Application of Mobile Air Quality Monitoring Vehicle
空氣品質監測車的應用
No AMC Contamination–IPA/Acetone Concentration Improvement in CleanRoom
AMC零污染–無塵室異丙醇及丙酮濃度改善
從10奈米製程以降，清洗晶片的機台大量使用異丙醇、硫酸、雙氧水等化學品進行清洗，因其尾氣混排至酸性洗滌塔，未能有效處理的異丙醇及丙酮容易伴隨外氣進入無塵室。因現有處理有機物的化學濾網未能有效吸附這些小分子量的氣體，使無塵...
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Establish TSMC Ecological Management Objectives and Development Roadmap
建構台積電生態環境管理目標與發展藍圖
本研究旨在探討如何建構台積電生態環境管理目標，並藉由動態式管理手法將短、中、長期的工作計畫轉化為台積電生態環境發展藍圖。透過國內外文獻回顧整理，擬定台積電生態環境管理5大目標及其30個關鍵因子，以問卷深度訪談40位...
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金筆獎入圍
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...
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The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber
砷尾氣處理設備量測方法探討
砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...
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A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...
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Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...
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Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...
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Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake
六級強震巨災應變對策
地震為發生機率高且不易預測之天災，近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震；且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷)，因此如何面對這麼巨大的天然災害，並於第一時間做好緊急應變，固守人員安全並快速回復...
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金筆獎入圍
A Study of Largescale Tree Transplanting Project
大規模樹木移植工程實例探討
環境保育與產業發展向來被視為相互衝突。如今，如何運用智慧兩全其美已勢在必行。本文以中科擴建廠區為例，展示新建工程前期所進行的大規模樹木移植工程。本案基地位於原大肚山彈藥庫，全占地面積約53公頃，實地調查樹木數量近2...
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Application of Mobile Air Quality Monitoring Vehicle
空氣品質監測車的應用
本文主要在說明空氣品質監測車(站)設置的緣由與目的，並說明空品車的配備及監測項目，未來可透過即時監測了解周界環境的空氣品質變化，並與臨近環保署測站比較，分析周界環境是否受工廠影響。空品監測車已於今年6月份打造完成，...
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The Design and Application of Smart Landscape Irrigating System in TSMC
智慧澆灌系統之設計與應用
臺灣近年來降雨分布不均，水資源在有限的利用情形下，節水行動也已經是全民共識及任務，而台積電綠廠房於製程用水回收再利用已逾90%，並且積極配合營建署及建築中心辦理推廣生態景觀及節能、節水教育成效頗彰。生態景觀所面對的...
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The Intelligent Exhaust Pollution Control System - TSMC F14P3
廚房廢氣處理系統智慧化研究 - 以十四廠三期為例
將ICT技術導入台積電F14P3辦公室的廚房廢氣處理系統中；藉由感測器(pH/ORP計及導電度計)的裝設，來改善目前必須巡檢才能得知系統運轉狀況及無法判斷系統處理效率的問題；將感測器所感測到的數據傳回BAS，與內建...
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Better Landscaping with Green Building Certification: A Case Study of the Science Park
發展綠建築認證對科學園區景觀推展之期許
自2006年起，台積電帶頭引入美國LEED綠建築認證系統，並致力與台灣綠建築標章EEWH整合後，帶動了科技大廠自我要求取得綠建築認證的風潮，但生態復育不是取得綠建築標章就一定可以達到，而應從景觀與生態規畫的角度，使...
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Modeling an Ecological Corridor with Green and Blue Elements in Southern Taiwan Science Park
南科水與綠廊道的生態空間形塑
本文自景觀生態學之理論與觀點，綜觀台南科學園區台南基地的空間環境，其「公園化園區；園區公園化」的E-Park（公園化科技園區）概念，將基地內點、線、面之綠帶作有系統的規劃串連，讓園區宛如一座充滿綠意的大型公園，呼應...
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金筆獎入圍
Eco-design and Landscape Construction for a Sustainable E-Park
永續基地綠園區生態環境設計與景觀營造
生態設計為整合人類使用目的與自然生態的一種設計方法，將生態原理應用到規劃、設計及工程等方面，以達到環境永續發展之目的，本文主要探討台積電廠區在景觀設計上使用的生態設計方法，透過文獻回顧與相關理論，歸納出台積電景觀設...
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Construction of Ecological Conservation Landscaping Start from the TSMC Taiwan Native Plants Afforestation
建構以生態保育為目標的廠區綠化 - 從台積電原生植物為起點
在台積電中科十五廠建廠即注意到生態保育的重要，積極將傳統工業區的綠化從「環境綠化」提升至「生態綠化」的層次，引進大量台灣本土的樹種，總計有66科106屬125種，藉以提高廠區物種的多樣性，並配合流動水體，搭配地被、...
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