TSMC 廠務季刊

2023.12, Vol.52 / 技術專文

Practice of Biological Process Treatment in Organic Wastewater and Innovative Ideas

生物工藝處理TMAH廢水實踐分享與創新發想

文 | 周嚴 | 趙一凡 | 上海廠務部 |

隨著溫室效應的不斷增強，碳達峰、碳中和逐漸成為全球持續關注的話題，而作為半導體行業的領頭羊，公司也在踐行ESG理念，極大地鼓勵並逐步建成建立環境友好型生產處理產綫。在此基礎上，上海厰通過多種小試實驗，結合國內其他行...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文

Supply Risks and Countermeasures of GC under Extremely Cold Weather

極寒天氣下氣化課供應風險與應對策略

文 | 邵駿鵬 | 張偉偉 | 南京廠務部 |

台灣地區位於北緯21°~25°，全年平均氣溫22~27℃，冬季氣候最低僅至4~5℃，目前因極寒天氣造成氣化課運轉異常的報道較少，而隨著台積全球化佈局的進行，各地氣候差異對氣化課運轉影響越來越不可忽視...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文

Quality control-breakthrough development of analytical instrument for slurry dispense system

品質監控-化學研磨液系統分析儀器突破性發展

文 | 曾誌江 | 葉俊宏 | 廠務技術發展部 |

半導體先進製程_CMP化學機械研磨，所使用之Slurry 研磨液品質與CMP defects 息息相關，如何適當地分析研磨液品質更顯得重要。研磨液其組成除了包含研磨粒子之外，還包括一些少量且不同功能的化學品，例如:...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Nitrogen oxide reduction strategies in advanced fabs

先進廠區氮氧化物減量策略

文 | 羅英秦 | 新廠設計部 | 黃信瑋 | 台南廠務六部 |

半導體在製造晶圓的過程中，經常使用大量的「全氟烷化合物」(Perfluorinated compounds, PFCs)，防治設備處理這類型污染物通常是利用高溫裂解使其與氫與氧離子(H+、O...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Plan the construction of air pollution prevention equipment in the limited space of the factory area

成廠區有限空間的空污防治設備建置對策

文 | 曾柏凱 | 新竹廠務二部 |

隨著環保意識抬頭及空污法規的演進，台積電呼應前述，提出ESG 2050年淨零排放目標，老舊成廠區在空污排放系統架構上有著難以改善的硬傷，除了防治設備老舊及備源機制不完全造成停機保養困難，更是有不同種類排氣風管串接混...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Standardization of LSC DRE measurement method and strategy for De-N2O and NOx by Plasma-based LSC

LSC DRE檢測手法標準化及電漿式LSC De-N2O和NOx之策略

文 | 田麒鈺 | 新竹廠務五部 | 簡仲廷 | 新竹廠務五部 |

隨著日趨嚴謹之空污法規、新建廠之環評及公司ESG 2050年淨零排放之目標，FAC致力於發展各種污染物的減量技術。目前多數的CIT案皆是在LSC進行，也因此為了確保這些CIT能有效對空污減量，LSC DRE的檢測手...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Improvement Strategy and Implementation Effect of Mixed Air Emission in RD Fab

RD廠區空污混排改善策略與執行成效

文 | 林裕愷 | 新竹廠務五部 | 黃友元 | 新竹廠務五部 |

RD Fab 先進製程研發致使製程不斷變化，2020 new chemical申請數較前幾年上升71%(全年120件)，依F12B實驗運轉經驗制訂從源頭、現址式洗滌塔(Local Scrubber)至中央處理設備(...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

VOC introduces new technology and moves towards net zero emission of air pollution

VOC導入新技術_邁向空污淨零排放

文 | 洪鈺葳 | 台中廠務一部 | 蔡景安 | 台中廠務一部 |

沸石轉輪濃縮系統作為台機廠區的主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中其吸附能力為處理效率之關鍵，然而高沸點VOCs會因脫附溫度不足進而隨時間殘留於沸石轉輪中，大部分廠區透過提升脫附溫度來改善此一現象，卻忽略材料...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Improving the Removal Efficiency of Particulate Matters

