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2024.4, Ann.2023 / 技術專文
Sharing of Fab 15B Annual Maintenance Report and AAS System Negative Pressure Cabin Experience
Fab 15B 年度維修報告與機械主風管負壓艙經驗分享
文 | 陳宗傑 | 陳信任 |
2023 年 F15B 規劃兩次歲修，分別是 P5 執行機台停電歲修保養 ( 工廠停止生產 )、P7 執行 25% 高壓電力系統保養 ( 工廠持續生產 )。

2023 年 3 月 15 日，F1...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文
The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency
發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討
文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |
近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文
Discussion on Automatic Power backup and Recovery technology in the new Cross-FAB Emergency Generator
新廠區跨廠急電自動備援與復電技術探討
文 | 朱侑庭 | 台南廠務八部 |
緊急發電機系統主要係用於台電停電期間供應廠區生命安全系統與廠務系統、夏季台電供電不足時支援計畫性限電調度。隨著台電系統設備老舊，供電穩定度日漸疲弱，導致區域性饋線跳脫停電事件頻傳，為了改善區域停電對於工廠晶圓生產的...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
Innovative management of Chemical Filters-Pre-clean and Transferred
化學品濾心創新管理-預洗與活體移植
文 | 梁高維 | 廠務 | 羅立偉 | 亞太廠務處 |
半導體製程的快速演進，高純度化學品供應面臨嚴苛挑戰，廠務系統定時保養更換系統耗材或配件影響風險較高，每一次的更換，除了要維持金屬及不純物含量的品質監控，如何快速達成必然成為廠務義不容辭的課題，本文以經常性更換之濾心(Fi...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Prevention of chemical filter contamination
化學系統濾心污染防治
文 | 羅立偉 | 日本新廠專案 | 鍾易龍 | 新廠設計部 | 梁高維 | 台南廠務七部 |
隨先進製程技術不斷推進，化學供應品質也面臨挑戰，偵測品質標準中的金屬含量及含不純物成為製程關鍵。既往影響產線供應品質汙染源，以原物料及耗材供應商製造與包裝品質異常之案例為甚，又以定時保養更換系統耗材或配件影響風險較...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Application of valve abnormally detected in gas cabinet
氣櫃閥件異常偵測應用
文 | 陳彥儒 | 孫愛迪 | 謝銘忠 | 台中廠務二部 |
特殊氣體供應系統(Special gas supply system, SGS)的穩定供應源自於氣櫃(Gas cabinet, GC)的落實管理，想要有效的管理氣櫃就必須了解氣櫃的操作流程及氣櫃PLC的控制邏輯。亞...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文
FMCS Development Plan for Stable Operation and Advance Deployment
邁向穩定運轉之FMCS發展計劃
文 | 劉佳芳 | 新竹廠務處 | 王明富 | 台中廠務處 | 陳民凱 | 台南廠務處 | 邱宇萱 | 新竹廠務處 |
全世界的智慧化的發展如第五代通訊系統、物聯網系統、去中心化區塊鍊系統、自動駕駛汽車、人工智慧及未來線上與線下串聯的元宇宙的發展趨勢，台積電所產生的晶片為以上系統的基礎建設，所以台積電的規模隨著智慧化與高速運算發展不...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Comprehend the characteristics of material and enhance the quality of mixing chemical
掌握原物料特性–精進CR168混酸品質
文 | 李家逢 | 黃玄根 | 南科廠務2廠務二部 |
黃光微影製程為半導體製造技術之瓶頸，主要在於現代科技的進步導致線寬的縮限，為了提高晶圓產能及良率，廠區對於原物料供應品質尤其要求。然而許多原物料也因應製程需求添加額外成分(例如 : CR168界面活性劑)連帶影響本身化學...

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2020.9, Vol.39 / 技術專文
Intelligent monitoring Method in AMC is applied to Litho Lens for early pollution prevention and filter efficiency detection mechanism
AMC智能監控應用於黃光Lens早期汙染預警防護及濾網效率檢測機制
文 | 蕭睿呈 | 南科廠務1廠務一部 |
半導體產業按照摩爾定律蓬勃發展，對於無塵室內的溫溼度、氣態分子汙染物等生產環境品質的控管越趨嚴格，影響著製程區域產品良率。廠務端以自動分析儀器對環境進行AMC定點監控已成為各廠標準模式，並輔以人力至現場巡檢。本篇為加強黃...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Reliability Management
廠務系統穩定運轉–可靠度管理
文 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
廠務系統為穩定運轉，而設計為熱備援模式穩定供應，廠務系統除了要求各個設備穩定運轉外，也要求即時運轉在熱備援模式，以避免任何一項設備問題停機而影響整體系統穩定供應；為了能夠即時偵測系統是否符合熱備援穩定運轉需求，因此系統可...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–System Alarm Management
廠務系統穩定運轉–警報管理
文 | 王明富 | 劉聖元 | 中科儀控系統課 |
警報管理為廠務運轉的基石，如何建構完整度100%整合系統架構沒有遺漏?如何智能區別為真實警報或是維修、保養及測試警報?系統發生警報泛洪(Alarm Flooding)時，值班該如何面對?如何讓警報轉化為事件?需要智能自動...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Consumption Management
廠務系統穩定運轉–桶槽用量管理
文 | 林威志 | 中科儀控系統課 |
隨著半導體製程的演進，製程所需的化學品用量也隨之大增，造成原物料與廢液的產出也大增，因此物料用量的管理與廢液清理的管理便成為一個重要的課題；廠務系統係Central供應Fab使用，如何確保製程所需的化學品能供應無虞並且產...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
On-line Monitoring and Early Detection of Coil Windings Ratio for Cast Resin Transformers
模鑄式變壓器線圈匝比的線上監控與早期預警機制
文 | 廖日能 | 黃金龍 | 中科廠務一部 |
高科技半導體廠電力系統中模鑄式變壓器容量常達數千伏安(kVA)，當發生故障時必影響大量設備用電，對生產端造成嚴重衝擊，甚者，恐有人員安全之虞，故瞭解模鑄式變壓器的故障型態並設法提出預防機制甚為重要。本文針對模鑄式變...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
On-line Monitoring and Early Detection of Voltage Offset for Uninterruptible Power System
不斷電系統電壓參數偏移預警診斷
文 | 王儒安 | 竹科廠務三部 |
為確保晶圓生產之機台不受電力系統供電品質影響，晶圓廠內大量使用不斷電系統(UPS)來維持供電品質，為防止電力系統跳電、突波、高頻干擾、電壓浮動或不預警停電，造成資料流失或產品損壞，生產中斷產生巨額的金錢流失，提供一...

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2018.3, Vol.29 / 技術專文
Power Box Plot System Application
電力盒鬚圖管理系統應用
文 | 蕭文豐 | 中科廠務三部 |
電力系統穩定度對整體廠務運轉至關重要，近年來雖然陸續有新的Online偵測系統例如局部放電、油中氣體分析等技術，擴大了整體電力監控的面向，但我們仍持續沿用著傳統趨勢圖上下界限管制警報的模式。隨著巨量資料與工業物聯網...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文
Background Noise Reduction of HV Partial Discharge Monitoring System
高壓系統局部放電雜訊背景改善
文 | 賴柏青 | 南科廠務一部 |
TSMC導入了在線式局部放電監控技術(on-line PD)[1]，於主高壓設備監控，期能早期偵測出異常前兆，降低高壓元件故障影響之事故發生。量測技術為高頻電磁場量測法(近十幾年來局部放電偵測...

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