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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Optimization of Hydrogen Peroxide Concentration Measurement in Slurry Supply System
化學研磨液供應系統H2O2濃度測量優化
文 | 潘明楷 | 台中廠務二部 |
本篇文章介紹氣化系統在面對新世代製程的需求下，對化學研磨液線上雙氧水濃度測量穩定性的改善。文章針對自動滴定儀(ATRS)的三大儀器架構進行改良，包括取樣元件、滴定元件和反應槽各自的缺點。
經過實驗討論...

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點閱 (28)
2023.12, Vol.52 / 技術專文
Management of chemical supply backup system
化學品供酸系統備援機制管理
文 | 郭泓志 | 台南廠務三部 |
聯通管路長時間靜置於化學品中，伴隨著不純物析出等品質風險，因此為確保緊急開啟聯通管路供應時不造成品質的異常，本文藉ICPMS及 particle counter數據解析聯通管路內化學品品質，最終透過化學品的flus...

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點閱 (38)
2023.03, Vol.49 / 技術專文
The Management of Valve Manifold Panel (VMP) & cylinder locks for gas
氣體VMP & 鋼瓶鎖固優化管理
文 | 陳育祥 | 詹育智 | 廠務技術發展部 |
事前預防，減少洩漏事故，是避免造成重大財產和人員傷亡的必要條件。本文將以先期 VMP與高壓氫氣體洩漏案件出發，藉由實地至和淞科技股份有限公司(Taiwan Puritic Corp, TPC)抽驗墊片(包括廠驗、現...

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點閱 (26)
2022.12, Vol.48 / 技術專文
Innovative management of Chemical Filters-Pre-clean and Transferred
化學品濾心創新管理-預洗與活體移植
文 | 梁高維 | 廠務 | 羅立偉 | 亞太廠務處 |
半導體製程的快速演進，高純度化學品供應面臨嚴苛挑戰，廠務系統定時保養更換系統耗材或配件影響風險較高，每一次的更換，除了要維持金屬及不純物含量的品質監控，如何快速達成必然成為廠務義不容辭的課題，本文以經常性更換之濾心(Fi...

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點閱 (78)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Exploration and Application of Autonomous air pollution detection in Nanjing Factory
南京廠空污自主檢測的探索與應用
文 | 張波 | 南京廠務部 |
環境問題已然成為當今全球最重視的話題之一，隨著半導體行業的飛速發展，人們也越來越重視該行業廢氣排放的研究與改善，但受限於在綫監測儀器的分佈率及成本，實驗手動檢測仍然是空污改善最常用的量測手段。因此南京厰建立廠內空污檢測實...

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點閱 (41)
2021.12, Vol.44 / 技術專文
Prevention of chemical filter contamination
化學系統濾心污染防治
文 | 羅立偉 | 日本新廠專案 | 鍾易龍 | 新廠設計部 | 梁高維 | 台南廠務七部 |
隨先進製程技術不斷推進，化學供應品質也面臨挑戰，偵測品質標準中的金屬含量及含不純物成為製程關鍵。既往影響產線供應品質汙染源，以原物料及耗材供應商製造與包裝品質異常之案例為甚，又以定時保養更換系統耗材或配件影響風險較...

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點閱 (71)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
Power Load Management in Mass Production Fab
量產廠電力負載管理策略
文 | 吳明哲 | 台中廠務三部 |
隨著半導體廠產值快速提升，單一廠區用電規模有著跳耀式成長，公司300mm新廠單一phase用電量已超過200mm舊廠全廠用電3倍有餘，在龐大電力品質管理挑戰下，如何將用電資訊以更聰明有效方法掌握負載變異風險及用電趨...

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點閱 (83)
2021.6, Vol.42 / 技術專文
Management and Improvement methods of Power Quality in RD Fab
RD Fab電力品質管理與精進策略
文 | 曾煥堯 | 林航均 | 竹科廠務三部 |
近年來由於電力電子技術快速發展，不斷電系統、變頻器等非線性負載設備廣泛應用於現代科技廠房，由於此類非線性負載設備所產生的諧波電流，會反饋回電力系統，將造成電力系統電壓電流波形畸變、失真，影響電力品質，導致電力設備如變壓器...

