TSMC 廠務季刊

2024.03, Vol.53 / 技術專文

From Green Building to Zero Carbon Building

從綠建築到零碳建築

文 | 孫旭輝 | 新廠工程處 |

綠建築從英國建築研究所1990 年發展至今，已經歷了30 多年，1996 年美國綠建築協會的大力推展，台灣從1999 年開始推動綠建築標章制度，成為全世界第四個推動的綠建築評估系統，將綠建築逐步推展至巔峰。截至今年...

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2024.03, Vol.53 / 技術專文

Biodiversity Management-Habitat Creation and Management of Fireflies

生物多樣性的經營-螢火蟲的棲地營造與管理

文 | 張采依 | 凃佩君 | 公共設施服務部 |

在都市環境與科技廠區中營造自然生態環境為生態與科技共存的重要元素之一。其中螢火蟲為評估生態系統健康的可靠指標物種，也在生態食物網中扮演重要角色，故台積廠區以復育螢火蟲作為生物多樣性經營。依據螢火蟲幼蟲的生活環境氛圍...

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2024.03, Vol.53 / 技術專文

Plant a Tree Program of TSMC

自然永續的儲碳力-台積電植樹薪傳計畫

文 | 張采依 | 凃佩君 | 公共設施服務部 |

以企業的角度而言，為響應國際淨零碳排倡議趨勢，投入造林資源其成果是最受歡迎、較容易且可量化的減碳作為。而台積公司早先於政府公布淨零轉型之前，於2021年啟動植樹薪傳計畫，積極與政府及供應商合作，已在桃園市、新竹市、...

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2024.03, Vol.53 / 技術專文

The restoration of close-to-nature forest at Fab 15B

近自然林復育

文 | 陳禹安 | 公共設施服務部 |

台積公司晶圓十五B廠緊鄰生態資源豐富的台中都會公園，為確保生態系統的永續使用及維持生物多樣性，在廠區興建初期即攜手在地的國立中興大學森林學系，運用近自然林的生態復育理論，推動廠區森林經營與大肚山稀有物種的生態復育計...

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2024.03, Vol.53 / 技術專文

Zero Waste Manufacturing Center Operation and Management

零廢製造中心運作與管理

文 | 蔡宜安 | AZ-FAC | 廖奕翔 | 台中零廢中心 |

台積公司在產能上升及製程持續演進下、廢棄物產出量亦同步攀升，為解決廢棄物處理問題，台積公司以「生態化工業區」的構想於2021年首先啟動興建台中零廢製造中心(Taichung Zero Waste Manufactu...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Establishment of ammonium sulfate drying system and air pollution control technology

循環經濟_硫酸銨乾燥系統設立與空污防治技術

文 | 高舶格 | 台南廠務四部 |

隨著產能及研發規模持續擴充，台積公司採取「廢棄物產出最小化，資源循環使用最大化」的廢棄物管理方針。其中，針對廢硫酸及氨氮廢水，繼民國104年成功轉製為可委外再利用的硫酸銨廢液；台積公司再次領先業界、進一步導入「機械...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Transfer Waste High Concentration HF to A Highly Value Product, Cryolite

點氟成晶-廢氫氟酸轉製成正價值冰晶石

文 | 林佑勳 | 台中廠務四部 |

廠務持續推動循環經濟，致力將製程產生的廢棄資源再製為異業可使用的產品，隨著先進製程的演進(N7~)，需蝕刻及清潔的次數增加，導致氫氟酸需求量大幅上升，也增加了氫氟酸的廢液量，預估2025年將達6,927噸/月，佔全...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文

Eco-Industrial Parks(EIP)-The Planning, Design, and Challenge for Taichung Zero Waste Manufacturing Center

台中零廢製造中心設計規劃實務

文 | 鄭凱倫 | 台中廠務處 |

台積電產能持續擴充，廢棄物產出量亦同步攀升，如公司ESG報告所揭露委外廢棄物總量由2016年約30萬噸/年，至2020年已增長至55萬噸/年的水準，依公司產能規劃預估至2025年廢棄物委外將高達100萬噸/年以上。...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Chiller Refrigeration Cycle Anomaly Detection with Machine Learning methodology and operation

