Vol.47 / 技術專文
Air Distribution Improvement and Management of Downflow Clean Room
單向流無塵室氣流組織改善及精進管理
不同於其他廠區無塵室內前期造價昂貴的天車系統(Automatic Material Handling System, AMHS),F10廠區無塵室內採用的是人工物料搬運系統(Manual Material Handlin...

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點閱 (49)
Vol.47 / 技術專文
Challenges and breakthrough of 200mm Fab system expansion-example by VOC/VEX system expansion
200mm廠區系統擴充面臨考驗與突破-以VOC/VEX系統擴充為例
三廠原始空污處理系統無設計備援機制,各區域僅要求維持負壓,後期為維持負壓,擴充時僅考慮管路串並聯混接,且AEX/VEX為法規加嚴後才進行擴充。為在不影響無塵室運作下擴充系統卻導致擴充後系統過於複雜,增加系統穩定運轉困難度...

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點閱 (55)
Vol.47 / 技術專文
RD Fab Outside Air AMC Improvement-Analyzation and Verification of Optimizing Operating Parameters of Zeolite Rotor Concentrator
RD Fab外氣AMC改善-沸石濃縮轉輪運轉參數最佳化之分析與驗證
隨著半導體製程的演進,氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC)對於半導體製程良率的影響愈來愈顯著,並有許多案例證實其中的低分子量汙染物IPA對於B.S.(Barrier...

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點閱 (71)
Vol.47 / 技術專文
Lubrication Improvement for Electric Motor Bearing and Investigation of Predictive Maintenance by Ultrasound Detection.
馬達軸承潤滑改善與超音波預知保養手法探討源分析
馬達故障原因中,軸承故障佔41%,大部分為潤滑不良造成。潤滑失效中最主要因素為潤滑不足,造成介面間直接摩擦而磨損。然而潤滑不足導致的因素卻不只是油加的不夠,反而過度注油也會間接造成潤滑不足與其他不良影響。 ...

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點閱 (78)
Vol.47 / 技術專文
Application of IOT Tech. on Air abatement system Failure Prediction
應用IOT技術於AAS早期震動故障預警系統
因應趨向嚴苛的空氣污染防制法,降低因保養不當/未發現異常/系統壽命造成之系統異常為本廠相當重視之議題,於本篇中以互聯網與機械學習作為主軸。來探討使用具有高彈性的αduino架構用於空氣污染防治設備上以期...

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點閱 (28)
Vol.46 / 技術專文
The new design concept for intrinsic safety of LV switchboard
LV配電盤本質安全新設計思維
近年來發生於高科技廠房發生電盤短路事故與日俱增,主因除了人員對「電」會造成的風險事故較為輕忽外,也包含了配電盤的本質安全性不足,因此如何提昇配電盤的安全設計就成為了重要的議題,其中電盤所造成的事故又以LV(Low ...

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點閱 (80)
Vol.46 / 技術專文
Improved inspection and management methods for Silicone Rubber Termination
高壓處理頭檢測管理手法精進
「電纜終端處理頭」(Termination)是電力傳輸重要的一環,其最主要功能為高壓電纜與電氣設備連接的橋樑,並且控制電場在電纜絕緣體內部的分佈,使電應力在接頭處均勻分佈,減低靠近遮蔽體邊緣的「電應力」(Elect...

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點閱 (57)
Vol.46 / 技術專文
Safety and Protection Management of High and Low Voltage Switch Operation
電力高低壓開關操作安全防護管理
作業場所只要使用電氣設備,大至高壓電力切換,小至微型開關操作,現場四周即存有「電」之危害,常因不知「電」之危險,過於接近、觸及帶電物體或是操作程序有瑕疵,時常導致發生感電、觸電事故,造成人員受到傷害。明瞭電力操作過...

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點閱 (47)
Vol.46 / 技術專文
Safety Management for Electricians Operating on Local Panelboards-Breaker filler plate
高作業頻率Local盤開盤作業安全管理-防護絕緣蓋板
低壓電盤開盤作業是廠務施工類別中最重要且最頻繁的項目之一,但電氣從業人員往往因為是低壓電力,忽略其施工作業安全,導致人員發生電氣災害,造成人員受傷或致命事件仍時有所聞。本文首先探討在既有之安全管理下,從業人員現場施作可能...

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點閱 (23)
Vol.45 / 技術專文
From Deep Learning Techniques to MLOps Concepts : Take CCTV Surveillance Analysis as an AI-Landing Example
從深度學習技術到MLOps : 以CCTV影像工安辨識談人工智慧的落地應用為例
各項報告指出,由於工地環境複雜多變,從高處墜落及物體飛落砸傷等風險,使得營建業成為近年來重大職業災害人數最多的產業。然而傳統以人員持續監控CCTV影像畫面來強化工地安全的作法,需投入大量的人力工時,除了在工程範圍擴大時,...

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點閱 (105)
Vol.45 / 技術專文
Improved vibration quality of rotating components of air abatement equipment
空污防制設備轉動元件振動品質精進
在生產製程中產生的污染廢氣,會使用到離心式風機來處理廢氣排放。目前廠區多半的風機都是用外國經過電腦模擬計算設計的工法,以高處理效率及降低成本的目的來製作風機.所以風機整體結構強度在一般氣體使用上應無問題,但若是使用...

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點閱 (68)
Vol.45 / 技術專文
With more strictly air pollution regulations, Local Scrubber improve strategy for aged operation Fab
日趨嚴謹空污法規對於成廠區LSC之精進改善
歷經二三十年的發展,半導體工業已經成為台灣最重要的經濟支柱之一,隨著半導體工業的高度成長,明星產業背後所隱藏工業污染問題也日益受到重視。各界漸漸對空污排放提高標準,而對於運轉多年半導體廠區,既設製程尾氣處理設備如何...

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點閱 (55)
Vol.45 / 技術專文
The accuracy and application of Online IC in Stack monitoring
煙道酸鹼連續監測(Online IC)精確度提升改善及其應用
於廠務運轉,各項污染物減量改善也隨之展開,如酸槽機台IPA(異丙醇)源頭改善及排放減量,煙道不透光率及F2(氟氣)異味改善。在這些項目執行過程中,選擇以何種方式量測污染物及驗證改善成效更是重中...

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點閱 (44)
Vol.45 / 技術專文
Application of a new technology for capturing wet bench process produced particles-wet electrostatic precipitator(Wet-EP)
濕式製程微粒攔截新技術應用(WET-EP)
本研究主要針對高溫硫酸清洗機台(HT-SPM)排放的廢氣進行改善,該設備除了化學品用量的增加外,從N16到N3風量也由2,400CMH增加到7,200CMH。這些廢氣中不僅含有大量的酸鹼氣體,更因酸鹼混排產生了大量...

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點閱 (30)
Vol.45 / 技術專文
Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory
30年老廠空污健檢減量與再造友善環境
由於環境污染日趨惡化,加上近年來環保意識抬頭,各界對於污染管制紛紛提高標準,工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言,除了必須遵守空氣污染法規的要求外,如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益,...

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點閱 (38)
Vol.45 / 技術專文
Air pollution reduction-Discussion on the removal efficiency of organic pollutants by Local Scrubber
空污減量-現址式尾氣處理設備針對有機污染物去除效率探討
空氣污染議題是近年來工廠運轉日益重視議題,而煙囪排放有機污染物已成為顯學,本研究透過污染物源頭分析,利用現址式尾氣處理設備(Local scrubber)改造,進行源頭污染物減量改善,提升有機物去除效率,並利用模擬...

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