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2023.09, Vol.51 / 技術專文
Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area
成廠區有限空間的空污防治設備建置對策
文 | 曾柏凱 | 新竹廠務二部 |
隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前述，提出ESG 2050年淨零排放目標，老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難，更是有不同種類排氣風管串接混...

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點閱 (19)
2023.06, Vol.50 / 技術專文
The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency
發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討
文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |
近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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點閱 (43)
2022.12, Vol.48 / 技術專文
Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up
因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法
文 | 林志剛 | 台南廠務九部 |
近年新廠快速擴展，於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06)，平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊，整體工期需較以往縮減6~9個月，主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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點閱 (31)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
LSC Switching valve Risk Management and Intelligent Application
LSC切閥風險管理及智能化應用
文 | 林欣駿 | 台中廠務三部 | 林俊億 | 台中廠務三部 |
隨著台積製程演進與空污改善需求的增加，工廠內的廢氣處理設備(Local Scrubber, LSC)切閥次數也更加頻繁，其各廠區LSC切閥異常的案件及影響機台生產的品質也不斷的攀升。為了避免各廠區人員切閥異常造成的...

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點閱 (24)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC
智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統
文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |
300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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點閱 (25)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
Modularized Handover Management Method for New FAB Certification and Acceptance
新建廠認證驗收模組化移交管理方法
文 | 林文榮 | 台南廠務六部 |
因應新世代製程演進及消費市場的強烈需求，公司新建廠房頻繁已成為這幾年來的常態。為了能更快速進入生產模式，相對的新廠房如何在最短時程進入運轉生產已成為必然之趨勢。新建廠專案分成以下四個主要階段：設計規劃→監...

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點閱 (83)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
Discussion on The Development Roadmap of Facility Laboratory
探討廠務實驗室發展藍圖
文 | 吳連芳 | 廠務技術發展部 |
在半導體工廠裡廠務扮演極重要的角色，來自供應商的原物料(水、化學品、研磨液、氣體、空氣)，都需經由廠務系統供應至生產線，使用後的廢水、廢酸、廢氣，又須經由廠務系統處理。面對日益精密的製程，廠務系統的品質也必須不斷提...

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點閱 (58)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
The Development and the Future Strategy of Smart Facility
廠務智慧化進展與未來發展策略
文 | 林安祺 | 廠務技術發展部 |
從德國政府提出工業4.0高科技計劃開始，智慧工廠、智慧製造成為各國最近幾年來最耳熟能詳的口號與發展目標，各大公司無不調整內部發展策略，以期在技術與組織發展能夠跟上這一波科技發展潮流，提升競爭力並達成永續經營方針。隨...

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點閱 (59)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
FMCS Development Plan for Stable Operation and Advance Deployment
邁向穩定運轉之FMCS發展計劃
文 | 劉佳芳 | 新竹廠務處 | 王明富 | 台中廠務處 | 陳民凱 | 台南廠務處 | 邱宇萱 | 新竹廠務處 |
全世界的智慧化的發展如第五代通訊系統、物聯網系統、去中心化區塊鍊系統、自動駕駛汽車、人工智慧及未來線上與線下串聯的元宇宙的發展趨勢，台積電所產生的晶片為以上系統的基礎建設，所以台積電的規模隨著智慧化與高速運算發展不...

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點閱 (50)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
The Problem Solving Method for Faclity Interruption Event.
廠務系統供應中斷問題解決方法
文 | 劉佳芳 | 竹科儀控系統課 |
隨著半導體製程不斷演進與製程複雜、及高科技產品快速地推陳出新 ，晶圓的價值也持續攀高，及必須快速生產推向市場，一但廠務供應中斷影響生產，或是廠務排放品質異常導致環保問題，除了工廠大範圍運作受影響，公司信譽與形象也會受負面...

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點閱 (37)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
User Requirements–based Information Integration Platform for Facility Management
使用需求導向資訊整合平台–以廠務開關門十件事為例
文 | 吳智瑋 | 新廠規劃部 | 賴意中 | 新廠規劃部 |
近年來隨著廠務組織合併/調整與運轉管理持續精進，舊有廠務值班與品質管理資訊整合平台已漸漸不符使用。存在的問題包含資訊整合廣度不足，且散落在不同的資訊系統、廠內運轉狀況的彙整與呈現不夠即時等。為了提升廠務運轉管理的效率，本...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文
OneFAC Benefit Accessing and Future Development
OneFAC效益評估及未來發展對策
文 | 黃昭文 | 竹科廠務一部 |
本文由廠務組織的合併規劃開始，構思OneFAC平台開發的目標設定與規劃，說明OneFAC平台開發的五大主要功能，藉由OneFAC管理人員與使用者的實際操作討論，持續進行系統改版與功能擴充，最後進行使用效益評估，藉由使用者...

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點閱 (136)
2020.7, Vol.37 / 技術專文
The Roadmap of Facility Quality Development in Advanced Packaging
先進封裝廠務品質發展藍圖
文 | 張俊鴻 | 廠務處 |
隨著半導體製程趨近物理極限，先進封裝成為讓摩爾定律在未來持續進展的解決方案。 2016年台積電開發扇出型封裝為客戶生產封裝新一代處理器，確立產業先行者地位，但先進封裝廠務品質並無類似半導體技術發展藍圖(ITRS)可供參考...

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點閱 (91)
2020.7, Vol.37 / 技術專文
Study on Strategy of Assignment for New Fab Facility Manager
新廠廠務主管派任策略
文 | 彭榮晃 | 南科廠務七部 |
台積電在先進製程居於世界領導地位，除了研發能力是關鍵因素，能快速將新廠區導入運轉生產也是獲利的重要關鍵。本文目的是研究新廠廠務主管如何藉由知識延續發展之派任策略，將研發廠區之成果，順利轉移到新廠廠務組織。...

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點閱 (47)
2020.7, Vol.37 / 技術專文
Study on Facility Organization and Operation Methodology in RD FAB
論研發廠廠務組織的規劃與運作模式
文 | 尤國男 | 竹科廠務五部 |
廠務組織承擔工廠永續營運的基礎，設計規劃新廠區並為公司提供穩定和維護良好 的運營環境。其中研發廠廠務總是在新製程開發階段與RD組織密切合作，一方面參 與製程問題改善，另一方面解決新製程衍生的空污、水污問題等。同時把這些累...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
The Development Roadmap of Environmental Facility for Advanced Semiconductor Operations
先進半導體廠房環保設施發展藍圖
文 | 李明利 | 新廠設計部 |
本研究旨在探討未來先進半導體廠房環保設施發展藍圖，先從文獻回顧過去世界半導體業的環保設施發展方向，從中汲取未來可能需持續改善的重點。再從檢討目前半導體廠房在空氣及放流水的防治方法，伴隨製程發展的演進及環保法令要求趨...

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