Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
Liquid Desiccant Air-conditioning and Energy Saving Applications
溶液除濕空調與節能應用
傳統空調系統的優勢在於顯熱的處理，即使經過百年的改善精進，要在既有的原理基礎上得到良好的潛熱處理效率仍是困難。而溶液除濕空調(Liquid-Desiccant Air Conditioning., LDAC)系統則...
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Apply Progressive Placement Method to Cleanroom Ceiling Construction
無塵室天花板高低平台工法應用
晶圓廠的興建作業中，土建鋼構及無塵室的建造為主體項目，而無塵室的迴風格子樑設計導致土建作業的難度增加，為了能夠縮短整體工期滿足安全的要求，承攬商將公共工程常見重型施工鷹架導入在十五廠三期與四期廠房的無塵室新建工程，...
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Utilize Prefabricated Thermal-Filler Module in Cooling Tower Installation
冷却水塔散熱材填料預製模組化方案探討
一套完整冷却水塔是由動力系統、水塔結構、散熱材填料、擋水器、散水系統和水槽所組成。根據所謂的80/20的趨勢或原則，針對安裝之工法及工時改善分析，改善後工期縮短效益達到33.9%。本文將其過程與相關管理整理供同仁參...
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Influence of Intake Air Quality on Different Stack Design
煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響與設計
半導體廠房的建築物大多以平屋頂、大面積的設計為主，且製程廢氣的排放管道和進氣口也常因土地空間的限制而設置於廠房的屋頂。因此，新鮮空氣經由外氣進氣口導入到製程區和辦公區時，屋頂煙囪所排放之空氣污染物可能因煙囪高度不足...
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MAU Air Washer Pump Flow Diagnosis and Improvement
外氣空調箱水洗加濕泵浦之流量診斷與改善方案
外氣空調箱（Make-up Air Unit, 以下簡稱MAU）是提供潔淨空氣至無塵室，做為無塵室的濕度調整及減低室外空氣AMC濃度的重要設備，其中外氣水洗系統（Air Washer System）更是關鍵性設備，...
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Performance Test for 40nm Liquide Particle Counter
40奈米液相微粒分析儀實測
在晶圓的生產過程中微粒(Particle)會造成品質瑕疵，甚至於報廢，因此如何量測與去除一直是個重要議題，本文針對量測液相流體微粒的新式40奈米微粒分析儀(Particle Counter)與現行主力65奈米分析儀...
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Introduction of Run-around Coil in MAU
外氣空調箱循環迴路盤管構型介紹
針對無塵室高耗能的外氣空調箱(Makeup Air Handling Unit，以下簡稱MAU)進行節能改善，一直是廠務人員關注的焦點，在各式節能方案中，又以導入循環盤管(Run-around Coil，以下簡稱R...
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Innovative Air Condition Chilled Water System Multi-Core Concept Implementation of Energy Efficient Design and Operational Optimization
創新型空調冰水系統 多核心分工節能設計及運轉最佳化
本研究以逆向思考突破傳統舊有節能思維，以創新方法新技術之“多核心分工節能最佳化模式”運轉，亦即依不同天候條件及空調負載變化需求，各系統做最適化相互匹配及多核心分工變頻運轉，使其運轉處於最佳狀...
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AMC Source Identification by CFD Modeling in Cleanroom
潔淨室氣態分子污染物(AMC)污染源之預測方法
一般潔淨室設計中對於汙染源的預測大多採取由已知點釋放汙染物(實驗或計算)，再觀察汙染源擴散的情況的方式來瞭解汙染物在潔淨室中的行為。但在真實運轉中的潔淨室，通常我們只能觀測到結果，而無法得悉汙染物由何處而來，若擬求...
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Green Concept of Wet Scrubber Design Development in tsmc
綠色思維下的濕式洗滌塔設計沿革
面臨製程機台排氣量不斷增加、成分越來越複雜的挑戰下，我們必須對空氣污染防制設備進行改善。本文將針對台積電各十二吋廠洗滌塔的發展趨勢及所面臨之困境進行探討，以既設廠設計搭配學理說明，分析不同的設計因子對處理效率的影響...
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Heat Pump Application and Energy Saving
熱泵的節能與應用
Heat pump乃是利用卡諾循環 (Carnot cycle)設計的一種熱機，而"熱泵"是由英文 Heatpump 翻譯而來，熱泵壓縮機利用吸收環境的熱能，不需燃燒，不產生二氧化碳及廢熱氣，可...
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Innovative Uninterrupted Supply Mode of Air-powered Pump
創新之泵浦不中斷供應模式
任何製造業公司在遇到任何供應異常狀況發生時，無不希望工廠能不受任何影響，可以繼續生產，因為生產時間是公司多獲利的關鍵之一，所以各家公司無不絞盡腦汁進行各種創新改善，就只是為了能爭取到不中斷的生產時間，以下就有一項創...
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Exhaust Damper Improvement, Development and Application in New Fab Construction
排氣系統風門型式發展與新建廠區之應用
在廠務排氣系統的建置過程中，風門與風管為主要的構成元件。若以去年新建完成之十四廠四期廠區為例，整個排氣系統的建置總排氣量，約為3,000,000CMH，其中風管的材料使用總量，達到30,000平方公尺以上。若單就風...
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Application of ASHRAE 52.2 Air Filter in USGBC LEED-NC
ASHRAE 52.2空氣濾網在美國綠建築LEED-NC的應用
由於國家政府及企業不斷的向外尋求資源或產品，在國際交通網路便捷性不斷的提昇下，跨國性貿易行為正蓬勃發展，從已開發國家、開發中國家並延伸至未開發國家。為確保合約雙方對產品品質及性能達成共識，共通標準遂應運而生，空氣濾...
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Exhaust Monitoring System Study and Design
廠務排氣監控系統探討與設計
AAS(Air Abatement System)是半導體晶圓廠生產所必需的重要系統，必須考量許多因素以符合各項運轉需求，如安全控管、空間運用、系統容量設計及運轉操作維修等等，故於建廠階段就必須將所有相關因素納入設...
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The Energy Saving Study of Variable Primary Flow Chiller System
冰水系統之節能探討
在半導體廠之運轉電費，由以往經驗來看，冰機系統佔總耗電量，高達14%之多，如圖1所示，故由冰機系統切入考量，可得到一定比重之節能成效。有鑑於此，tsmc評估既有系統架構之優缺點後，...
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