Treat Wastewater by Wastewater! Treatment of IPA and COD Wastewater by UV/AWD H2O2 Process
廢水處理廢水！以紫外光結合雙氧水 廢水程序處理異丙醇與化學需氧量廢水
Strategies and Countermeasures for Emergency Response in Magnitude 6 Earthquake
六級強震巨災應變對策
地震為發生機率高且不易預測之天災，近幾年陸續於全球各地出現六級以上強烈地震；且強震對半導體廠造成之傷害極大(包含人員安全與生產中斷)，因此如何面對這麼巨大的天然災害，並於第一時間做好緊急應變，固守人員安全並快速回復...
按讚
2收藏
2點閱 (145)
Intelligent Learning Algorithm in Fluorine Emissions Warning Mechanism of Local Scrubber
應用智能學習演算法建立製程尾氣處理設備氟氣排放預警機制
台積電空氣污染防制設計採用「源頭分類、多段式處理」做法，除了依國家法規設置中央式空氣處理設備(CSC)外，同時更針對不同製程氣體特性增設高效率現址式空氣處理設備(LSC)，使排入大氣的污染物含量符合或優於政府規定。...
按讚
2收藏
2點閱 (656)
金筆獎入圍
Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants
半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控
以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...
按讚
2收藏
2點閱 (955)
Flood Control Strategies of Plants in Southern Taiwan Science Park
南科防洪策略
南科地區在2009年莫拉克風災時，出現超過200年重現期的降雨量，當時廠房雖未淹水受損，但從風險預防及營運持續管理的角度，我們希望具體量化洪水風險，檢討對應的改善措施，並建立預防機制。考量氣候變遷可能惡化極端氣象條...
按讚
1收藏
1點閱 (158)
A Case Study on Improvement to Mixed Acid Exhaust System for New Process Tools
先進製程酸性排氣混排改善對策探討
隨著公司近年來陸續進入先進製程，使用的氣體及化學品種類變得更多，生產過程也變得更複雜，衍生出排氣煙道中有混排及白煙問題，顯示既有系統已無法完全妥善且有效的處理製程廢氣。本文使用半定量及定量儀器進行採樣，鑑別出酸性排...
按讚
1收藏
0點閱 (337)
Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...
按讚
1收藏
1點閱 (603)
Aerosol Reduction Using Depth-filtration Technology in Exhaust System
廢氣中氣膠微粒深度淨化處理技術
半導體製程產生之酸鹼廢氣經化學反應為鹽類固體，分散在空氣中成為懸浮微粒，造成排氣煙囪產生煙霧現象，而引起健康及環保問題。本研究運用高度密合纖維材料構成之深度淨化裝置與現址式洗滌塔設備串聯，針對酸槽之機台尾氣進行氣膠...
按讚
1收藏
1點閱 (129)
Improvement of Removal Efficiency Using Reverse-direction Desorption in Zeolite Rotor
高溫逆脫附技術改善沸石濃縮轉輪去除效率
現今台積廠區均使用沸石轉輪濃縮系統作為主要揮發性有機物（VOCs）防制設備，其中沸石轉輪之吸附能力為處理效率之關鍵。而沸石轉輪藉由高溫脫附以及定期水洗兩種方式維持吸附能力。然而在長期使用後，沸石轉輪會因脫附溫度不均...
按讚
1收藏
1點閱 (161)
Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions
煙道酸鹼即時連續監測系統研究
於廠務運轉層面，各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行，如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量，煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中，選...
按讚
1收藏
0點閱 (120)
E-Management of Emergency Response Center and Its Application
緊急應變中心電子化管理與應用
緊急應變中心（ERC）在半導體工廠乃至所有企業是至關重要的一個機構，處理異常時需要借助的資源多、器材多、人力多，且遍佈廠區。若開發電子化的管理系統，輔助異常緊急應變，必能產生可觀效益。為此，經由ISEP、IT等部門...
按讚
1收藏
0點閱 (97)
The Challenge and Coping Strategies of Hazardous Chemical Exposure Assessment and Control Banding in High-tech Industries
高科技業危害性化學品暴露評估及分級管理制度面臨之挑戰與因應策略
高科技產業先進製程繁複且變化快速、使用化學物質多，其中並非所有危害性化學品皆具容許濃度標準，而具容許濃度也有可能無建議採樣方法，且環測數據多為未檢出，因而在技術、經費與人力需求上，無法單純使用作業環境監測來解決。如...
按讚
1收藏
0點閱 (154)
Innovative Method of Optimization Energy Saving Control for Positive and Negative 2°C -Chilled Water System
正負2℃–冰水系統最佳化控制創新方法
在半導體廠房因冰水系統佔廠區用電量約20%，所以許多同行和專家在冰水系統節能控制方面投入了相當大的精力，但要使冰水系統中各運轉設備運轉於最佳效率點(最省能)目前在業界一直無法有效方法突破。本文應用大數據分析及利用各...
按讚
0收藏
0點閱 (172)
The Application of High-temperature Desorption for Honeycomb Zeolite Concentrator Treatment System in Semiconductor Fab Facility Systems
高溫脫附法應用於沸石轉輪處理效率改善之探討與驗證
為了使揮發性有機物(VOC)處理設備保持良好的去除效率，例行保養(PM)是不可或缺的。然而，有些高沸點VOC是無法透過沸石轉輪清洗被清除，甚至隨著時間會有殘留於沸石轉輪的現象，迫使去除效率漸漸衰減至91%。因此，本...
按讚
0收藏
0點閱 (161)
Application of Non-thermal Plasma Catalysis for Energy Saving and Greenhouse Gas Reducing
低溫電漿加觸媒─節能減碳新技術
本文主要探討因應半導體廠排放氣體特性，將廠內熱電漿現址式空氣處理設備(Local Scrubber)進行節能改善，嘗試以新思維改善其高耗能的特性，並同時能保持對溫室氣體(PFCs、N2O)的高...
按讚
0收藏
0點閱 (84)
Environmental Impact Assessment Practice
淺談環境影響評估制度及實務
《環境影響評估法》是環境保護制度中相當重要的一項法規，其創始源自美國1969年國家環境政策法，目前全世界有超過100個國家參考，各國依據自己執行經驗回饋，發展出各國的環境政策並滾動式修正，台灣因其時空背景所發展出的...
按讚
0收藏
1點閱 (83)
Discussion of Public Hazardous Materials Examination Practice - Example of Taichung Science Park
公共危險物品圖審勘驗實務探討 - 以中科擴建廠為例
國內現行消防法規主要係依據日本消防相關法規引用而來，法規條文內容簡略且分散，各廠區於新建時，負責之廠區製程與庫房人員也隨之更動，因此不瞭解自己的職責，導致實務上遭遇許多挑戰。公共危險物品（後續簡稱公危）審勘重點在於...
按讚
0收藏
0點閱 (134)