TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area

成廠區有限空間的空污防治設備建置對策

文 | 曾柏凱 | 新竹廠務二部 |

隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前述，提出ESG 2050年淨零排放目標，老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難，更是有不同種類排氣風管串接混...

按讚

0

點閱 (19)

2023.06, Vol.50 / 技術專文

Solution and Structure Investigation to Set Up Medium Capacity Gas Engine Generator for FAB Electric Power

中型燃氣引擎發電機設置供應廠區方案及架構探討

文 | 湯宏謙 | 徐正威 | 新廠設計部 |

面對台灣電力近年供電吃緊狀況，台電頻繁要求園區用戶配合降載，廠區需配合開啟發電機供電，以協助台灣電力度過吃緊時段，時間約莫在下午 4 點至晚上 8 點太陽下山的時段。廠內發電機使用柴油作為燃料，當大量發電機啟用時，...

按讚

0

點閱 (137)

2023.06, Vol.50 / 技術專文

Challenges faced by emergency generators under the operation of Taiwan Power Company

配合台電運轉下緊急發電機面臨的挑戰

文 | 葉念祖 | 廠務 | 陳裕純 | 新竹廠務五部 | 袁偉捷 | 新竹廠務五部 |

近年來緊急發電機經常配合台電限電運轉作為調節電力系統能源使用，隨著能源配置改變緊急發電機面臨更嚴峻的挑戰。2025台灣再生能源將達20GW佔發電比20%，間歇性能源佔比過大，若電力系統事故發生，引發台電低頻保護與特...

按讚

0

點閱 (19)

2023.06, Vol.50 / 技術專文

tsmc Emergency power integration platform

緊急電力整合平台

文 | 蔡祐立 | 台南廠務四部 | 黃茂庭 | 台南廠務四部 | 張翊祥 | 廠務數位發展部 |

因全球轉單、半導體擴廠效應及台商回國投資等因素，台灣自2020年起用電需求大幅提升，據能源局公布資訊Y2021用電增幅為近10年來最高，再者配合台灣能源轉型政策，核電廠除役且再生能源比例提高，導致基載容量降低且變化...

按讚

0

點閱 (44)

2021.12, Vol.44 / 技術專文

Static electricity prevention is done well, no worries at work!

靜電防治做得好，工作沒煩惱

文 | 林佳瑩 | 台南廠務五部 |

半導體製程中高分子有機溶劑為常見使用之化學品，因其低導電率特性，廠務端供應機台容易經高分子有機溶劑流動摩擦發生靜電擊穿現象增加供應上之風險。在不影響廠務端穩定運轉卻能達到靜電防治效果狀況下建議供應機台使用抗靜電材料...

按讚

0

點閱 (79)

2021.12, Vol.44 / 技術專文

It's Good Time to Save Water! Automation of Cooling Tower Level Control

節水好時機-Cooling Tower液位控制自動化

文 | 江典剛 | 台南廠務處 | 夏瑋念 | 台南廠務處 | 黃冠諭 | 亞太廠務處 |

冷卻水塔(Cooling Tower)一直是各廠回收水(RCW)使用量最大的單元，其使用量(即蒸發量)與當下環境的溫度、濕度皆有關，而環境溫濕度又與季節(長期)、日夜(每天)有關，以現況Cooling tower固...

按讚

0

點閱 (57)

2021.03, Vol.41 / 技術專文

Management of excavation and fill back work in the N3 construction area

滄海桑田大變身-N3基地地改工程執行與管理

文 | 許晉榮 | 新廠工程管理部 | 廖哲逸 | 潘冀聯合建築師事務所 |

本文探討N3基地於執行土方開挖、回填之相關設計、施工與品質管理，相較N5基地區域為原地表層加上該區域為早期台積蓋廠之土方堆置場，已歷經長時間之重力壓密；N3區域所處的位置大部分為滯洪池與垃圾掩埋場，地層性質與N5基地大相...

按讚

0

點閱 (26)

2020.12, Vol.40 / 技術專文

Challenges and Strategies for the Biological Acute Toxicity of Effluents to Daphnia

放流水生物急毒性悠活水蚤的挑戰與對策

文 | 吳旻學 | 中科廠務二部 |

現況廠內放流水之H2O2經由過氧化氫酶(Catalase)酵素的降解後，已使得脊椎生物TUa<1.43(Toxicity Unit Acute, TUa)之機率大幅提高，...

