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特殊技術 Special Technology 27 最新文章 熱門文章 按讚數
2018.12, Vol.32 / 技術專文
Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid
廢硫酸去除雙氧水系統 安全防護提升
文 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 | 劉明翰 | 十四B廠工安衛生部 | 唐祺夏 | 十八廠 | 劉柏青 | 南科廠務五部 | 蕭千城 | 南科廠務五部 | 吳厚萱 | 中科廠務五部 |
本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Remediation of Soil Pollution in Semiconductor Facility
半導體廠房土壤污染整治
文 | 陳人滎 | 林裕聰 | 先進封裝工安衛生部 |
台積電先進封測三廠為公司首次跨產業、坐落桃園市並與合作客戶收購廠房，進行土地移轉時，依法應提供土壤污染檢測資料，執行全廠區及重點區細部土壤檢測。經XRF篩測後發現，碼頭區受重金屬鉻、汞、鎳污染，且污染集中於 1 公...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Safety Management for EUV Tool
超紫外光機台 全方位安全管理
文 | 曾威霖 | 十二廠工安環保一部 |
超紫外光(EUV)為半導體製程持續微縮並延續摩爾定律(Moore's law)的新世代微影技術，亦是台積公司能持續保持先進製程技術領先的關鍵設備，EUV造價昂貴且使用大量具極度易燃特性的氫氣(Hydroge...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
文 | 吳昆桂 | 六廠工安環保部 | 連唯盛 | 十五B 廠工安環保部 |
南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...

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2018.12, Vol.32 / 新象新知
The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries
高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略
文 | 蔡朋枝 | 國立成功大學醫學院工業衛生學科暨環境醫學研究所 |
高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多，其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準，而具容許濃度也有可能無建議採樣方法，且環測數據多為未檢出，因而在技術、經費與人力需求上，無法單純使用作業環境監測來解決。如...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake
六級強震巨災應變對策
文 | 盧宣任 | 十四A 廠工安環保部 |
地震為發生機率高且不易預測之天災，近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震；且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷)，因此如何面對這麼巨大的天然災害，並於第一時間做好緊急應變，固守人員安全並快速回復...

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2013.9, Vol.11 / 技術專文
Design and Installation for Anti-vibration Bases
隔振基座設計及安裝
文 | 趙樹華 | 工程品質暨安全管理部 |
廠務系統如排氣（Exhaust）、製程冷卻水（PCW）、廢水（WWT）及超純水（UPW）中的轉動設備(主動振源)及其相對應之管線(被動振源)為廠房中的主要振動來源，因此有效控制廠務設備因機器振動傳遞到地面的振動力，...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文
The Protection Strategies of Electromagnetic Interference and Electrostatic Discharge in Advanced Semiconductor Fabs
先進半導體廠電磁干擾與靜電放電之防護策略
文 | 歐人華 | 中科廠務三部 |
本文主要探討在先進半導體廠，電磁干擾與靜電放電對生產的影響，及如何採取合適的防護策略；在電磁干擾部份，將由電磁波、電磁場切入，說明「游離輻射」與「非游離輻射」差異，而在電磁波的防制與改善上，將提出「被動式屏蔽」及「主動式...

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2011.4, Vol.02 / 技術專文
A Ditopic Fluorescent Sensor for Potassium Fluoride
偵測氟化鉀之雙目標螢光感測器之研究
文 | 陳虹瑤 | 台灣大學環境工程系 | 許明皓 | 台灣大學環境工程系 | 吳怡亭 | 國立台灣大學化學工程系 | 林語騰 | 國立台灣大學土木工程系 | 黃正吉 | TSMC 製造技術中心 | 張陸滿 | 國立台灣大學土木工程系 | 林郁真 | 台灣大學環境工程系 | 林正芳 | 台灣大學環境工程系 |
添加的氟化鉀(KF)“接通”螢光感測器1 與感測器2，但添加氯化鉀(KCl) 和溴化鉀(KBr) 在螢光感測器 1 與感測器2 中卻無螢光反應。螢光反應同時也可以“關閉&rdqu...

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金筆獎入圍
2011.4, Vol.02 / 特別企劃
EMI (Electromagnetic interference) Measurement and Improvement in Cleanroom – taking F12P4/P5 as an example
無塵室的EMI量測與汙染 - 以F12P4/P5為例
文 | 于淳 | 研究專案部 |
在現今高科技的廠房，一定會使用到需要電壓電流來操作的大量電機電子式機台，其內是由許多電子元件或感測器來控制機台作業，因此機台不可避免地就會受到電磁干擾EMI (EMI：electromagnetic interfe...

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2011.4, Vol.02 / 技術專文
Microseismic Spring Wafer Wagon Design for Vibration Improvement
創新型微震彈簧推車研發設計及震動改善
文 | 張智能 | 徐岳聖 | 黃俊銘 | 蕭博戎 | 唐炳順 | 朱良堃 | 三廠廠務部 |
針對本廠既有推車做不同類型參數實驗，包括孔洞板、實心地板、軟硬彈簧等震動試驗，以研究在各種不同的參數實驗下，推車於運送POD過程中分析Wafer震動及Wafer Notch旋轉偏移等問題做深入之探討。本研究分成實驗...

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2012.1, Vol.05 / 技術專文
Facility Seismic Design
設備的地震力設計考量
文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 |
本文主要在探討機電附屬設備地震力設計的法範與TSMC的設備耐震規範。一般而言，在建築物的使用期間，遭遇一次強烈地震使得主體結構損壞的機率可能只有2%，但是攸關半導體廠房機能的廠務與製程設備，卻可能在一次五到十年回歸...

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2012.4, Vol.06 / 技術專文
Floor Vibration Assessment
樓板振動評估
文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |
The floor vibration control is very important not only to High-Tech manufacturing factory but also to other...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文
Explosion Simulation of Hydrogen Released from the Massive EPI Processes
大量EPI製程氫氣洩漏爆炸後果模擬分析
文 | 洪文當 | 工程品質暨安全管理部 | 黃建彰 | 財團法人安全衛生技術中心 |
EPI 製程使用大量氫氣已經在國內外造成一些事故，因為製程需求，新建廠需規劃大量EPI機台，新工處與財團法人安全衛生技術中心共同合作，希望針對製程設備以定性及定量方式進行風險評估。此外，以CFD電腦模擬方式定性模擬...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文
Nanoparticle Contaminants Measuring and Source Tracking Syst
奈米粒子捕捉技術介紹
文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |
A new nanoparticle detecting and tracking system has been proposed to measure nanoparticle contamination an...

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2012.1, Vol.05 / 技術專文
Introduction of LED, the Core Device of Solid State Lighting
淺介固態照明的核心元件：發光二極體(LED)
文 | 夏興國 | 台積固態照明磊晶研發處 |
固態照明已成今日綠產業之重心，而其中以發光二極體為整體技術之核心元件。 本文則試從技術發展史之觀點，基礎原理之說明，與基本製程之介紹來看此一核心技術。...

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