TSMC 廠務季刊

2023.09, Vol.51 / 技術專文

Discussion of the ability of Salix to capture ammonium salt droplets and the outlook of VOCs flow at Polymer/PR Stripping process.

Salix應用於Polymer/PR Stripping之銨鹽類霧滴捕捉能力提升與VOCs流向展望

文 | 蔡宗偉 | 台南廠務八部 | 廖家偉 | 台南廠務八部 |

Polymer/PR Stripping 濕製程使用Wet Bench常見的高溫硫酸(SPM)與NH4OH，並同時利用IPA洗滌Wafer表面，故在製程尾氣處理具有酸性氣體與有機物(VOCs)...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

Challenges and breakthrough of 200mm Fab system expansion-example by VOC/VEX system expansion

200mm廠區系統擴充面臨考驗與突破-以VOC/VEX系統擴充為例

文 | 李振中 | 竹科廠務二部 |

三廠原始空污處理系統無設計備援機制，各區域僅要求維持負壓，後期為維持負壓，擴充時僅考慮管路串並聯混接，且AEX/VEX為法規加嚴後才進行擴充。為在不影響無塵室運作下擴充系統卻導致擴充後系統過於複雜，增加系統穩定運轉困難度...

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2022.9, Vol.47 / 技術專文

RD Fab Outside Air AMC Improvement-Analyzation and Verification of Optimizing Operating Parameters of Zeolite Rotor Concentrator

RD Fab外氣AMC改善-沸石濃縮轉輪運轉參數最佳化之分析與驗證

文 | 陳建豪 | 新竹廠務四部 | 詹資盛 | 新竹廠務六部 | 張貴琳 | 新竹廠務四部 |

隨著半導體製程的演進，氣態分子汙染物(Airborne Molecular Contamination, AMC)對於半導體製程良率的影響愈來愈顯著，並有許多案例證實其中的低分子量汙染物IPA對於B.S.(Barrier...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Inspection and Re-creation a Friendly Environment for Air Pollution Reduction for 30-year-old Factory

30年老廠空污健檢減量與再造友善環境

文 | 魏君穎 | 新竹廠務一部 |

由於環境污染日趨惡化，加上近年來環保意識抬頭，各界對於污染管制紛紛提高標準，工廠廢氣的排放也受到關注。對企業而言，除了必須遵守空氣污染法規的要求外，如何在資源有限的情況下降低廢氣的排放量和改善防制設備發揮最大效益，...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文

Destruction efficiency promotes with LOW NOx Operational Parameters of Dual Rotor VOCs Process System for Green Manufacturing

綠色製造 - VOC雙轉輪系統處理效率提升與LOW NOx運行參數

文 | 盧人瑜 | 亞太廠務處 | 楊詠翔 | 台南廠務六部 |

雙轉輪VOC開始使用，目的為提高VOCs的處理效率，降低排放量以利空污減量，廠區內使用廠商分為D公司與J公司，單轉輪設計處理效率為95%，雙轉輪設計預計能到達99%以上處理效率，VOCs的排放量減少為單轉輪設計的1/5。...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Improvement of Removal Efficiency Using Reverse-direction Desorption in Zeolite Rotor

高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率

文 | 何大弘 | 竹科廠務一部 | 姚文淙 | 竹科廠務一部 | 謝振友 | 中科廠務三部 |

現今台積廠區均使用沸石轉輪濃縮系統作為主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中沸石轉輪之吸附能力為處理效率之關鍵。而沸石轉輪藉由高溫脫附以及定期水洗兩種方式維持吸附能力。然而在長期使用後，沸石轉輪會因脫附溫度不均...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

The Challenge of Semiconductor VOCs Exhaust Treatment System & Innovation of High Removal Efficiency

半導體業揮發性有機物高效率尾氣處理系統的設計挑戰與創新

文 | 楊詠翔 | 新廠工程管理部 |

由於半導體製造技術日趨複雜、環保意識抬頭，讓空污排放的議題成為輿論關注的焦點。目前公司所採用的沸石轉輪搭配焚化系統已具備可接受的處理效率及高可靠度之特點，也是目前業界主要的VOCs 處理技術。在面對空污排放的要求越...

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2018.6, Vol.30 / 技術專文

Research on IPA Chemical Filter Efficiency Improvement

談異丙醇化學濾網使用效率提升之研究

文 | 林瑞昆 | 竹科廠務三部 |

異丙醇(IPA)對於電化學電鍍(ECP)製程之晶邊良率具有極大的影響，ECP區域IPA主要來源為外氣空調箱(MAU)引入，汙染源來自於本身或鄰近廠區煙囪排放(約佔70%)，其次為化學研磨製程(CMP)機台洩漏或蝕刻...

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2017.6, Vol.26 / 技術專文

High Boiling VOCs Treatment Techniques for Advanced Process of Semiconductor Plant

先進製程之高沸點揮發性有機物處理技術應用

文 | 葉峮甫 | 竹科廠務一部 | 林哲冠 | 竹科廠務一部 | 周家祿 | 竹科廠務三部 |

半導體製程中，最主要的揮發性有機化合物汙染物包含乙醇、異丙醇、丙酮、丁酮、丙二醇單甲醚乙酸酯、單乙醇胺、雙三甲基矽胺，當中組成後沸點成分高過於150℃的汙染物可稱為高沸點揮發性有機化合物，其對半導體業常用的汙染處理...

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銀筆獎

2016.6, Vol.22 / 技術專文

Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction

排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維

文 | 錢立行 | 陳庭鈞 | 竹科廠務一部 |

本文主要探討半導體廠排氣中揮發性有機物處理設備─沸石濃縮轉輪系統之設計改善，將脫附用載流氣體從入口高濃度廢氣變更為脫附後乾淨空氣，嘗試以新思維降低揮發性有機物排放量，並針對轉輪後確實殘留高沸點VOCs進行實證，供後...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

Micro Contamination Prevention -Application of IPA Reduction in F12P6 ECP Area

微污染防治 - 十二廠六期電化學電鍍製程環境異丙醇減量之應用與探討

文 | 趙世閔 | 李懷宇 | 周家祿 | 竹科廠務三部 |

隨著半導體製程快速演進，氣態分子汙染物(AMC)對於半導體廠的製程良率有顯著影響，異丙醇(IPA)為常見之溶劑，普遍用於機台清潔與製程內晶圓清洗，已有許多案例證實IPA對於電化學電鍍（ECP）製程之晶邊良率具有極大...

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2016.6, Vol.22 / 新象新知

New Design of VOCs Abatement System : Regenerative Thermal Oxidizer and Rotary Recuperative Thermal Oxidizer

揮發性有機物削減設備節能新設計：蓄熱焚化爐與旋轉閥式蓄熱焚化爐

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 曹志明 | 十五廠六期新建工程專案 | 劉邦昱 | 華懋科技股份有限公司 |

目前公司廠內所使用的有機廢氣處理，採用沸石濃縮後再以高熱進行焚化，並且利用熱回收，將燃燒後的廢熱透過熱交換提高燃燒前的廢氣溫度；而隨著節能的目標不斷提升，燃燒所消耗的燃料量也漸漸受到重視，以熱再生技術取代熱回收技術...

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