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2022.3, Vol.45 / 技術專文
LSC Switching valve Risk Management and Intelligent Application
LSC切閥風險管理及智能化應用
文 | 林欣駿 | 台中廠務三部 | 林俊億 | 台中廠務三部 |
隨著台積製程演進與空污改善需求的增加，工廠內的廢氣處理設備(Local Scrubber, LSC)切閥次數也更加頻繁，其各廠區LSC切閥異常的案件及影響機台生產的品質也不斷的攀升。為了避免各廠區人員切閥異常造成的...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Diagnosis systemic for Fluorine emission
氟氣排放診斷
文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |
半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
Hollow Fiber-based TOC Filter
中空纖維TOC濾網 - AMC濾網設備化的新紀元
文 | 曹志明 | 廠務技術發展部 |
針對先進製程區域MAU出口端異丙醇/丙酮極低濃度的規範要求，既有活性碳(Active Carbon)型濾網對異丙醇(Isopropyl Alcohol, IPA)以及丙酮(Acetone)去除效率差且握持量不足，極短的時...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
The defense and strategy against small molecule TOC in UPW system
純水小分子TOC的防禦與對策
文 | 楊昀瑍 | 台南廠務九部 | 傅正貴 | 台南廠務九部 |
隨著半導體製程的精進(N5→N3製程)，使用的超純水越趨純淨，其中總有機碳(TOC)過高將導致晶圓表面氧化及結晶缺陷，導致蝕刻不均、清洗效率不佳。各廠廠務超純水系統對TOC素有極高的去除效率(POU出口已...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Decreasing COD concentration of effluent by increasing efficiency of Bio-System
實現綠色製造-增進生物系統處理效率達到放流COD減量
文 | 林佑勳 | 台中廠務四部 |
隨著半導體製程的精進，晶圓製程用於防倒線及除水痕異丙醇(IPA)的使用量逐漸上升，N7世代IPA使用量已為N16世代之6倍，在已可觸及的N2世代，IPA用量更可達N16之16倍。對於放流水中化學需氧量濃度，如何能低...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Painless upgrade method and practice of old technology plant's gas/ chemical supply system
舊科技廠房氣化供應系統無痛升級方法與實務
文 | 劉桐村 | 台南廠務一部 | 廖俊凱 | 台南廠務一部 |
本文主要說明高科技廠房的廠務設備會隨時間不斷的演化和進步，並伴隨著長時間的運轉經驗而提出更好的系統改善方案，老舊的科技廠房將面臨兩大挑戰。
第一 : 系統硬體部分因逐年老化需汰舊換新並藉由不斷完善改善...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Optimization Of Waste H2SO4 Decrease H2O2 System
廢硫酸去除雙氧水系統最佳化探討
文 | 曾治寰 | 郭中閔 | 劉柏青 | 台南廠務三部 |
本文以「最佳化探討」(Optimization)廢硫酸去除雙氧水系統，針對廢硫酸(W-H2SO4)去除雙氧水(H2O2)回收系...

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點閱 (117)
2021.12, Vol.44 / 技術專文
Static electricity prevention is done well, no worries at work!
靜電防治做得好，工作沒煩惱
文 | 林佳瑩 | 台南廠務五部 |
半導體製程中高分子有機溶劑為常見使用之化學品，因其低導電率特性，廠務端供應機台容易經高分子有機溶劑流動摩擦發生靜電擊穿現象增加供應上之風險。在不影響廠務端穩定運轉卻能達到靜電防治效果狀況下建議供應機台使用抗靜電材料...

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點閱 (80)
2021.12, Vol.44 / 技術專文
Nondestructive-Inspection by Using Electromagnetic Acoustic Transducer for pipe inspection
非破壞性檢測-應用電磁超音波探傷儀檢測管路腐蝕狀況
文 | 吳以壯 | 新竹廠務一部 |
隨著廠區翻新工程如火如荼進行，其中針對金屬管路以除鏽並重新油漆的方式，讓原本望過去有著鏽斑的管路煥然一新。然而實際施作時卻面臨了另一個問題，將管路表面生鏽去除、打磨後開始出現滲漏的狀況，因管路內部、焊道已有砂孔，或...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Analysis and Prevention of Tank Leakage of Water Treatment System
水處理系統桶槽洩漏之分析與防治
文 | 莊仲霆 | 台南廠務三部 | 張峻嘉 | 台南廠務三部 |
不論化學品的儲存桶槽或是運轉系統桶槽，一旦發生損壞則會影響整個系統的操作更可能影響人身安全。F14P12遭遇多次桶槽洩漏事件，為了瞭解其真正洩漏原因，進而收集F14A(F6、F14P12、F14P34)廠區內桶槽出...

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點閱 (129)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
Modularized Handover Management Method for New FAB Certification and Acceptance
新建廠認證驗收模組化移交管理方法
文 | 林文榮 | 台南廠務六部 |
因應新世代製程演進及消費市場的強烈需求，公司新建廠房頻繁已成為這幾年來的常態。為了能更快速進入生產模式，相對的新廠房如何在最短時程進入運轉生產已成為必然之趨勢。新建廠專案分成以下四個主要階段：設計規劃→監...

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點閱 (83)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
Discussion on The Development Roadmap of Facility Laboratory
探討廠務實驗室發展藍圖
文 | 吳連芳 | 廠務技術發展部 |
在半導體工廠裡廠務扮演極重要的角色，來自供應商的原物料(水、化學品、研磨液、氣體、空氣)，都需經由廠務系統供應至生產線，使用後的廢水、廢酸、廢氣，又須經由廠務系統處理。面對日益精密的製程，廠務系統的品質也必須不斷提...

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點閱 (59)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
The Planning, Design, and Strategies
for Tai-Chung Zero Waste Manufacturing Center
文 | 張瑄 | 台中廠務處 |
To overcome the challenges of climate changes, limited resources, and population growth, TSMC has committed co...

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點閱 (124)
2021.9, Vol.43 / 技術專文
FMCS Development Plan for Stable Operation and Advance Deployment
邁向穩定運轉之FMCS發展計劃
文 | 劉佳芳 | 新竹廠務處 | 王明富 | 台中廠務處 | 陳民凱 | 台南廠務處 | 邱宇萱 | 新竹廠務處 |
全世界的智慧化的發展如第五代通訊系統、物聯網系統、去中心化區塊鍊系統、自動駕駛汽車、人工智慧及未來線上與線下串聯的元宇宙的發展趨勢，台積電所產生的晶片為以上系統的基礎建設，所以台積電的規模隨著智慧化與高速運算發展不...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文
Air Circuit Breaker Failure Mode and Effects Analysis
預測性保養不是空想-而是起而行的工作
文 | 傅威中 | 古佩弘 | 温品沅 | 竹科廠務1廠務一部 |
空氣斷路器是低壓電力系統中分層保護的重要開關設備，倘若斷路器性能老化失效，將造成非預期性的嚴重損失。本文透過失效模式與影響分析方法加深維護空氣斷路器之重要性，並藉由台積新竹廠區實施大規模保養發現的異常案例加以分類解析，列...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文
Management and Improvement methods of Power Quality in RD Fab
RD Fab電力品質管理與精進策略
文 | 曾煥堯 | 林航均 | 竹科廠務三部 |
近年來由於電力電子技術快速發展，不斷電系統、變頻器等非線性負載設備廣泛應用於現代科技廠房，由於此類非線性負載設備所產生的諧波電流，會反饋回電力系統，將造成電力系統電壓電流波形畸變、失真，影響電力品質，導致電力設備如變壓器...

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