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金筆獎入圍
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Influence of Cleanroom Ambient Humidity on the Formation of Nanoparticles
無塵室環境濕度對於奈米粒子污染生成的影響
文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |
Water condensation on wafer surfaces is highly related to the formation of nanometer size defect. In the ma...

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點閱 (65)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Membrane Type Outdoor Air Humidifier and Washer
膜板式外氣水洗加溼器加濕裝置研究
文 | 曹志明 | 新廠設計部 | 康智翔 | 十二廠廠務一部 | 陳庭鈞 | 十二廠廠務一部 |
為同時達成潔淨室外氣空調箱加濕以及淨化外氣，並延長高效過濾器以及化學過濾器的壽命，水洗加濕器已成為外氣空調箱的標準配備。傳統的水洗加濕器大多藉由加壓循環泵輸送洗滌水，直接吸收來自外界的固態微粒及氣態汙染物，然而考量...

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點閱 (52)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Power Signature Analysis and Application
電力負載電紋特徵辨識技術應用探討
文 | 李文振 | 新廠設計部 |
本文主要是探討電力電紋特徵辨識技術如何應用於電力監控，提供電器設備使用狀況、使用者用電行為及提供各種智慧與電能管理，並瞭解其應用關鍵技術及未來可能發展功能。 目前半導體晶圓廠電力監控系統架構雖能瞭解用電分佈，但仍無...

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點閱 (58)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications
溶液除濕空調與節能應用
文 | 周政隆 | 新廠設計部 | 陳俊棋 | 台灣費思科技 |
傳統空調系統的優勢在於顯熱的處理，即使經過百年的改善精進，要在既有的原理基礎上得到良好的潛熱處理效率仍是困難。而溶液除濕空調(Liquid-Desiccant Air Conditioning., LDAC)系統則...

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點閱 (39)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Constant Pressure Feedback Control Method for Low Pressure Vapor Gas Distribution System
低蒸氣壓氣體之壓力恆定迴授控制應用
文 | 黃介然 | 新廠設計部 | 許駿烽 | 十二廠務工程專案 |
低蒸氣壓氣體供應系統，會因相位變化造成供給壓力不足或不穩定，且以機械式調壓閥調整壓力，調壓閥之機械壓損特性亦會造成供應壓力之不穩定。本文探討此一現象之發生原因，並應用壓力恆定迴授控制改善低蒸氣壓氣體之供應。...

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點閱 (69)
2014.6, Vol.14 / 技術專文
Energy Saving in Data Center Infrastructure
高效率綠機房節能手法探討
文 | 孫旭輝 | 新廠設計部 |
因技術演進及應用需求增加，雲端運算、虛擬化、智慧節能、巨量分析等功能不斷增加，電腦機房之設置走向高密度、高穩定性、高效率、高彈性、可擴充性，但也高耗能的趨勢，設計一個節能又穩定的機房為一重要的課題。 電腦機房空調供...

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點閱 (57)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
Inhibition Of Copper Corrosion By Removal Of H2O2 From CO2-Dissolved Water Using Palladium Catalysts
鈀(Pd)觸媒於超純水中去除雙氧水以抑制銅腐蝕之應用
文 | 林豪逸 | 新廠設計部 | 矢野大作 | 奧璐佳瑙科技股份有限公司 |
超純水系統因紫外光的照射會導致內含有10～40μg/L的雙氧水，另雙氧水處於超純水酸性環境中會加速銅腐蝕的行為。目前發現藉由鈀觸媒陰離子樹脂(Palladium-loaded monolithic anion...

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點閱 (30)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
Internet of Things and the Application for Fab’s Facility System
物聯網簡介
文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |
未來世界要如何達成全面的自動化智慧化，是要如何透過各類感測器多點的建立，進而達成全面對物質環境即時的監測，還有將人類的工作知識程式化置於雲端，再透過網路讓各相關機器彼此自動化的互通運作，而大量減少人為對資訊處理的介...

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點閱 (58)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
Cutting-edge Technology Enables the Impossibility : Building New Fabs with 3D Printing
科技一日千里：哇…3D列印建廠不是夢！
文 | 黎昌憲 | 新廠設計部 |
本文針對積層製造技術(Additive Manufacturing)，即俗稱的3D 列印(3D Printing，以下簡稱3D 列印)，以層級性的敘述方式來研析3D 列印的由來、階段發展歷程、技術原理與特色以及未來...

