Vol.25 / 技術專文
An e-Platform for PLC Asset Management
建置大型可程式控制器資產與變更管理中心
PLC管理平台其最精髓部分,是將大型十二吋晶圓廠廠務系統中數以千計的PLC進行控制器與卡片資產識別、庫存管理、汰舊換新及程式的變更管理做一個全面性的統整。本文探討 PLC管理平台工具如何運用在廠務各系統PLC之管理...

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Vol.25 / 技術專文
The Energy Saving Practice of Fab Lighting Control
淺談廠區照明節能實務
本文主要針對廠區內已實施之照明節能方式,淺談照明節能控制系統及避難標示燈電池減廢方法。照明節能控制系統方面,主要介紹如何在廠房24小時運轉下,在對的時間下提供最佳的照明,系統主要功能有可自動或手動進行遠端照明控制及...

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Vol.24 / 技術專文
Facility Dedicated Warehouse Management for 300mm Fabs
十二吋廠廠務庫房管理之蛻變
一直以來,公司內廠務相關料件皆由廠務部同仁自行負責儲存與管理。隨著廠房逐漸擴充,製程技術持續精進,廠務物料至今在種類、數量與價值上都已到達一定程度,實有必要重新檢討管理的模式與方法。隨著300mm廠務組織的合併,規...

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Vol.24 / 新象新知
The Application of Dynamic Process Simulation to Semiconductor Facility Operation
談動態製程模擬技術在半導體廠廠務運轉的應用
本文介紹模擬技術的發展及應用現況,並說明如何透過動態製程模擬技術結合控制系統,來模擬半導體廠設備運轉特性及外在環境變化,建構仿真工廠以提供一個擬真的實戰訓練環境,協助廠務運轉人員快速累積知識與經驗,在面對異常事件或...

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Vol.21 / 技術專文
Information on the Internet KVM Infrastructure Applications for Facility Control System
廠務控制系統之資訊互聯網KVM架構應用
廠務控制系統在工廠扮演著控制中心的角色,除了擔負著廠務系統穩定持續運轉及維持高供應品質的任務外,也需要確保環境與人員安全。本文主要探討為因應廠務組織調整後跨廠區值班需求,必須新增遠方操作功能,並以十二廠為例,討論選...

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Vol.18 / 技術專文
A Novel Gas Supply Technique with Stable Output Concentration: Application for the Gas with High Reactivity & Extreme Toxicity
一個新穎的穩定濃度供氣技術:高活性劇毒氣體的應用
乙硼烷(B2H6, Diborane)為一種相當重要的半導體製程氣體,其具有高活性與劇毒性。鋼瓶內的B2H6即使未和其他物質接...

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Vol.15 / 技術專文
Damage-Limiting Construction Designs and Practices
損害限制結構設計與實務
半導體廠對風險集中的儲存區與配送區,需透過規劃設計,在可能的爆炸災害發生時,適切的圍堵並引導危害物質與能量,宣洩到相對安全的戶外,以降低危害的風險,減少損失,這種同時具有抗爆與洩爆功能的結構,即稱之為損害限制結構,...

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點閱 (75)
Vol.14 / 技術專文
Constant Pressure Feedback Control Method for Low Pressure Vapor Gas Distribution System
低蒸氣壓氣體之壓力恆定迴授控制應用
低蒸氣壓氣體供應系統,會因相位變化造成供給壓力不足或不穩定,且以機械式調壓閥調整壓力,調壓閥之機械壓損特性亦會造成供應壓力之不穩定。本文探討此一現象之發生原因,並應用壓力恆定迴授控制改善低蒸氣壓氣體之供應。...

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Vol.10 / 新象新知
DCS Electronic Marshalling for Semiconductor
DCS設計躍進 - 電子錯線
程控系統近來為了滿足客戶的需求,發展出一種創新的電子佈線技術(Electronic Marshalling Technology),此技術簡化了現場設備與自動化控制系統間繁瑣的工程規劃工作、增加系統變更及擴充彈性並...

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Vol.09 / 技術專文
Office Planning
辦公室規劃
辦公室規劃的複雜程度與使用人數的多寡最為直接,如何將複雜的使用行為,透過空間計畫程序及方法,進而提供一個健康舒適的環境,提高工作與溝通效率,增進辦公社區的服務品質,是本文介紹的重點。...

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Vol.06 / 特別企劃
i-ASC Air System Controller for Power Saving
節能指揮家 i-ASC
本文由離心式空氣壓縮機的工作程序切入主題,利用十二廠的實際運轉狀況針對耗電量大的廠務單元系統進行改良,藉由ASC (Air system controller )系統的導入讓空壓機生產穩定性與效率能夠提升 ; 另一...

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Vol.06 / 特別企劃
Green Concept of Wet Scrubber Design Development in tsmc
綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革
面臨製程機台排氣量不斷增加、成分越來越複雜的挑戰下,我們必須對空氣污染防制設備進行改善。本文將針對台積電各十二吋廠洗滌塔的發展趨勢及所面臨之困境進行探討,以既設廠設計搭配學理說明,分析不同的設計因子對處理效率的影響...

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