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點閱 (38)
2021.03, Vol.41 / 技術專文
Quick Guide to Engineering Quality Management
工程品質管理快速指南
文 | 謝冠章 | 新廠工程管理部 | 黃煒添 | 新廠工程管理部 |
「品質管理」（Quality Management）是一個遵循PDCA不斷循環往設定的品質目標前進的過程；且應在每一次就落實程序做好、做對，並將其量化與清楚列出，透過檢查、量測或測試，確認是否符合規範標準。品質管理三大過...

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點閱 (106)
2021.03, Vol.41 / 技術專文
Precast Beam-Column-Plate manufacturing assembly and quality inspection practice
預鑄樑柱板製造/組立及品質查驗實務
文 | 賴明孝 | 新廠工程管理部 | 蘇怡先 | 潤弘精密工程事業股份有限公司 |
隨著社會發展，勞力短缺且薪資高漲，傳統需要大量勞力的廠房建築鋼筋混凝土構造工程，就是由工人在工地現場灌漿、綁鋼筋、灌水泥等，並且會因為天氣、設備、甚至是施工者的心情、身體狀況等，出現品質不容易控管的情況，此外對節能、資源...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Comprehend the characteristics of material and enhance the quality of mixing chemical
掌握原物料特性–精進CR168混酸品質
文 | 李家逢 | 黃玄根 | 南科廠務2廠務二部 |
黃光微影製程為半導體製造技術之瓶頸，主要在於現代科技的進步導致線寬的縮限，為了提高晶圓產能及良率，廠區對於原物料供應品質尤其要求。然而許多原物料也因應製程需求添加額外成分(例如 : CR168界面活性劑)連帶影響本身化學...

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2020.12, Vol.40 / 新象新知
Special gas rapid quality detection system
特殊氣體品質快篩系統
文 | 黃介然 | 王義信 | 新廠設計部 |
半導體先進製程不斷提升下，面臨著如何確保氣體品質以提高產品良率與降低製程成本等問題。針對快篩檢驗鋼瓶氣體品質開發特殊氣體品質快篩系統(Special Gas Rapid Quality Detection System)...

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點閱 (108)
2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Supply Parameter Change Management
落實廠務全面品質管理的關鍵議題–廠務變更管理
文 | 邱保仁 | 竹科儀控系統課 |
在晶圓廠中廠務系統所扮演的角色是提供穩定、有品質的物料(SDS、CDS、 GAS)供機台設備製造晶圓使用；因此，提供穩定而有品質的物料是廠務永遠追求的目標，而關鍵點就在於系統機台的參數設定，參數的設定失真會影響到物料的輸...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Facility Systems Supply Quality Management
廠務系統穩定運轉–廠務供應品質
文 | 陳恩德 | 竹科儀控系統課 |
現今晶圓生產、及機台運作需要穩定及高品質的電力、空調、水處理、及氣體與或化學品供應，越高階製程所需要的廠務供應品質要求越高。目前廠務品質管理分為In-line/Off-line不同指標，本文探討廠務既有品質管理是否與Fa...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
The basis for stable operation–People management
穩定運轉的基礎–人員管理
文 | 詹立得 | 南科儀控系統二課 |
有效的人員管理機制是提升廠務運轉穩定不可或缺的要素，針對工作的執行性質不同多年來已發展出許多的管理方法，諸如高度風險工程管理、特殊作業許可證等管理辦法，本文就針對人員管理與廠務運轉穩定度的相關性深入討論，找出現階段廠務運...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Facility Systems Operation Stability–Engineering Management
廠務系統穩定運轉–施工管理
文 | 吳柏葳 | 南科智能廠務管理課 |
伴隨著半導體製程的演進，相關所需的工程包含建廠、改機、擴充、移機及拆機等大大小小的工程是廠務團隊每天都要面對的，如何在維持廠務系統正常穩定運轉條件下，管理好施工人員的安全與施工品質一直是廠務重要的課題之一。本文將提出一平...

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