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2019.9, Vol.35 / 技術專文
Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data
大數據分析冰水供應系統 操作參數最佳化設定
文 | 吳孝修 | 蔡宗原 | 竹科廠務二部 |
近年來廠務系統上的訊號源已收集至資料庫內，但這些資料以往只針對系統供應品質上去分析，鮮少對系統優化或者是節能運轉去探討，本專案採用i-EDA2 / SAS數據分析軟體，將冰水供應系統最佳壓力設定進行調整，此調整基準...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文
Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System
人工智慧應用於冰水系統節能技術探討
文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 | 蔡昆憲 | 製造技術中心 |
台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化，應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制，成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C)，但因機台管...

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2019.9, Vol.35 / 新象新知
Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions
煙道酸鹼即時連續監測系統研究
文 | 康智翔 | 錢立行 | 竹科廠務三部 |
於廠務運轉層面，各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行，如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量，煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中，選...

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2019.9, Vol.35 / 新象新知
Combined Inspection Robot and AI monitoring for Cleanroom Quality Control
自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣品質量測
文 | 蕭睿呈 | 南科廠務一部 | 林安祺 | 智能廠務管理課 | 朱晃民 | 南科廠務一部 |
半導體產業蓬勃發展，因此對於無塵室內的溫溼度、氣態分子污染物 (AMC)等生產環境品質的控管越趨嚴格，現階段以自動分析儀器並拉設採樣管對固定位置進行AMC監控，並輔以人力至現場進行巡檢。隨著晶圓生產廠區規模越趨龐大...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
On-line Monitoring and Early Detection of Coil Windings Ratio for Cast Resin Transformers
模鑄式變壓器線圈匝比的線上監控與早期預警機制
文 | 廖日能 | 黃金龍 | 中科廠務一部 |
高科技半導體廠電力系統中模鑄式變壓器容量常達數千伏安(kVA)，當發生故障時必影響大量設備用電，對生產端造成嚴重衝擊，甚者，恐有人員安全之虞，故瞭解模鑄式變壓器的故障型態並設法提出預防機制甚為重要。本文針對模鑄式變...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
Distributed Optical Fiber Sensing Temperature On-Line Monitoring and Locate Fault for Power Cable
分散式光纖電力電纜溫度即時監測及故障預警測距系統
文 | 鍾易璋 | 竹科廠務三部 |
透過電力電纜監測技術的原理概況，探討傳統測溫方法與即時光纖測溫技術的優劣，得知光纖測溫系統在電力電纜應用中的先進性和優越性，進一步研究拉曼散射的原理以及光時域反射技術闡述光纖測溫系統的基本原理以及應用的可行性。本文...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
Active Defense Enhancement of Uninterrupted Power System (UPS)
機台不斷電系統主動防禦強化
文 | 楊智翔 | 賴建翔 | 中科廠務三部 |
隨著製程不斷演進，新廠機台所使用之不斷電系統(UPS)數量亦越來越多，然UPS內部使用之元件有著各種不同的故障模式，若能早期發現甚至預防，將能有效降低對生產之影響。本文藉年保時發現：1.電解電容漏液溢出至下方IGB...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Establish TSMC Ecological Management Objectives and Development Roadmap
建構台積電生態環境管理目標與發展藍圖
文 | 鍾振武 | 公共設施服務部 |
本研究旨在探討如何建構台積電生態環境管理目標，並藉由動態式管理手法將短、中、長期的工作計畫轉化為台積電生態環境發展藍圖。透過國內外文獻回顧整理，擬定台積電生態環境管理5大目標及其30個關鍵因子，以問卷深度訪談40位...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Methodology for Exploring Air Pollution Control Measures in R&D Fab
探索研發廠空污防制對策之方法論
文 | 王若杰 | 竹科廠務三部 |
現今半導體製程發展一日千里，研發廠所面臨的空污排放問題，在處理防制上已是越來越困難了，其原因主要為研發廠空污問題具多變性及未知性，多未能有良好的空污處理經驗以茲依循，另因應研發製程的需求迫切，可擬定空污防制對策的時...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Operation Strategy of Gas and Chemical Supply Systems for Converting Advanced R&D Processes into Mass Production Fab
因應研發先進製程轉量產之氣體與化學供應系統運轉策略
文 | 曾恒毅 | 中科廠務五部 |
本研究使用目前業界廣泛應用於製造流程分析的 IDEF0 建模方式，在半導體研發製程轉大量生產過渡期間，將氣體與化學供應系統運轉方式，分為三個主要階段及五個次要程序。根據最新廠區運轉經驗及結合各廠區相關專業同仁的意見...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Building-up Effective CPM Managements for New Fab Construction Project
建構高科技廠房建廠要徑管理模式
文 | 呂孟倉 | 新廠工程管理部 |
本文由高科技廠房建廠時程管理的實務切入，討論要徑法(CPM)在高科技廠房工程上的限制。並藉由軌道運輸啟示，提出類比列車軌道時程管理上與高科技廠房建廠時程管理有相似之處，研究建構一個適用於高科技廠房建廠專案的要徑管理...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Facility Department Level's Job Classification and Future Improving Measures
廠務部級組織分工效益及未來改善對策
文 | 洪男雄 | 廠務處 |
台積公司各廠務部自2014年合併為300mm FD後，部門組織調整為值班運轉(Operation)，部門專案(Project)，預防保養(PM)等三大功能。本研究透過量表方式，收集竹科同仁對目前分工功能的意見，量表...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Site-Selection Strategy of Electronic Material Supply Chain – NJ Site as an Example
電子材料供應鏈選址策略 - 以南京為例
文 | 許天賜 | 南京廠務一部 |
台積電南京廠因主要生產電子材料原物料有95%以上來自非大陸地區，原物料皆需透過長時間的運輸，因此衍生額外的問題如品質、穩定供應及成本等問題。為維持台積電南京廠長期營運穩定及競爭力，需要台積電協助電子材料原物料廠商建...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Apply Weibull Probability Distribution Function to Evaluate the Predictive Maintenance Method of Facility
應用韋伯可靠度機率理論來評估廠務系統預知保養策略
文 | 林豪逸 | 南科廠務二部 |
南科十四A廠自2004年成廠至今，已邁入第十五個年頭，各廠務系統老化問題日漸嚴重，導致設備損壞維修頻率逐漸增加，如何藉由保養維護來減少非預期性的設備故障與延長系統設備壽命，同時不過度保養造成保養成本浪費，達到設備保...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Establish a Big Data Platform to Enhance Water Treatment Efficiency and to Perform Equipment Predictive Maintenance
建立大數據管理平台以提升水處理系統效能與實現設備預知保養
文 | 王俊元 | 南科廠務五部 |
在一個晶圓廠中，為維持系統的穩定運轉與品質要求，「維護保養」是一個重要的基本要素。在廠務的運轉系統中，往往我們會用傳統式固定時間或固定頻率的方式進行設備維護保養，但過度保養與維修保養不及的狀況都有機會發生。然而，系...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
The Systematic Solution for Aged Facility Refurbishment Engineering
廠務系統化全面翻新
文 | 林韋志 | 南科廠務一部 |
由於廠務系統老化，以至於功能失效所導致的事件時有所聞，常使工廠蒙受人員傷亡、環境衝擊、非計畫性停線、檢修成本提高等，對於企業永續經營造成重大不利影響，不能等閒視之。本文主要由南科十四A廠全面翻新的定義及目標訂定、範...

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