Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...
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Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake
六級強震巨災應變對策
地震為發生機率高且不易預測之天災，近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震；且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷)，因此如何面對這麼巨大的天然災害，並於第一時間做好緊急應變，固守人員安全並快速回復...
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E-Management of Emergency Response Center and Its Application
緊急應變中心電子化管理與應用
緊急應變中心（ERC）在半導體工廠乃至所有企業是至關重要的一個機構，處理異常時需要借助的資源多、器材多、人力多，且遍佈廠區。若開發電子化的管理系統，輔助異常緊急應變，必能產生可觀效益。為此，經由ISEP、IT等部門...
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The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries
高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略
高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多，其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準，而具容許濃度也有可能無建議採樣方法，且環測數據多為未檢出，因而在技術、經費與人力需求上，無法單純使用作業環境監測來解決。如...
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Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System
正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法
在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...
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The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證
為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率，例行保養(PM)是不可或缺的。然而，有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此，本...
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Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing
低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術
本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...
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Environmental Impact Assessment Practice
淺談環境影響評估制度及實務
《環境影響評估法》是環境保護制度中相當重要的一項法規，其創始源自美國1969年國家環境政策法，目前全世界有超過100個國家參考，各國依據自己執行經驗回饋，發展出各國的環境政策並滾動式修正，台灣因其時空背景所發展出的...
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Discussion of Public Hazardous Materials Examination Practice - Example of Taichung Science Park
公共危險物品圖審勘驗實務探討 - 以中科擴建廠為例
國內現行消防法規主要係依據日本消防相關法規引用而來，法規條文內容簡略且分散，各廠區於新建時，負責之廠區製程與庫房人員也隨之更動，因此不瞭解自己的職責，導致實務上遭遇許多挑戰。公共危險物品（後續簡稱公危）審勘重點在於...
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A Study on The Safety Defense of Silane System
矽甲烷供應系統安全防禦之實務探討
矽甲烷具有自燃之化學性質，矽甲烷供應系統各方面之安全防禦顯得格外重要，此物質已被許多供應商及使用者作為技術研究之主題，包含供應架構、鋼瓶結構、工安事件等，本文整合業界技術研究與實際運轉經驗，探討降低矽甲烷外洩之實務...
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金筆獎入圍
Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
本文測試目的為利用高級氧化程序處理廠內含IPA與COD有機廢水，測試中利用廠內含H2O2廢水當為水處理原料並結合UV催化系統所形成OH‧自由基處理廠內含高濃度有機廢水，經由測試結果IPA去除率達99.5%，COD和...
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Design and Experience Sharing for Acidic Waste Drain (O3) Reclaim to Ultrapure Water system
含臭氧酸鹼廢水回收至純水之設計與運轉分享
含臭氧酸鹼廢水為含臭氧的機台排放廢水，其為擴散及蝕刻機台之臭氧產生器與純水混和用來清洗晶圓上的微量有機物。透過排水水質量測及用途追蹤，發現其水質特性為高氧化性、低導電度，總有機碳濃度可達純水回收標準。然而臭氧氧化性...
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New Sterilization Technology - Composite Pulse and Plasma Sterilization Technology
生態保育水活化殺菌技術大進化 - 脈衝電漿殺菌技術
為追求環境保護與生態保育之目標，科學園區管理局針對園區廠商制定嚴格之放流水排放標準，用以降低放流水生物急毒性（TUa）。水處理系統近年來新增氫氧化四甲基銨（TMAH）、氨氮（NH3-N）、廢硫酸（W-H2SO4）處...
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New Blue Ocean of Energy Saving and Waste Reduction - The Principle and Application of MVR
節能減廢新藍海 - 機械式蒸氣再壓縮系統原理概述及應用
廢棄物減量為公司綠色製造主軸之一，2015年致力於廢硫酸去除雙氧水回收再利用，大幅減少廢硫酸委外清運量及處理費用。2016年隨占比調整，30%硫酸銨已躍居最大宗廢棄物，分析30%硫酸銨其中水份佔70%，除增加廢棄物...
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Withdraw Copper from Waste Copper Sulfate-Application of Annular Cylindrical Electrochemical Cells
液中求銅－製程廢硫酸銅回收裝置應用
硫酸銅（CuSO4）為LSI銅製程之重要原料之一，其製程（ECP）廢液濃度可達20 g/L以上，極具回收價值。現行因放流水質限制（竹科放流水銅檢出量需小於1ppm），本公司高濃度廢硫酸銅均採委...
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Effluent Reclamation - Design and Operation of Advanced Oxidation Process Pilot
工業再生水研發 - 高級氧化法模廠的設計與運轉
再生水模廠(AOP Pilot)設備於2015年8月進廠安裝，11月施工完成後導入晶圓工廠排放廢水進行試車，2016年6月模廠進行168小時連續運轉測試。測試時原水TOC大於設計預估值80 ppm，達120-160...
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