Application of 3D Reality Technology for New Fab Construction Project
三維實境技術在高科技廠房專案的應用
The Development and the Future Strategy of Smart Facility
廠務智慧化進展與未來發展策略
從德國政府提出工業4.0高科技計劃開始，智慧工廠、智慧製造成為各國最近幾年來最耳熟能詳的口號與發展目標，各大公司無不調整內部發展策略，以期在技術與組織發展能夠跟上這一波科技發展潮流，提升競爭力並達成永續經營方針。隨...
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FMCS Development Plan for Stable Operation and Advance Deployment
邁向穩定運轉之FMCS發展計劃
全世界的智慧化的發展如第五代通訊系統、物聯網系統、去中心化區塊鍊系統、自動駕駛汽車、人工智慧及未來線上與線下串聯的元宇宙的發展趨勢，台積電所產生的晶片為以上系統的基礎建設，所以台積電的規模隨著智慧化與高速運算發展不...
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Power Load Management in Mass Production Fab
量產廠電力負載管理策略
隨著半導體廠產值快速提升，單一廠區用電規模有著跳耀式成長，公司300mm新廠單一phase用電量已超過200mm舊廠全廠用電3倍有餘，在龐大電力品質管理挑戰下，如何將用電資訊以更聰明有效方法掌握負載變異風險及用電趨...
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Facility Cybersecurity Protection–Trends and Strategies in Industrial Control Cybersecurity
廠務資安防護–工控資安趨勢及策略
孫子兵法云：「多算勝，少算不勝，而況無算乎」。從資安風險的角度來衡量廠務，需清楚內部有何工業控制系統，何系統與可用性及人員安全的關聯性最高，何系統流程影響工廠運轉最深，並釐清這些系統或流程受駭客攻擊的可能性，然後藉由資安...
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Facility Systems Supply Parameter Change Management
落實廠務全面品質管理的關鍵議題–廠務變更管理
在晶圓廠中廠務系統所扮演的角色是提供穩定、有品質的物料(SDS、CDS、 GAS)供機台設備製造晶圓使用；因此，提供穩定而有品質的物料是廠務永遠追求的目標，而關鍵點就在於系統機台的參數設定，參數的設定失真會影響到物料的輸...
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Facility Systems Operation Stability–Facility Systems Supply Quality Management
廠務系統穩定運轉–廠務供應品質
現今晶圓生產、及機台運作需要穩定及高品質的電力、空調、水處理、及氣體與或化學品供應，越高階製程所需要的廠務供應品質要求越高。目前廠務品質管理分為In-line/Off-line不同指標，本文探討廠務既有品質管理是否與Fa...
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The Problem Solving Method for Faclity Interruption Event.
廠務系統供應中斷問題解決方法
隨著半導體製程不斷演進與製程複雜、及高科技產品快速地推陳出新 ，晶圓的價值也持續攀高，及必須快速生產推向市場，一但廠務供應中斷影響生產，或是廠務排放品質異常導致環保問題，除了工廠大範圍運作受影響，公司信譽與形象也會受負面...
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Facility Systems Operation Stability–System Alarm Management
廠務系統穩定運轉–警報管理
警報管理為廠務運轉的基石，如何建構完整度100%整合系統架構沒有遺漏?如何智能區別為真實警報或是維修、保養及測試警報?系統發生警報泛洪(Alarm Flooding)時，值班該如何面對?如何讓警報轉化為事件?需要智能自動...
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User Requirements–based Information Integration Platform for Facility Management
使用需求導向資訊整合平台–以廠務開關門十件事為例
近年來隨著廠務組織合併/調整與運轉管理持續精進，舊有廠務值班與品質管理資訊整合平台已漸漸不符使用。存在的問題包含資訊整合廣度不足，且散落在不同的資訊系統、廠內運轉狀況的彙整與呈現不夠即時等。為了提升廠務運轉管理的效率，本...
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Facility Systems Operation Stability–Consumption Management
廠務系統穩定運轉–桶槽用量管理
隨著半導體製程的演進，製程所需的化學品用量也隨之大增，造成原物料與廢液的產出也大增，因此物料用量的管理與廢液清理的管理便成為一個重要的課題；廠務系統係Central供應Fab使用，如何確保製程所需的化學品能供應無虞並且產...
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The basis for stable operation–People management
穩定運轉的基礎–人員管理
有效的人員管理機制是提升廠務運轉穩定不可或缺的要素，針對工作的執行性質不同多年來已發展出許多的管理方法，諸如高度風險工程管理、特殊作業許可證等管理辦法，本文就針對人員管理與廠務運轉穩定度的相關性深入討論，找出現階段廠務運...
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PM management system for facility stable operation
廠務穩定運轉之PM管理系統
半導體製造業需要穩定與高品質的供應系統，因此廠務設施穩定運轉就是其中的關鍵，其系統單元據有多元性與複雜性，然而這麼龐大與多元系統設備要如何平時做好維修保養管理，並提供穩定的Utility給晶圓生產製造將是一大考驗。 本文...
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Uninterrupted Quality Management–Facility SMP
持續不間斷的品質管理–廠務SMP
台積公司的整合製造管理平台(Super Manufacturing Platform, SMP)，除了能讓客戶得到相同的品質與可靠度，還能享有更大的產能彈性、縮短良率學習曲線與量產時間，並減少昂貴的產品重新認證所需要的流...
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Implementation of Total Quality Management by Automation Technology
以自動化科技落實全面品質管理
半導體製造要維持競爭優勢，品質的良寙扮演重要的角色，尤其目前智能駕駛輔助系統漸漸成為未來車輛標準配備，車用晶片的可靠度更是攸關使用人員的性命安全，需藉由全面品質管理(Total Quality Management, T...
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Facility Systems Operation Stability–200mm fabs Quality Management
廠務系統穩定運轉–200mm Fabs品質管理
200mm廠區皆為20年以上的老廠，一些人在這些廠用一輩子的青春，盡心盡力地絞盡腦汁在改善這些廠區的供應品質，廠務品質管理由TSMC FACILITY GENERIC SPC PRACTICE and SPEC. O.I...
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The Protection Strategies of Electromagnetic Interference and Electrostatic Discharge in Advanced Semiconductor Fabs
先進半導體廠電磁干擾與靜電放電之防護策略
本文主要探討在先進半導體廠，電磁干擾與靜電放電對生產的影響，及如何採取合適的防護策略；在電磁干擾部份，將由電磁波、電磁場切入，說明「游離輻射」與「非游離輻射」差異，而在電磁波的防制與改善上，將提出「被動式屏蔽」及「主動式...
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