TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Establishment of ammonium sulfate drying system and air pollution control technology

循環經濟_硫酸銨乾燥系統設立與空污防治技術

文 | 高舶格 | 台南廠務四部 |

隨著產能及研發規模持續擴充，台積公司採取「廢棄物產出最小化，資源循環使用最大化」的廢棄物管理方針。其中，針對廢硫酸及氨氮廢水，繼民國104年成功轉製為可委外再利用的硫酸銨廢液；台積公司再次領先業界、進一步導入「機械...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Development and research on monitoring technology of arsenic-containing waste gas in Nanjing Factory

南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究

文 | 張波 | 南京廠務部 |

含砷廢氣作為劇毒性氣體，在大陸環保管制被從嚴要求，監管手段除了常規的煙囪出口量測，更趨向于源頭管控。本文因應法規要求，於前端現址式處理裝置出口設置單獨風管收集，並設立標準檢測口進行標準化採樣檢測，在廢氣進入主管段之...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

Solution and Structure Investigation to Set Up Medium Capacity Gas Engine Generator for FAB Electric Power

中型燃氣引擎發電機設置供應廠區方案及架構探討

文 | 湯宏謙 | 徐正威 | 新廠設計部 |

面對台灣電力近年供電吃緊狀況，台電頻繁要求園區用戶配合降載，廠區需配合開啟發電機供電，以協助台灣電力度過吃緊時段，時間約莫在下午 4 點至晚上 8 點太陽下山的時段。廠內發電機使用柴油作為燃料，當大量發電機啟用時，...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency

發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討

文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |

近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

MTU Generators Repairment Standardization

制定標準守則 -MTU 發電機故障查修流程化

文 | 何松穎 | 吳宸禾 | 台南廠務二部 |

於現今發電量綠能占比與日俱增、基載電力不足的環境下，造就供電穩定度與天氣息息相關之結果，限電一詞因而日漸頻繁出沒，各企業工廠急電穩定度亦因此日趨重要。MTU引擎於國內目前主力應用於海軍軍艦動力，其電控式噴油系統低廢...

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2023.03, Vol.49 / 技術專文

Comparison of Foundation Design Considering Soil-Structure Interaction in Tainan, Kumamoto, Hsinchu and Kaohsiung Sites

台南、熊本、新竹及高雄多廠址地震土壤結構動態互制方案比較

文 | 何元鈞 | 新廠規畫部 | 劉庭愷 | 新廠規畫部 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司總經理 | 黃宣諭 | 群策工程顧問公司協理 | 蔡東杞 | 群策工程顧問公司工程師 | 蔡詠安 | 群策工程顧問公司工程師 |

本文將先簡單介紹土壤結構動態互制作用的原理及歷史研究經驗回顧，然後再詳細說明土壤結構動態互制作用之分析方法，並比較各分析方法的差異。在讀者已有基本土壤結構動態互制的知識後，才進入到本文的主題「台南、熊本、新竹及高雄...

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2023.03, Vol.49 / 技術專文

Preliminary Digital Planning and Management by Using Multidimensional Information Analysis Technology

運用多維空間資訊分析技術於先期數位規劃管理

文 | 涂淳嫚 | 新廠規劃部 |

新廠規劃部近年來面臨多個新廠用地籌設及建廠專案同步啟動，皆須預先就廠區開發面臨多面向議題提出方案研擬及因應對策。同時在大數據時代浪潮下，多維資訊整合、參數化設計需求儼然成為數位規劃之主要趨勢。隨著廠房空間標準化原則...

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2023.03, Vol.49 / 技術專文

During the construction of the plant, the pre-planning of monitoring the soil and groundwater contamination at the TPH polluted site

新建工程總石油碳氫化合物污染場址土壤與地下水事前規劃及建廠中監測流程

文 | 李慈馨 | 羅亭堯 | 張允泰 | 廠務安全與品質管理部 |

此研究以受TPH 污染之場址進行健康風險計算，評估場址地下水污染潛勢後續效益對建廠及成廠之影響，並從健康風險評估的角度；應用美國試驗及材料協會所發展之「風險基準矯正行動」準則，量化各環境介質、關切化學物質與暴露人體...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Chemical supply system upgrade-The challenge of engineering under uninterrupted

