Exhaust Revolution - Innovatory Idea of Volatile Organic Compounds Reduction
排氣革命 - 揮發性有機物減量新思維
Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber
應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制
台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外，同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC)，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...
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Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...
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Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology in Exhaust System
廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術
半導體製程產生之酸鹼廢氣經化學反應為鹽類固體，分散在空氣中成為懸浮微粒，造成排氣煙囪產生煙霧現象，而引起健康及環保問題。本研究運用高度密合纖維材料構成之深度淨化裝置與現址式洗滌塔設備串聯，針對酸槽之機台尾氣進行氣膠...
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Improvement of Removal Efficiency Using Reverse-direction Desorption in Zeolite Rotor
高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率
現今台積廠區均使用沸石轉輪濃縮系統作為主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中沸石轉輪之吸附能力為處理效率之關鍵。而沸石轉輪藉由高溫脫附以及定期水洗兩種方式維持吸附能力。然而在長期使用後，沸石轉輪會因脫附溫度不均...
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Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions
煙道酸鹼即時連續監測系統研究
於廠務運轉層面，各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行，如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量，煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中，選...
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Combined Inspection Robot and AI monitoring for Cleanroom Quality Control
自動巡檢結合智慧監控應用於無塵室空氣品質量測
半導體產業蓬勃發展，因此對於無塵室內的溫溼度、氣態分子污染物 (AMC)等生產環境品質的控管越趨嚴格，現階段以自動分析儀器並拉設採樣管對固定位置進行AMC監控，並輔以人力至現場進行巡檢。隨著晶圓生產廠區規模越趨龐大...
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AI application-AMC prediction by machine learning and pollution source analysis
應用AI-AMC機械學習預測與污染來源分析
因應市場的需求，半導體製程技術演進快速，電晶體30年內已縮小了1000倍，到了五奈米的技術，而隨著規格及產線環境要求的提升，氣態分子微汙染(airborne molecular contamination, AMC...
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Chiller Optimization-Auto Clean Tube System for Condenser of Chiller
冰機最佳化的最後一哩路-冷凝器ACTS的應用
廠務空調系統中以冰水主機為最耗能之設備，冰機主要散熱結構為冷凝器，其中因冷卻水為開放系統，水中容易生成微生物及藻類並於冷凝器銅管壁上形成結垢，進而降低冷凝器熱交換效率，使壓縮機需提升作功以達成散熱造成耗能增加，本文...
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Cleanroom Supply Air Quality Improve-Outside Air Pre-washer
無塵室空氣再淨化-外氣預水洗處理
半導體製程世代持續演進，製程對氣態分子汙染物AMC(Airborne Molecular Contamination)管控要求亦越趨嚴格及重視，如何有效控制無塵室內AMC品質便成為廠務運轉上的重要課題。以AMC要求...
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The prevention of hydrogen leak from EPI LSC in N28 plant
虛驚不再來-N28 EPI LSC洩漏全面改善
N28 EPI製程會排放高濃度的氫氣至LSC進行處理，但隨著LSC元件逐漸老化導致LSC前段水洗氫氣洩漏風險上升。本文針對F15A廠內三個氫氣洩漏的虛驚案例，發現原因為機台設計、元件老化及既有保養方法不足，並以此朝...
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Lubrication Improvement for Electric Motor Bearing and Investigation of Predictive Maintenance by Ultrasound Detection.
馬達軸承潤滑改善與超音波預知保養手法探討源分析
馬達故障原因中，軸承故障佔41%，大部分為潤滑不良造成。潤滑失效中最主要因素為潤滑不足，造成介面間直接摩擦而磨損。然而潤滑不足導致的因素卻不只是油加的不夠，反而過度注油也會間接造成潤滑不足與其他不良影響。
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The application of two-fluid atomization nozzle and cyclone dust collection
粉塵變不見 - 二流體與旋風集塵的綜合運用
半導體製程當中，每一道製程均有不同的副生成物，其中爐管製程中的六氯矽乙烷(HCD)與二氯矽甲烷(DCS)高溫燒結與水洗後所產生的二氧化矽(SiO2)粉塵與鹽酸(HCl)一直是難以處理的項目，不但會造...
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Explore for Line stopping method
流體管路線上阻斷工法探討
半導體工廠生產線全年不間斷運轉，廠務中央供應系統常因系統擴充、零件汰換需求甚至異常破管、洩漏問題不得不停線維修，造成不必要額外損失。線上帶壓開孔工法(HOT TAPPING)經過數十年不斷演變，可靠度與安全性亦不斷...
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Application of IOT Tech. on Air abatement system Failure Prediction
應用IOT技術於AAS早期震動故障預警系統
因應趨向嚴苛的空氣污染防制法，降低因保養不當/未發現異常/系統壽命造成之系統異常為本廠相當重視之議題，於本篇中以互聯網與機械學習作為主軸。來探討使用具有高彈性的αduino架構用於空氣污染防治設備上以期...
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Chemical supply system upgrade-The challenge of engineering under uninterrupted
化學供應系統架構升級-生產供應不中斷之困難與挑戰
化學供應系統歷經多年的演進及改善，於新廠區已呈現相對穩定的運轉狀態。但反觀老廠之化學供應網絡及控制器已明顯跟不上世代，不斷的在老舊系統上進行小規模的CIT改善只能說是治標不治本，如何將供應網絡全面更新及控制器升級才是長遠...
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Wet Cyclone Participator of PM2.5 Reduction in Local Scrubber
應用濕式旋風集塵器於製程尾氣 處理設備改善細懸浮微粒研究
PM2.5空氣污染與健康危害之議題近年開始受到重視，為因應民眾對環境品質要求提升的期望，本研究探討目前半導體業界粒狀物防制技術應用，以及製程尾氣處理設備(Local Scrubber,LSC)後端酸性排風管所產生阻...
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