固態污染物_去除效率精進改善

文 | 吳俊賢 | 台中廠務三部 | 劉冠宏 | 十五B廠工安衛生部 |

F15B 空污排放標準除須符合半導體製造業相關法規外，亦須符合環境影響評估法及科管局之核定總量。因 2021年產能增量 30%，推估硫酸、氫氟酸、鹽酸排放總量會超過環評及科管局限值。本研究於不影響產能之條件下，將現...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

The Investigation and Application of Central Scrubber for Ammonia Emission Reduction

與時俱進的煙道革命_廠區洗滌塔氨氣排放削減研究與應用

文 | 吳瑞興 | 台南廠務一部 | 陳元昊 | 綠色製造部 | 邱冠瑋 | 台南廠務一部 | 陳睿森 | 台南廠務二部 |

隨著空氣污染防治議題蓬勃發展、環保法規日益嚴峻等等原因，空氣污染防治技術及煙道排放濃度減量逐漸成為關注焦點。TSMC F6及F14A共同遭遇的空污問題以酸性洗滌塔(SEX)酸鹼混排及去除效率不佳為主，為符合未來法規...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Establishment of ammonium sulfate drying system and air pollution control technology

循環經濟_硫酸銨乾燥系統設立與空污防治技術

文 | 高舶格 | 台南廠務四部 |

隨著產能及研發規模持續擴充，台積公司採取「廢棄物產出最小化，資源循環使用最大化」的廢棄物管理方針。其中，針對廢硫酸及氨氮廢水，繼民國104年成功轉製為可委外再利用的硫酸銨廢液；台積公司再次領先業界、進一步導入「機械...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Discussion of the ability of Salix to capture ammonium salt droplets and the outlook of VOCs flow at Polymer/PR Stripping process.

Salix應用於Polymer/PR Stripping之銨鹽類霧滴捕捉能力提升與VOCs流向展望

文 | 蔡宗偉 | 台南廠務八部 | 廖家偉 | 台南廠務八部 |

Polymer/PR Stripping 濕製程使用Wet Bench常見的高溫硫酸(SPM)與NH4OH，並同時利用IPA洗滌Wafer表面，故在製程尾氣處理具有酸性氣體與有機物(VOCs)...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Burn Type Local Scrubber Decrease NOx Emission

現址式燃燒洗滌塔NOx減量

文 | 江昱慶 | 台南廠務八部 |

目前廠內現址式燃燒洗滌塔(Burn Type Local Scrubber)主要處理全氟化合物(PFC)，因其處理溫度較高，容易產生副產物-NOx，本文將以降低處理溫度及減少反應物兩方面探討，在符合廠內破壞去除效率...

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2023.09, Vol.51 / 技術專文

Development and research on monitoring technology of arsenic-containing waste gas in Nanjing Factory

南京廠含砷廢氣的監管技術的發展與研究

文 | 張波 | 南京廠務部 |

含砷廢氣作為劇毒性氣體，在大陸環保管制被從嚴要求，監管手段除了常規的煙囪出口量測，更趨向于源頭管控。本文因應法規要求，於前端現址式處理裝置出口設置單獨風管收集，並設立標準檢測口進行標準化採樣檢測，在廢氣進入主管段之...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

Solution and Structure Investigation to Set Up Medium Capacity Gas Engine Generator for FAB Electric Power

中型燃氣引擎發電機設置供應廠區方案及架構探討

文 | 湯宏謙 | 徐正威 | 新廠設計部 |

面對台灣電力近年供電吃緊狀況，台電頻繁要求園區用戶配合降載，廠區需配合開啟發電機供電，以協助台灣電力度過吃緊時段，時間約莫在下午 4 點至晚上 8 點太陽下山的時段。廠內發電機使用柴油作為燃料，當大量發電機啟用時，...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文

The Analysis of Emergency Generator Diesel Engine Overheating Problem and The Improvement of Radiator Heat Exchange Efficiency

發電機限電運轉柴油機過熱問題與散熱器熱交換效率改善探討

文 | 鍾旭成 | 新竹廠務一部 |

近年來台灣區域性限電(Power Rationing)頻率升高，許多用電大戶積極配合台電公司啟動廠內緊急發電機(Emergency Generator)進行發電，協助台電分擔電網負荷，渡過電力危急時刻。因此在各用電大戶的...

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