化學供應系統架構升級-生產供應不中斷之困難與挑戰

文 | 王彥棋 | 李耀東 | 新竹廠務二部 |

化學供應系統歷經多年的演進及改善，於新廠區已呈現相對穩定的運轉狀態。但反觀老廠之化學供應網絡及控制器已明顯跟不上世代，不斷的在老舊系統上進行小規模的CIT改善只能說是治標不治本，如何將供應網絡全面更新及控制器升級才是長遠...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

The safety design and definition of public hazardous substances places using the supply dispense system and environment of trichlorosilane

三氯矽甲烷供應系統之公危品安全設計定義與探討

文 | 盧從智 | 吳文瑞 | 台南廠務五部 |

三氯矽甲烷(Trichlorosilane, TCS)是由矽、氫及氯所組成，其化學式為SiHCl3，為半導體相關產業使用之重要化學品。因其具可燃性、禁水性、毒性與腐蝕性等物化特性，故其使用場所的選定...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Find the voice in the extreme environment-application of Industrial Acoustic Imager in foundry

在極限環境中看見你所未聞之物-工業聲學顯像儀實務應用

文 | 張謙獻 | 新竹廠務四部 |

廠務工程師的專業職責在於安全的供應晶圓廠區設備的一切所需，身為工廠的安全守護第一線，於廠區擁有數以千計的機台/附屬機台需要進行監控、巡檢，如何在短時間內有效地找出機台問題點是很大的挑戰。對於這項挑戰，本篇使用工業聲學顯像...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Bio-ACF(BAC)'s technology applied decreasing TMAH of the effluent water

Bio-ACF(BAC)技術應用於廢水TMAH濃度減量之機制與研究

文 | 郭適瑜 | 林昱廷 | 蔡億茂 | 台南廠務五部 |

因全球半導體與光電業蓬勃發展，大量使用氫氧化四甲基胺(TMAH)顯影劑。本文中提到傳統樹脂可以有效吸附高濃度TMAH，但對於低濃度TMAH處理效益低，導致放流水TMAH雖符合園區納管標準卻未達ESG排放目標(<1m...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

System Design and Removal Strategy of PFAS from Semiconductor Wastewater

製程廢水中短鏈全氟化合物去除策略與設計規劃

文 | 蔡宇軒 | 何顯利 | 新廠設計部 |

半導體界近年積極開發工業再生水技術，將自身排放的工業廢水再製供前段製程重新使用，廢水中不易被水處理系統去除的短碳鏈全氟化合物，雖然台灣目前未有制訂法規管制排放濃度，但已開始被重視是否影響再生水水質。本研究探討多方文...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Transfer Waste High Concentration HF to A Highly Value Product, Cryolite

點氟成晶-廢氫氟酸轉製成正價值冰晶石

文 | 林佑勳 | 台中廠務四部 |

廠務持續推動循環經濟，致力將製程產生的廢棄資源再製為異業可使用的產品，隨著先進製程的演進(N7~)，需蝕刻及清潔的次數增加，導致氫氟酸需求量大幅上升，也增加了氫氟酸的廢液量，預估2025年將達6,927噸/月，佔全...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Recovery Enhancement and Quality Optimization of Low-concentration Waste-Sulfuric Acid

無憂無氯-低濃度廢硫酸回收效率提升及品質優化

文 | 林力雋 | 台中廠務二部 |

目前tsmc各廠皆以鹽酸法去除廢硫酸中之過氧化氫，反應副產物氯氣再藉由尾氣處理系統去除。因鹽酸於低濃度硫酸中溶解度較大之特性，因此鹽酸法運用於低濃度硫酸處理時，不易形成氯氣，導致再生硫酸中氯離子殘留濃度偏高；進而影響氨氮...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

The application of two-fluid atomization nozzle and cyclone dust collection

粉塵變不見 - 二流體與旋風集塵的綜合運用

文 | 姚明宗 | 曾喚培 | 台中廠務三部 |

半導體製程當中，每一道製程均有不同的副生成物，其中爐管製程中的六氯矽乙烷(HCD)與二氯矽甲烷(DCS)高溫燒結與水洗後所產生的二氧化矽(SiO2)粉塵與鹽酸(HCl)一直是難以處理的項目，不但會造...

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