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點閱 (39)
2014.6, Vol.14 / 新象新知
The Application of Intelligent Video Fire Detection System
智慧型火災影像偵測系統之應用
文 | 鄒李達 | 新廠設計部 | 洪文當 | 新廠設計部 |
目前廠內在潔淨室、氣體房、化學房、電腦機房、變電站...等區域安裝的火災煙霧偵測器，不論是VESDA、光電或離子式偵測器，須待現場煙霧濃度擴散及遮蔽率達一定程度以上，警報才會觸發，(依不同環境可能耗時 2~3 分鐘...

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點閱 (44)
2014.3, Vol.13 / 技術專文
Site Evaluation Methodology and Practice Study
廠房選址評估理論與現況探討
文 | 賈芸如 | 陳素雲 | 新廠規劃部 |
因應不斷進步的製程及產品需求，高階晶圓廠的持續建置與發展是無可避免的競爭趨勢，因此尋找適當的晶圓廠用地以配合產能的擴充一直是新廠規劃部重要的任務之一。本文希望透過理論的介紹與國內外廠房選址的經驗，分享廠房選址的方法...

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點閱 (82)
2014.3, Vol.13 / 技術專文
Site and Building Planning Indices
新廠規劃指標
文 | 沈建宏 | 新廠規劃部 |
本文主要是探討新廠規劃時指標的意義及趨勢，利用既有廠區指標作為規劃參考，完成空間規劃。首先說明廠房規劃階段必須界定的三個步驟，並說明如何透過指標的引導進行系統性的廠房規劃。接著，為結合廠房規劃步驟說明各項指標的意義...

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點閱 (34)
2014.3, Vol.13 / 技術專文
Integration Analysis and Performance of Stormwater Management Practices and Drainage Systems
廠區暴雨管理與排水系統之整合分析與績效
文 | 張登勝 | 十四A廠製造三部 | 莊雅鈞 | 國立成功大學 | 張行道 | 國立成功大學 |
本研究整合分析新建廠區之暴雨管理與排水系統。先經由國內外文獻回顧，了解降雨強度與排水規劃間之關聯，並整理暴雨管理的種類及做法，然後了解廠區綠地、花園等景觀設計，計算實際排水系統與景觀設施保水量。 研究發現，新建廠區...

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點閱 (43)
金筆獎入圍
2014.3, Vol.13 / 技術專文
Powerful Tool -Apply TEKLA Structures to Quantity Take-off of Building
TEKLA Structures 於建築材料數量計算的新應用
文 | 張育誠 | 新廠營建部 | 陳椀煜 | 新廠規劃部 | 陳亭蓁 | 新廠規劃部 |
在十二廠七期新建工程專案首次導入TEKLA structures進行建築資訊模型（Building Information Modeling, BIM）的建立，透過3D模型的建置直接產生材料數量清單，用來檢核建築物...

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點閱 (81)
金筆獎入圍
2014.3, Vol.13 / 技術專文
Multi-Dimensional Simulation for Fab Construction
廠房建築施工多維度模擬應用
文 | 賴彥程 | 國立台灣大學 | 鄭昭平 | 新廠規劃部 |
本文將介紹針對晶圓廠下部結構製作4D施工模擬之研究過程與成果，旨在探討應用電腦輔助工具於高科技廠房建廠施工優化，解決以往不易掌握之資源分配、空間衝突、排程管理等問題。研究係藉助台積電十四廠七期下部結構之場、預鑄混合...

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點閱 (40)
2014.3, Vol.13 / 技術專文
Initial Design Integration Enhancement for New Fab Planning Application
新廠規劃的前導者 - IDI系統再進化
文 | 朱慧明 | 新廠規劃部 | 吳瑛期 | 新廠規劃部 |
新建廠房於規劃設計時，必須依據生產機台的需求 (Tools Utility Requirement) 進行各種廠務供應系統規劃與建造，各系統容量規劃及管路配置長度是影響建廠成本的關鍵因素；本篇將闡述建立生產機台需求...

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