TSMC 廠務季刊

2023.03, Vol.49 / 技術專文

Automatic Early Warning System of Safety Stock for Facility Warehouse

廠務庫房安全庫存量自動預警系統

文 | 彭昱瑄 | 廠務物料管理部 |

在公司廠房迅速擴充和全球供應鏈缺料情況之下，物料的需求量與交期大幅上升，「安全庫存」的執行變得更加重要。透過廠務資產管理系統(Facility Asset Management, FAM)依據過去實際領料量建置一套...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

The Study of technology of Cleaning 2B3T Anion Resin of Ultrapure Water System

超純水系統之2B3T陰樹脂清洗技術探討

文 | 韓華楊 | 南京廠務部 |

超純水系統中TOC的濃度管控對於高品質供水至關重要。TSMC各廠區在更換2B3T弱陰樹脂過程中面對在樹脂上線初期高濃度TOC殘留的問題，均通過線上多次再生清洗的方式來洗淨新樹脂。本文介紹南京廠建制的線下樹脂清洗裝置...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Hollow Fiber-based TOC Filter

中空纖維TOC濾網 - AMC濾網設備化的新紀元

文 | 曹志明 | 廠務技術發展部 |

針對先進製程區域MAU出口端異丙醇/丙酮極低濃度的規範要求，既有活性碳(Active Carbon)型濾網對異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)以及丙酮(Acetone)去除效率差且握持量不足，極短的時...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

The defense and strategy against small molecule TOC in UPW system

純水小分子TOC的防禦與對策

文 | 楊昀瑍 | 台南廠務九部 | 傅正貴 | 台南廠務九部 |

隨著半導體製程的精進(N5→N3製程)，使用的超純水越趨純淨，其中總有機碳(TOC)過高將導致晶圓表面氧化及結晶缺陷，導致蝕刻不均、清洗效率不佳。各廠廠務超純水系統對TOC素有極高的去除效率(POU出口已...

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2020.12, Vol.40 / 新象新知

The Feasibility of Using UV254 to Replace TOC/COD Analyzer

水質監測以UV254取代TOC/COD分析儀可行性評估

文 | 張得威 | 王世民 | 竹科廠務五部 |

因應半導體製程日趨進步，傳統總有機碳(Total Organic Carbon, TOC)及化學需氧量(Chemical Oxygen Demand, COD)監測方式分析時間長，較難反映水質的快速變化，本文根據Beer...

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2020.9, Vol.39 / 技術專文

Defense Mechanism of Outside Air AMC MeCl2　　　　　　　　

外氣AMC MeCl2防禦機制

文 | 陳睿森 | 南科廠務1廠務一部 |

半導體的線寬越來精細，製程的複雜度越來越高，相對製程良率受外在環境影響的可能性也越來越大，氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC) 一直都是受到關注的對象，也因為製程的...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Research on IPA Chemical Filter Efficiency Improvement

談異丙醇化學濾網使用效率提升之研究

文 | 林瑞昆 | 竹科廠務三部 |

異丙醇(IPA)對於電化學電鍍(ECP)製程之晶邊良率具有極大的影響，ECP區域IPA主要來源為外氣空調箱(MAU)引入，汙染源來自於本身或鄰近廠區煙囪排放(約佔70%)，其次為化學研磨製程(CMP)機台洩漏或蝕刻...

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2015.6, Vol.18 / 技術專文

Effluent Reclamation - Application of Advanced Oxidation Process

放流水再生利用 - 高級氧化法(AOP)的應用

文 | 萬棟勳 | 廠務技術發展部 |

放流水再生利用的關鍵技術是去除放流水中有機物，尤其是低分子量有機碳氮，使再生水水質達到相當於自來水水質低分子量有機物(含尿素)含量水準。高級氧化法(AOP)是種新的水處理方法，利用氫氧自由基(OH．)的強氧化力，...

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2013.3, Vol.09 / 新象新知

Introduction of AutoCAD WS, an Efficient and Cloud-based CAD Editor

高效多元 - AutoCAD WS雲端圖檔多方快顯介紹

文 | 呂宛諭 | 曾文吟 | 新廠規劃部 |

無論在工地套圖或是現場核對圖面，在各種的設計中，都需要一個有效率又快速的整合推廣平台，若利用AutoCAD WS雲端圖檔多方快顯(a cloud-based CAD Editor of AutoCAD WS)的方式...

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2011.4, Vol.02 / 新象新知

A new approach for companywide clock alignment

提昇企業時鐘準點

文 | 彭如秀 | 公共設施服務部 |

時間，它與我們形影不離，但視線可及之處，如接待大廳、會議室及演講廳等的時鐘，由於準確度不同，時間呈現亦各有差異，易造成使用者困擾，也因採傳統式電子鐘故需額外人力調整時間及更換電池，因此，尋求一種自動對時且準確性高的...

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2011.1, Vol.01 / 技術專文

PHOTOCATALYTIC DEGRADATION OF GASEOUS TOLUENE IN AN ULTRASONIC MIST CONTAINING TiO2 PARTICLES

利用光觸媒對氣態甲苯在含有 TiO2 超音波微霧粒環境下降解之探討 - 不需消耗太多的能源

文 | 林語騰 | 國立台灣大學土木工程系 | 吳怡亭 | 國立台灣大學化學工程系 | 許明皓 | 台灣大學環境工程系 | 陳虹瑤 | 台灣大學環境工程系 | 黃正吉 | 計劃整合及研究專案部 PIRP | 吳紀聖 | 國立台灣大學化學工程系 | 張陸滿 | 國立台灣大學土木工程系 |

本研究將凝態的 TiO2 利用超音波原子化器轉換成微霧滴，在不同的條件下對氣態甲苯的光觸媒降解之研究，在 365nm 的 UV 光輻射下，甲苯在光觸媒 TiO2 微霧滴的...

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