污排放問題，在處理防制上已是越來越困難了，其原因主要為研發廠空污問題具多變性及未知性，多未能有良好的空污處理經驗以茲依循，另因應研發製程的需求迫切，可擬定空污防制對策的時...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Operation Strategy of Gas and Chemical Supply Systems for Converting Advanced R&D Processes into Mass Production Fab
因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統運轉策略
文 | 曾恒毅 | 中科廠務五部 |
本研究使用目前業界廣泛應用於製造流程分析的 IDEF0 建模方式，在半導體研發製程轉大量生產過渡期間，將氣體與化學供應系統運轉方式，分為三個主要階段及五個次要程序。根據最新廠區運轉經驗及結合各廠區相關專業同仁的意見...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Building-up Effective CPM Managements for New Fab Construction Project
建構高科技廠房建廠要徑管理模式
文 | 呂孟倉 | 新廠工程管理部 |
本文由高科技廠房建廠時程管理的實務切入，討論要徑法(CPM)在高科技廠房工程上的限制。並藉由軌道運輸啟示，提出類比列車軌道時程管理上與高科技廠房建廠時程管理有相似之處，研究建構一個適用於高科技廠房建廠專案的要徑管理...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Facility Department Level's Job Classification and Future Improving Measures
廠務部級組織分工效益及未來改善對策
文 | 洪男雄 | 廠務處 |
台積公司各廠務部自2014年合併為300mm FD後，部門組織調整為值班運轉(Operation)，部門專案(Project)，預防保養(PM)等三大功能。本研究透過量表方式，收集竹科同仁對目前分工功能的意見，量表...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Site-Selection Strategy of Electronic Material Supply Chain – NJ Site as an Example
電子材料供應鏈選址策略 - 以南京為例
文 | 許天賜 | 南京廠務一部 |
台積電南京廠因主要生產電子材料原物料有95%以上來自非大陸地區，原物料皆需透過長時間的運輸，因此衍生額外的問題如品質、穩定供應及成本等問題。為維持台積電南京廠長期營運穩定及競爭力，需要台積電協助電子材料原物料廠商建...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Apply Weibull Probability Distribution Function to Evaluate the Predictive Maintenance Method of Facility
應用韋伯可靠度機率理論來評估廠務系統預知保養策略
文 | 林豪逸 | 南科廠務二部 |
南科十四A廠自2004年成廠至今，已邁入第十五個年頭，各廠務系統老化問題日漸嚴重，導致設備損壞維修頻率逐漸增加，如何藉由保養維護來減少非預期性的設備故障與延長系統設備壽命，同時不過度保養造成保養成本浪費，達到設備保...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Establish a Big Data Platform to Enhance Water Treatment Efficiency and to Perform Equipment Predictive Maintenance
建立大數據管理平台以提升水處理系統效能與實現設備預知保養
文 | 王俊元 | 南科廠務五部 |
在一個晶圓廠中，為維持系統的穩定運轉與品質要求，「維護保養」是一個重要的基本要素。在廠務的運轉系統中，往往我們會用傳統式固定時間或固定頻率的方式進行設備維護保養，但過度保養與維修保養不及的狀況都有機會發生。然而，系...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
The Total Solutions for TSMC's Facility Materials Management
廠務全方位物料管理方案
文 | 范恩祖 | 新廠規劃部 |
良好的物料管理是半導體廠廠務穩定運轉的基礎之一。廠務物料因其特殊性，自公司成立以來即由廠務單位自行掌管。隨著公司規模持續擴增，日益複雜且增量的物料管理，已成為廠務人員的負擔，若偶有疏失更可能讓運轉遭受重大影響。為能...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
The Systematic Solution for Aged Facility Refurbishment Engineering
廠務系統化全面翻新
文 | 林韋志 | 南科廠務一部 |
由於廠務系統老化，以至於功能失效所導致的事件時有所聞，常使工廠蒙受人員傷亡、環境衝擊、非計畫性停線、檢修成本提高等，對於企業永續經營造成重大不利影響，不能等閒視之。本文主要由南科十四A廠全面翻新的定義及目標訂定、範...

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金筆獎入圍
2018.12, Vol.32 / 技術專文
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
文 | 林崇瑋 | 何薇如 | 十五A廠工安環保部 |
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
文 | 李宗元 | 十二B 廠工安環保部 | 吳淑嫺 | 設備物質安全專案 |
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility
半導體廠房土壤污染整治
文 | 陳人滎 | 林裕聰 | 先進封裝工安衛生部 |
台積電先進封測三廠為公司首次跨產業、坐落桃園市並與合作客戶收購廠房，進行土地移轉時，依法應提供土壤污染檢測資料，執行全廠區及重點區細部土壤檢測。經XRF篩測後發現，碼頭區受重金屬鉻、汞、鎳污染，且污染集中於 1 公...

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