TSMC 廠務季刊

2023.3, Ann.2022 / 技術專文

Sharing of Fab15P6 Annual Maintenance Report and ETAP Using Experience

Fab15P6年度維修報告與ETAP使用經驗分享

文 | 詹勝羽 | 中科廠務一部 | 熊家田 | 張裕政 |

F15P6於2017成廠迄今進行第一次歲修保養，於2022/09/12~9/16五天規劃共57.5hrs，進行全廠小APM。共執行25%高壓電力設備保養，在不影響工廠生產下，高壓變電站總計執行1011項系統切換步驟，累計...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

MTU Generators Repairment Standardization

制定標準守則 -MTU 發電機故障查修流程化

文 | 何松穎 | 吳宸禾 | 台南廠務二部 |

於現今發電量綠能占比與日俱增、基載電力不足的環境下，造就供電穩定度與天氣息息相關之結果，限電一詞因而日漸頻繁出沒，各企業工廠急電穩定度亦因此日趨重要。MTU引擎於國內目前主力應用於海軍軍艦動力，其電控式噴油系統低廢...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up

因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法

文 | 林志剛 | 台南廠務九部 |

近年新廠快速擴展，於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06)，平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊，整體工期需較以往縮減6~9個月，主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

From Deep Learning Techniques to MLOps Concepts : Take CCTV Surveillance Analysis as an AI-Landing Example

從深度學習技術到MLOps : 以CCTV影像工安辨識談人工智慧的落地應用為例

文 | 謝志宏 | 廠務數位發展部 | 翁逸驊 | 廠務數位發展部 | 林君穎 | 廠務發展處 | 黃俊銘 | 廠務發展處 |

各項報告指出，由於工地環境複雜多變，從高處墜落及物體飛落砸傷等風險，使得營建業成為近年來重大職業災害人數最多的產業。然而傳統以人員持續監控CCTV影像畫面來強化工地安全的作法，需投入大量的人力工時，除了在工程範圍擴大時，...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Diagnosis systemic for Fluorine emission

氟氣排放診斷

文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |

半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC

智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統

文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |

300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

Prevention of chemical filter contamination

化學系統濾心污染防治

文 | 羅立偉 | 日本新廠專案 | 鍾易龍 | 新廠設計部 | 梁高維 | 台南廠務七部 |

隨先進製程技術不斷推進，化學供應品質也面臨挑戰，偵測品質標準中的金屬含量及含不純物成為製程關鍵。既往影響產線供應品質汙染源，以原物料及耗材供應商製造與包裝品質異常之案例為甚，又以定時保養更換系統耗材或配件影響風險較...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文

Discussion on The Development Roadmap of Facility Laboratory

探討廠務實驗室發展藍圖

文 | 吳連芳 | 廠務技術發展部 |

在半導體工廠裡廠務扮演極重要的角色，來自供應商的原物料(水、化學品、研磨液、氣體、空氣)，都需經由廠務系統供應至生產線，使用後的廢水、廢酸、廢氣，又須經由廠務系統處理。面對日益精密的製程，廠務系統的品質也必須不斷提...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

New Generation FAB Gas Insulated Switchgear Design Structure Evolution

新世代廠房之氣體絕緣開關設備設計架構再進化

文 | 邱士齊 | 研發廠務部 | 湯宏謙 | 新廠設計部 |

台積廠區為特高壓電力用戶，座落於科學園區內。台電超高壓變電所採用環路架構供電給科學園區內各家工廠，並使用GIS電力設備，因此台積廠區也是使用GIS與台電環路連接供電。
GIS是廠內電力系統最上游的電力設備，...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

Air Circuit Breaker Failure Mode and Effects Analysis

預測性保養不是空想-而是起而行的工作

文 | 傅威中 | 古佩弘 | 温品沅 | 竹科廠務1廠務一部 |

空氣斷路器是低壓電力系統中分層保護的重要開關設備，倘若斷路器性能老化失效，將造成非預期性的嚴重損失。本文透過失效模式與影響分析方法加深維護空氣斷路器之重要性，並藉由台積新竹廠區實施大規模保養發現的異常案例加以分類解析，列...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Evolution and Integration of Compressed Air System Energy-Saving Technologies

壓縮空氣系統節能技術演進與整合

文 | 薛弘仁 | 南科廠務1廠務五部 | 游昇哲 | 南科廠務2廠務二部 |

我們整合了文獻上的節能技術進行壓縮空氣系統之環境改善、機台改善、控制模式改善，最後導入新的物聯網大數據分析概念，使用Atlas ES360中央控制器進一步程式運算分析配置端緩衝槽壓力數據然後由其動態預測壓力回饋調整供應端...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

To investigate the Challenge of AAS Systems in tsmc 8"Semiconductor Fab

探討台積電八吋晶圓廠空污處理系統的挑戰

文 | 連上舜 | 竹科廠務二部 |

隨著台灣歷經了多次的空氣污染防制法的修訂與政策變遷，建置時的空污處理設備效率不彰是許多老廠正面臨的問題。如何持續精進空污處理設備以達到公司綠色製造，永續經營的理念是關鍵。本文以台積電首座八吋晶圓製造廠三廠為例，運用KT決...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data

大數據分析冰水供應系統操作參數最佳化設定

文 | 吳孝修 | 蔡宗原 | 竹科廠務二部 |

近年來廠務系統上的訊號源已收集至資料庫內，但這些資料以往只針對系統供應品質上去分析，鮮少對系統優化或者是節能運轉去探討，本專案採用i-EDA2 / SAS數據分析軟體，將冰水供應系統最佳壓力設定進行調整，此調整基準...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文

Analysis of Total Flammable Gas of Insulating Oil in Early Warning Mechanism of Oil-immersed Transformer Failure

絕緣油總可燃性氣體分析油浸式變壓器故障之早期預警機制

文 | 溫建順 | 竹科廠務六部 |

工業界廣泛使用之油浸式變壓器其油品品質關係著絕緣能力，亦與工廠供電可靠度有高度相關，油浸式變壓器除上下游開關保護協調與本體和OLTC相關機構保護之外，定時檢視絕緣油品質與內部可燃氣體成分可作為油浸式變壓器健康程度的...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文

Facility Department Level's Job Classification and Future Improving Measures

廠務部級組織分工效益及未來改善對策

文 | 洪男雄 | 廠務處 |

台積公司各廠務部自2014年合併為300mm FD後，部門組織調整為值班運轉(Operation)，部門專案(Project)，預防保養(PM)等三大功能。本研究透過量表方式，收集竹科同仁對目前分工功能的意見，量表...

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金筆獎入圍

2018.12, Vol.32 / 技術專文

Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants

半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控

文 | 林崇瑋 | 何薇如 | 十五A廠工安環保部 |

以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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