機械學習診斷冰機冷媒系統方法與實例

文 | 蔡昆憲 | 廠務數位發展部 | 鄭凱元 | 十四廠暨廠務自動化整合部 | 謝子宸 | 十四廠暨廠務自動化整合部 |

本案為廠務數位發展與廠務CIM合作為台積電廠務首度成功推廣至全公司使用機器學習方法達到超越專家能力的異常偵測系統。主要應用於缺乏代表性感測元件的冰機冷媒密閉迴路，在不額外增加廠務工程與維護成本條件下，藉由現有資訊進...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文

An Annoying Operation Problem : Regulator Clog in B2H6 Gas Cabinet -Root Cause Investigation and Possible Solution Evaluation

惱人的運轉問題 : B2H6氣櫃調壓閥阻塞-原因探討與解決方法評估

文 | 劉俊男 | 林郁賢 | 蔣竣光 | 林安助 | 台中廠務四部 |

5% B2H6/Ar氣櫃調壓閥受到B2H6粉末狀副產物阻塞，為一項常見且擾人的運轉問題。經文獻探與過去的經驗顯示副產物粉末可能來自於...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文

The Planning, Design, and Strategies

for Tai-Chung Zero Waste Manufacturing Center

文 | 張瑄 | 台中廠務處 |

To overcome the challenges of climate changes, limited resources, and population growth, TSMC has committed co...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文

Part-II of UPS ECO Mode(New Concept for UPS Energy Saving Enhanced)

UPS ECO節能第二部曲(效率提升新構想)

文 | 郭俊毅 | 王正宇 | 張鈞惠 | 中科廠務三部 |

本文在不變更UPS硬體架構下，將Delta DPM UPS在ECO模式下效率再提升的新構想。在ECO模式下分別將DPM 450kVA、825kVA UPS關閉一組及兩組整流器不使用，能有效的減少UPS待機下電力損耗。由U...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文

The assessment of combining stripping application for IPA wastewater improvement and VOCs waste-heat recovery

以氣提法進行IPA廢水改善評估與VOC廢熱回收展望

文 | 李明曄 | 竹科廠務一部 | 何顯利 | 新廠設計部 |

半導體製程在晶圓清洗及乾燥程序中使用大量的異丙醇(IPA)，因其有機溶劑揮發特性及製程排放廢水衍生丙酮，對各廠區空水污影響甚鉅。半導體廠房因次級用水之回收水量與水質需求，常見以RO膜進行廢水濃縮精煉處理，但經過精煉而產出...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data

大數據分析冰水供應系統操作參數最佳化設定

文 | 吳孝修 | 蔡宗原 | 竹科廠務二部 |

近年來廠務系統上的訊號源已收集至資料庫內，但這些資料以往只針對系統供應品質上去分析，鮮少對系統優化或者是節能運轉去探討，本專案採用i-EDA2 / SAS數據分析軟體，將冰水供應系統最佳壓力設定進行調整，此調整基準...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Dynamic Intelligence Strategy of Industry 3.5 Chiller System

工業 3.5 冰機系統動態智能決策

文 | 鄭凱元 | 南科廠務三部 | 陳亮至 | 南科廠務三部 | 蔡昆憲 | 智能廠務管理課 |

本文應用台灣簡禎富教授工業3.5策略於中央空調品質強化(冰水主機、冰水泵、熱回收系統)，描述機器學習廠務落地應用流程；提升系統預測能力(降低預測誤差81%)。更精準的預測引導出更好的決策。如同純手動車輛進步到半自動...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文

Establish TSMC Ecological Management Objectives and Development Roadmap

建構台積電生態環境管理目標與發展藍圖

文 | 鍾振武 | 公共設施服務部 |

本研究旨在探討如何建構台積電生態環境管理目標，並藉由動態式管理手法將短、中、長期的工作計畫轉化為台積電生態環境發展藍圖。透過國內外文獻回顧整理，擬定台積電生態環境管理5大目標及其30個關鍵因子，以問卷深度訪談40位...

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