TSMC 廠務季刊

2023.3, Ann.2022 / 技術專文

Sharing of Fab16P1 Annual Maintenance Report and Abnormal GIS's Switchgear Case Handling

Fab16P1年度維修報告與GIS開關異常處理分享

文 | 付家珩 | 劉子淯 | 張裕政 |

F16P1A於2017年成廠迄今已5年，本次於11/08~11/10進行小APM執行50%高壓電力設備保養，不影響工廠生產，本次保養共執行8項APM作業,共計電力切換699步驟，保養205個電力設備，包含220KV...

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2023.03, Vol.49 / 技術專文

Importance of Internal Control Management to the Organization

內部控制管理對組織的重要性

文 | 陳政傑 | 新廠規畫部 |

近幾年來，由於全球化的影響，大型企業因文化、語言不同造成營運上許多的新的挑戰，金管會也不斷地在提醒企業組織做好自我的內部控制管理，以因應快速變動的環境。而台積對公司內各單位執行的內部控制做法主要為內部控制自評管理(...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Chemical supply system upgrade-The challenge of engineering under uninterrupted

化學供應系統架構升級-生產供應不中斷之困難與挑戰

文 | 王彥棋 | 李耀東 | 新竹廠務二部 |

化學供應系統歷經多年的演進及改善，於新廠區已呈現相對穩定的運轉狀態。但反觀老廠之化學供應網絡及控制器已明顯跟不上世代，不斷的在老舊系統上進行小規模的CIT改善只能說是治標不治本，如何將供應網絡全面更新及控制器升級才是長遠...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

Painless upgrade method and practice of old technology plant's gas/ chemical supply system

舊科技廠房氣化供應系統無痛升級方法與實務

文 | 劉桐村 | 台南廠務一部 | 廖俊凱 | 台南廠務一部 |

本文主要說明高科技廠房的廠務設備會隨時間不斷的演化和進步，並伴隨著長時間的運轉經驗而提出更好的系統改善方案，老舊的科技廠房將面臨兩大挑戰。
第一 : 系統硬體部分因逐年老化需汰舊換新並藉由不斷完善改善...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

It's Good Time to Save Water! Automation of Cooling Tower Level Control

節水好時機-Cooling Tower液位控制自動化

文 | 江典剛 | 台南廠務處 | 夏瑋念 | 台南廠務處 | 黃冠諭 | 亞太廠務處 |

冷卻水塔(Cooling Tower)一直是各廠回收水(RCW)使用量最大的單元，其使用量(即蒸發量)與當下環境的溫度、濕度皆有關，而環境溫濕度又與季節(長期)、日夜(每天)有關，以現況Cooling tower固...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

Reliability Design of UPS Maintenance Bypass Panel Power Transfer

UPS電源轉載可靠度設計

文 | 林委廷 | 劉佳政 | 南科廠務2廠務一部 |

隨著高科技廠房智慧化的發展，對於人員長期進行單調，且重複性高的電源設備切換工作，產生的人為失誤議題日益重視。根據文獻對全球肇事原因的統計，70%的飛機墜機事故及90%的車禍中，皆由「人為失誤」所造成，證實「人為失誤」是系...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

Operation Management and Strengthening for Lithium Iron Phosphate Battery

磷酸鋰鐵電池運轉管理與強化

文 | 陳光豪 | 楊智翔 | 中科廠務三部 |

晶圓半導體製程隨著「摩爾定律」(Moore's Law)不斷推進，設備機台供電品質要求越趨嚴苛，大功率不斷電系統(UPS)的建置數量也隨之增加。目前UPS傳統配置的「鉛酸電池」(Lead-Acid Battery...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

Evolution and Integration of Compressed Air System Energy-Saving Technologies

壓縮空氣系統節能技術演進與整合

文 | 薛弘仁 | 南科廠務1廠務五部 | 游昇哲 | 南科廠務2廠務二部 |

我們整合了文獻上的節能技術進行壓縮空氣系統之環境改善、機台改善、控制模式改善，最後導入新的物聯網大數據分析概念，使用Atlas ES360中央控制器進一步程式運算分析配置端緩衝槽壓力數據然後由其動態預測壓力回饋調整供應端...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文

Facility Cybersecurity Protection–Trends and Strategies in Industrial Control Cybersecurity

廠務資安防護–工控資安趨勢及策略

文 | 黃稚程 | 新廠設計部 |

孫子兵法云：「多算勝，少算不勝，而況無算乎」。從資安風險的角度來衡量廠務，需清楚內部有何工業控制系統，何系統與可用性及人員安全的關聯性最高，何系統流程影響工廠運轉最深，並釐清這些系統或流程受駭客攻擊的可能性，然後藉由資安...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文

Intelligent Management of Predictive Maintenance of Rotating Equipment

轉動設備預知保養智慧化管理探討

文 | 張智能 | 八廠廠務部 |

轉動設備的預知保養檢測資料彙整在FAM平台(Facility Assets Maintenance)，對接一套智慧化預知保養管理系統將檢測結果轉變為管理進化的強大資料庫，除了原有SPC(Statistical Proce...

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2020.6, Vol.36 / 技術專文

Method and Practice of Chemical Dispense Unit Control System Upgrade without Supply Interruption

化學供應系統之控制單元執行不中斷供應的升級方法與實務

文 | 徐銘傑 | 原物料品質提升課 | 鄭祥龍 | 新廠設計部氣體及化學工程課 |

隨著半導體製程由N4X演變至N3，廠務化學品供應系統(CDU)也須同步進化，但在2008年建立之舊式化學品供應系統設計已不符現況，且系統供應商部門解散，造成廠務進化的腳步停滯，必須研擬出新的方法突破現況，以符合N3之先進...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Artificial Intelligence of Energy Saving Deployment in Chiller System

人工智慧應用於冰水系統節能技術探討

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 | 蔡昆憲 | 製造技術中心 |

台積電運用人工智慧和大數據分析將製程最佳化，應用此精神追求冰水系統效能最佳化。2017年應用大數據分析及結合冰水系統找到全系統最佳效能運轉機制，成功開發業界第一個冰水系統最佳化節能控制系統(正負2度C)，但因機台管...

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金筆獎入圍

2018.12, Vol.32 / 技術專文

Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants

半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控

文 | 林崇瑋 | 何薇如 | 十五A廠工安環保部 |

以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System

正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法

文 | 莊哲嘉 | 竹科廠務三部 |

在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Introduction of EUV Foundation Installation

談極紫外光微影掃描設備基座安裝

文 | 鄧元豪 | 新廠工程管理部 | 黃士哲 | 新廠工程管理部 | 彭育倫 | 協崑有限公司 |

現今半導體先進製程產業已是不進步就是退步的高度競爭之中，隨著產品愈來愈精密，設備機台對於安裝環境的需求也相對愈來愈高。以基座（Foundation）而言，從一開始的載重需求至微振動需求，進而增加剛性的需求，每一個需...

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2017.3, Vol.25 / 技術專文

Development Procedure of Programmable Logic Controller by On-line Simulation

廠務控制程式模擬流程開發

文 | 李宥廷 | 陳民凱 | 南科廠務三部 |

在廠務系統中，大部分系統皆由設備廠商提供程式，部份廠商因機密問題不提供原始程式，又程式撰寫方式均以階梯圖撰寫，且動輒上千條程式，難以深入詳細的動作邏輯。故本文制定出廠務控制程式開發流程，並配合Off Line模擬系...

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