TSMC 廠務季刊

2013.9, Vol.11 / 新象新知

BIPV Applications in Building Exterior

太陽能模組於建築上之整合與應用

文 | 鄭傑中 | 台積太陽能 | 蔡光宇 | 台積太陽能 |

太陽能發電是未來能源發展的重要策略之一，以目前的太陽能模組製造技術，要達到一定規模發電量所需土地面積是需要某種程度的大小。建築整合太陽能（Building Integrated Photovoltaic, BIPV...

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金筆獎入圍

2013.6, Vol.10 / 技術專文

Real Time Monitoring System for Low Frequency Magnetic Field in Semiconductor Fabs

低頻磁場即時監測系統於半導體廠房的應用

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

半導體廠房內到處都充斥著電磁波，為使機台彼此不受電磁波干擾而能正常作業，就必須作好半導體廠房的電磁波管理，第一步先要建立即時電磁波監測系統，本文探討即時電磁波監測系統所需的感測器要求、即時電磁波監測系統建立的方式，...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Signal Processing and Spectral Analysis

訊號處理及頻譜分析

文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |

The signal processing is the fundamental to deal with digital signal data, such as vibration or earthquake ...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Nanoparticle Contaminants Measuring and Source Tracking Syst

奈米粒子捕捉技術介紹

文 | 郭啟文 | 廠務技術發展專案 |

A new nanoparticle detecting and tracking system has been proposed to measure nanoparticle contamination an...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Performance-based Design of Smoke Removal in Cleanroom

無塵室性能式煙控設計

文 | 邱民昇 | 新廠設計部 |

無塵室內性能式煙控設計，係整合環境特性、氣流控制系統與排煙系統而成的煙控系統；以高程差環境建構出蓄煙井，調節氣流建構壓差環境，再配合終端之排煙設備將煙塵排至室外，達到煙控目的。性能式煙控經過驗證後，即可突破消防規章...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Advanced Chemical and Slurry Supply with Particle Control

先進半導體廠化學品供應系統及微粒子控制

文 | 徐銘宗 | 新廠設計部 | 江宜蓁 | 十二B 廠廠務工程專案 | 謝欣容 | 十二B 廠廠務工程專案 |

本文將討論半導體廠化學品及化學研磨液供應系統微粒子控制的設計和改進的方向以及未來的晶圓廠化學品及化學研磨液供應系統新挑戰。其次，研究化學研磨液顆粒大小和穩定性，以管理研磨液使用時間、減少缺陷，特別是大顆粒粒子（LP...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

Biomimetics─ Self-cleaning of AAS Fan

仿生科技 - 製程排氣處理風扇自潔技術

文 | 陳政安 | 新廠設計部 | 錢立行 | 十二廠廠務一部 |

仿生學，一種透過觀察、研究、學習之後，將自然界中生物的各種特殊本領，包括生物本身的特殊結構、原理、行為，甚至是各種器官功能、體內的物理和化學過程、能量的供給、記憶與傳遞等應用於人類的科學技術，提供新的設計概念的技術...

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2013.6, Vol.10 / 新象新知

DCS Electronic Marshalling for Semiconductor

DCS設計躍進 - 電子錯線

文 | 李文振 | 新廠設計部 |

程控系統近來為了滿足客戶的需求，發展出一種創新的電子佈線技術(Electronic Marshalling Technology)，此技術簡化了現場設備與自動化控制系統間繁瑣的工程規劃工作、增加系統變更及擴充彈性並...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Performance-based Design and Safety Monitoring of Hi-Tech Fabs

科技廠房之性能設計與安全監測

文 | 王彥博 | 國立交通大學土木工程系 |

本文主要探討科技廠房的震害原因，提出科技廠房耐震設計的策略，並介紹結構健康監測的概念與願景，盼能將這些具有實用價值的研究成果從state-of-the-art 推向state-of-the-practice之境界，...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Office Planning

辦公室規劃

文 | 賴敏政 | 新廠規劃部 |

辦公室規劃的複雜程度與使用人數的多寡最為直接，如何將複雜的使用行為，透過空間計畫程序及方法，進而提供一個健康舒適的環境，提高工作與溝通效率，增進辦公社區的服務品質，是本文介紹的重點。...

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2013.3, Vol.09 / 新象新知

450mm Development and Challenge

十八吋晶圓發展現況

文 | 鄭昭平 | 新廠規劃部 |

半導體晶圓廠對18吋晶圓的需求，如同過去8吋轉到12吋一樣，原因很簡單，就是為了降低成本，以能繼續維持競爭力並得以生存。去年(2012)是相當重要的一年，全球推動18吋晶圓之相關組織陸續成立，其組成結合了產學界組織...

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2013.3, Vol.09 / 新象新知

Introduction of AutoCAD WS, an Efficient and Cloud-based CAD Editor

高效多元 - AutoCAD WS雲端圖檔多方快顯介紹

文 | 呂宛諭 | 曾文吟 | 新廠規劃部 |

無論在工地套圖或是現場核對圖面，在各種的設計中，都需要一個有效率又快速的整合推廣平台，若利用AutoCAD WS雲端圖檔多方快顯(a cloud-based CAD Editor of AutoCAD WS)的方式...

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金筆獎入圍

2012.10, Vol.08 / 特別企劃

Property Management on Healthy Office Management

物業管理之健康辦公室環境管理

文 | 胡佩青 | 公共設施服務部 |

物業管理就是所有與建築物使用有關業務之管理活動，其目的在使建物使用者擁有清潔、健康、舒適、方便並兼顧自然環境保育之生活空間。公共設施服務部(PUSD)從物業管理的經營範疇與建築物的修繕管理實務經驗，讓使用者瞭解健康...

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2012.10, Vol.08 / 特別企劃

Study of Office Curtain Design by Post Occupancy Evaluation

辦公區窗簾使用後評估研究

文 | 彭如秀 | 王奕婷 | 公共設施服務部 |

公共設施服務部(PUSD)為了探討辦公室「窗簾」對於使用者需求、行為與建築設計間的關係，我們選擇透過使用後評估(Post-Occupancy Evaluation, 簡稱POE)方法，藉由訪問、問卷調查與實地觀察來...

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2012.10, Vol.08 / 特別企劃

Study of Office Lighting Performance by Post Occupancy Evaluation

辦公室照明環境品質之研究

文 | 林彰明 | 李柏璁 | 鍾欽廊 | 公共設施服務部 |

辦公室照明經過多年使用，一方面因為原始燈具已經衰減、新的燈具有較高的能源應用效率，另一方面，辦公人員對於光環境有心理及生理偏好，其意見可做為改善工作環境之參考。公共設施服務部(PUSD)透過使用後評估(Post-O...

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2012.10, Vol.08 / 技術專文

Nano Particle Control in Facility Design

奈米粒子與防治技術運用於廠務設計

文 | 郭啟文 | 新廠設計部 |

由於製程技術的演進，積體電路線徑一路由65nm、45nm往28nm、22nm向下探伸，持續往16nm甚至更細微的尺寸發展。奈米粒子除了在物理性質與化學性質上，與巨積單元體有顯著差異，成為材料科學的熱門研究領域之外，...

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