TSMC 廠務季刊

2024.03, Vol.53 / 技術專文

Net-zero-Future plan for carbon capture

淨零排放的挑戰-碳捕捉技術及未來展望

文 | 葉彥甫 | 新廠設計二部 | 蔡景安 | 台中廠務一部 | 田麒鈺 | 新竹廠務七部 |

台灣行政院環保署於2023年因應全球氣候變遷並確保國家永續發展為前提訂定氣候變遷因應法，同時成立碳權交易所，預計於2025年開始徵收碳稅。台積公司也於2021年建立淨零排放目標，預計2040年達到淨零排放並規畫淨零...

按讚

0

點閱 (23)

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Standardization of LSC DRE measurement method and strategy for De-N2O and NOx by Plasma-based LSC

LSC DRE檢測手法標準化及電漿式LSC De-N2O和NOx之策略

文 | 田麒鈺 | 新竹廠務五部 | 簡仲廷 | 新竹廠務五部 |

隨著日趨嚴謹之空污法規、新建廠之環評及公司ESG 2050年淨零排放之目標，FAC致力於發展各種污染物的減量技術。目前多數的CIT案皆是在LSC進行，也因此為了確保這些CIT能有效對空污減量，LSC DRE的檢測手...

按讚

0

點閱 (27)

2022.3, Vol.45 / 技術專文

Diagnosis systemic for Fluorine emission

氟氣排放診斷

文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |

半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

按讚

0

點閱 (48)

2022.3, Vol.45 / 技術專文

Air pollution Improvement-As Emission Reduction Analysis

空污改善-煙道有害空氣污染物-砷及其化合物減量研究

文 | 楊映茹 | 台南廠務四部 | 鄭詠丞 | 亞太廠務處 |

因應環保署新增半導體煙道有害空氣汙染物排放限值，廠內離子植入使用之砷化氫經處理後產生之砷及其化合物屬於公告物種之一，公司除需符合法規也有責任降低砷及其化合物之排放量。

解析F14B歷年煙囪檢測砷...

按讚

0

點閱 (23)

2019.9, Vol.35 / 技術專文

Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab

研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略

文 | 黃友元 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 |

空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...

按讚

1

點閱 (604)

2019.9, Vol.35 / 技術專文

Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber

應用濕式旋風集塵器於製程尾氣處理設備改善細懸浮微粒研究

文 | 張聖杰 | 中科廠務一部 |

PM2.5空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備(Local Scrubber,LSC)後端酸性排風管所產生阻...

按讚

0

點閱 (139)

2018.12, Vol.32 / 技術專文

The Discussion of Arsenic Compounds Measurement in Exhaust of Local Scrubber

砷尾氣處理設備量測方法探討

文 | 顏雅琳 | 六廠工安環保部 | 陳怡兆 | 六廠廠務部 |

砷化氫為半導體業製程氣體，具有毒性及致癌性，反應殘氣由機台排出後，進入吸附式尾氣處理設備處理，去除效率則以砷化氫偵測器確認，經過處理的尾氣會再經過中央濕式洗滌塔後由煙囪排出。處理過程中，部分砷化氫轉化為固態砷化物，...

按讚

0

點閱 (495)

2018.6, Vol.30 / 技術專文

Local Scrubber Clogging Improvement and PM Frequency Reduction

製程廢氣處理設備阻塞改善與保養頻率有效減量

文 | 王仁暉 | 南科廠務三部 |

製程廢氣處理設備因為會有副產物的產生，而需進行預防保養，但若副產物過於頻繁的阻塞問題發生，使得保養頻率升高，造成人力資源投入與負荷過大，即為異常阻塞事件，因此必須要進行各項阻塞改善措施去減量。本文即以南科廠所遇到的...

按讚

0

點閱 (104)

2018.6, Vol.30 / 技術專文

The By-product and Parameter of Burning Type Local Scrubber

燃燒水洗式洗滌塔操作參數與副產物探討

文 | 范銘哲 | 王仁暉 | 楊孟堯 | 南科廠務三部 |

製程廢氣中危害性氣體及全氟碳化物(PFCs)僅能由現址式空氣處理設備(Local scrubber)處理削減，而Local scrubber之操作參數與製程廢氣去除效率息息相關，為確保削減效率，大多以「Worst ...

按讚

0

點閱 (112)

2018.6, Vol.30 / 新象新知

Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing

低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術

文 | 謝曜謙 | 竹科廠務一部 | 張木彬 | 國立中央大學 |

本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...

按讚

0

點閱 (85)

2016.6, Vol.22 / 技術專文

Prevention is Better than Cure - Preventive Maintenance of Local Scrubber a Thorough Study and Breakthrough

預防勝於治療 - 製程尾氣處理設備預防保養追根究底與瓶頸突破

文 | 郭勝欽 | 張貴琳 | 竹科廠務三部 |

本文主要分析製程尾氣處理設備(以下簡稱Local Scrubber)粉末(以下簡稱Powder)阻塞的原因，並針對廢氣處理系統設備內部引氣管路進行改善，依據製程氣體特性及管路流場，分析製程尾氣經彎曲段或流向改變時，...

按讚

0

點閱 (88)

金筆獎入圍

2016.6, Vol.22 / 新象新知

Local Scrubber Enhancement─ UV Technology Application in N2O Reduction

廢氣處理設備大突破 - 紫外光技術應用於氧化亞氮減量

文 | 吳怡君 | 中科廠務一部 |

2015年12月聯合國COP21巴黎協定，通過限制全球升溫不超過攝氏2度的目標，各國政府紛紛提出國家自定減碳計畫，面對日益嚴格之溫室氣體減量管制趨勢，為達到廠區自我要求改善目標，本文以目前台積電僅次於PFCs第二大...

按讚

0

點閱 (50)

文章分類

熱門關鍵詞