按讚

0

點閱 (55)

2020.12, Vol.40 / 技術專文

Investigation and Improvement of the Biological Acute Toxicity to The Dosing Chemicals from Fab Effluent Water

廢水系統藥劑對放流水生物急毒性探討與改善

文 | 王慶林 | 劉柏青 | 蕭千城 | 南科廠務1廠務五部 |

隨著環境保護受到國人關注，生物急毒性(TUa)是判斷水質的一項重要指標，目前生物急毒性尚未全部納入科學園區納管法規，台積電在環保的議題始終不遺餘力地提出新的觀點、創新的改善方法，讓環境變得更美好，生物急毒性便是值得付出...

按讚

0

點閱 (64)

2020.9, Vol.39 / 技術專文

Analysis and prevention IPA sources in clean room environment

半導體製程無塵室環境IPA來源分析與防治

文 | 張書豪 | 池健誠 | 中科廠務一部 |

隨著製成世代的進步，半導體晶圓製程的線徑也越來越小，但化學品使用量卻越來越多種多樣，本文著重於有使用異丙醇(IPA)的機台其IPA的洩漏改善，由作業觀察到設備的改善活動CIT(Continual Improvement ...

按讚

0

點閱 (36)

2020.7, Vol.37 / 技術專文

Study on Strategy of Assignment for New Fab Facility Manager

新廠廠務主管派任策略

文 | 彭榮晃 | 南科廠務七部 |

台積電在先進製程居於世界領導地位，除了研發能力是關鍵因素，能快速將新廠區導入運轉生產也是獲利的重要關鍵。本文目的是研究新廠廠務主管如何藉由知識延續發展之派任策略，將研發廠區之成果，順利轉移到新廠廠務組織。...

按讚

0

點閱 (47)

2019.9, Vol.35 / 技術專文

RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber

中央洗滌塔排水回收再利用改善空污排放

文 | 楓祥儀 | 陳聖偉 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |

半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

按讚

0

點閱 (104)

2019.06, Vol.34 / 技術專文

Active Defense Enhancement of Uninterrupted Power System (UPS)

機台不斷電系統主動防禦強化

文 | 楊智翔 | 賴建翔 | 中科廠務三部 |

隨著製程不斷演進，新廠機台所使用之不斷電系統(UPS)數量亦越來越多，然UPS內部使用之元件有著各種不同的故障模式，若能早期發現甚至預防，將能有效降低對生產之影響。本文藉年保時發現：1.電解電容漏液溢出至下方IGB...

按讚

1

2

點閱 (82)

2019.06, Vol.34 / 技術專文

Preventive Detection Mechanism for Attenuation of Direct Current Capacitor in Variable - frequency Drive

變頻器直流電容衰減預防檢測機制

文 | 陳弘毅 | 中科廠務一部 |

本文針對已在線上運轉之變頻器，並本身無設計直流電容端電壓與電流偵測之系統，提出不停機即可初篩內部直流電容是否失效之方法。利用直流電容端點的引出，即可線上量測漣波電壓比值，進而反映串聯電容兩端之電容比值。由漣波電壓之...

按讚

0

點閱 (62)

2018.3, Vol.29 / 技術專文

Selection of Series Reactors for AC-Capacitor-Filter Set on Low-Voltage Level and Operating Experience

交流低壓電容盤電抗器的選用與運轉經驗

文 | 廖日能 | 陳信任 | 中科廠務一部 |

為落實高科技廠房節能減碳之目標，廠內UPS運轉皆採節能模式，下游負載諧波可直接流回系統導致諧波增高，如何治理系統諧波成為廠務一項重要課題。本文目標主要針對被動式濾波器4.04%和6.06%(交流低壓電容盤)進行諧波...

按讚

0

點閱 (191)

2018.3, Vol.29 / 技術專文

Power Factor Management of Advanced IC Fab

談先進製程廠房電力系統功因管理

文 | 黃舜鴻 | 竹科廠務二部 |

功率因數為交流電力系統之特有物理量，為有效功率與視在功率的比值，此物理量為整體系統效率及無效電力量(Q)的重要指標，因此需加以掌握功率因數的原因。由於台電於105年4月實施修正後的電費抵減之相關規定，功率因數大於9...

按讚

0

點閱 (122)

文章分類

熱門關鍵詞