TSMC 廠務季刊

2020.6, Vol.36 / 新象新知

New Generation Particle Measurement Technique for Liquid Phase Chemical

新世代液相化學品微粒量測技術

文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 |

本文介紹一套由公司和工研院共同合作開發液相化學品微粒量測系統，又稱超級微粒量測儀(SuperSizer, SS)。有別於一般市面上常見的液體微粒計術器(LPC)僅能測至20 nm的微粒，且僅能提供4至5道粒徑區間的測值，...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文

Operating Parameters Optimization of Chiller System through Big Data

大數據分析冰水供應系統操作參數最佳化設定

文 | 吳孝修 | 蔡宗原 | 竹科廠務二部 |

近年來廠務系統上的訊號源已收集至資料庫內，但這些資料以往只針對系統供應品質上去分析，鮮少對系統優化或者是節能運轉去探討，本專案採用i-EDA2 / SAS數據分析軟體，將冰水供應系統最佳壓力設定進行調整，此調整基準...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文

Analysis of Total Flammable Gas of Insulating Oil in Early Warning Mechanism of Oil-immersed Transformer Failure

絕緣油總可燃性氣體分析油浸式變壓器故障之早期預警機制

文 | 溫建順 | 竹科廠務六部 |

工業界廣泛使用之油浸式變壓器其油品品質關係著絕緣能力，亦與工廠供電可靠度有高度相關，油浸式變壓器除上下游開關保護協調與本體和OLTC相關機構保護之外，定時檢視絕緣油品質與內部可燃氣體成分可作為油浸式變壓器健康程度的...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文

Facility Department Level's Job Classification and Future Improving Measures

廠務部級組織分工效益及未來改善對策

文 | 洪男雄 | 廠務處 |

台積公司各廠務部自2014年合併為300mm FD後，部門組織調整為值班運轉(Operation)，部門專案(Project)，預防保養(PM)等三大功能。本研究透過量表方式，收集竹科同仁對目前分工功能的意見，量表...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文

The Systematic Solution for Aged Facility Refurbishment Engineering

廠務系統化全面翻新

文 | 林韋志 | 南科廠務一部 |

由於廠務系統老化，以至於功能失效所導致的事件時有所聞，常使工廠蒙受人員傷亡、環境衝擊、非計畫性停線、檢修成本提高等，對於企業永續經營造成重大不利影響，不能等閒視之。本文主要由南科十四A廠全面翻新的定義及目標訂定、範...

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金筆獎入圍

2018.12, Vol.32 / 技術專文

Risk Control for Preventive Maintenance Work of Equipment Engineer in Semiconductor Manufacturing Plants

半導體廠區員工維修保養作業暴露風險管控

文 | 林崇瑋 | 何薇如 | 十五A廠工安環保部 |

以傳統勞委會公告之作業環境監測方法進行半導體作業人員化學品暴露評估，結果多為未檢出，且無法得知污染物即時暴露實態及作業過程危害因子。為釐清人員暴露及機台維修保養可能產生副產物，必須有不同採樣分析策略。本文運用不同類...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文

Safety Design for the System to Remove Hydrogen Peroxide from Waste Sulfuric Acid

廢硫酸去除雙氧水系統安全防護提升

文 | 呂欣 | 十四B廠工安衛生部 | 劉明翰 | 十四B廠工安衛生部 | 唐祺夏 | 十八廠 | 劉柏青 | 南科廠務五部 | 蕭千城 | 南科廠務五部 | 吳厚萱 | 中科廠務五部 |

本文以危害與可操作性分析(HAZOP)及收集13個廠區運轉經驗，評估廢硫酸 (W-H2SO4) 去除雙氧水 (H2O2) 回收...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文

Application of Near Infrared in the Detection of Slurry

談近紅外線光譜於研磨液檢測之應用

文 | 許紹鵬 | 南科廠務二部 |

目前研磨液供應系統的線上雙氧水濃度儀使用氧化還原滴定分析法，單筆分析時間長，在運轉維護上需消耗人、物力且分析過程產生的廢液也會造成環境衝擊；此外，傳統研磨液品質分析量測項目，已無法滿足線上晶圓生產品質需求。本文研究...

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2018.9, Vol.31 / 新象新知

Development of the Quality Check System for Specialty Gases

特殊製程氣體之品質監測系統開發

文 | 劉俊男 | 中科廠務五部 | 巫幸峰 | 新廠設計部 | 黃介然 | 新廠設計部 |

本計畫設計了一套特殊製程氣體之品質監控系統(SGQCS)，以補足目前特殊氣體在所有生產原物料中品質監控較弱的一環。此系統結合了現有的氣瓶櫃(GC)，再由一個選擇箱體(Select Box)、一套分析儀器主體及一個氣...

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2017.12, Vol.28 / 技術專文

Environmental Impact Assessment Practice

淺談環境影響評估制度及實務

文 | 紀碧芳 | 新廠設計部 |

《環境影響評估法》是環境保護制度中相當重要的一項法規，其創始源自美國1969年國家環境政策法，目前全世界有超過100個國家參考，各國依據自己執行經驗回饋，發展出各國的環境政策並滾動式修正，台灣因其時空背景所發展出的...

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2015.12, Vol.20 / 技術專文

Analysis of Implementing Intelligent Parking Management System - TSMC Fab15

導入智慧化停車管理系統之效益分析與探討 - 以中科十五廠為例

文 | 廖偉勝 | 公共設施服務部 |

近幾年來，資通訊技術（Information and Communication Technology, ICT）技術蓬勃發展，無線射頻辨識技術（Radio Frequency Identification, RF...

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2015.12, Vol.20 / 技術專文

The Intelligent Exhaust Pollution Control System - TSMC F14P3

廚房廢氣處理系統智慧化研究 - 以十四廠三期為例

文 | 馬匡偉 | 公共設施服務部 | 許隆凱 | 公共設施服務部 | 伍建南 | 公共設施服務部 |

將ICT技術導入台積電F14P3辦公室的廚房廢氣處理系統中；藉由感測器(pH/ORP計及導電度計)的裝設，來改善目前必須巡檢才能得知系統運轉狀況及無法判斷系統處理效率的問題；將感測器所感測到的數據傳回BAS，與內建...

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2014.6, Vol.14 / 新象新知

The Application of Intelligent Video Fire Detection System

智慧型火災影像偵測系統之應用

文 | 鄒李達 | 新廠設計部 | 洪文當 | 新廠設計部 |

目前廠內在潔淨室、氣體房、化學房、電腦機房、變電站...等區域安裝的火災煙霧偵測器，不論是VESDA、光電或離子式偵測器，須待現場煙霧濃度擴散及遮蔽率達一定程度以上，警報才會觸發，(依不同環境可能耗時 2~3 分鐘...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Signal Processing and Spectral Analysis

訊號處理及頻譜分析

文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |

The signal processing is the fundamental to deal with digital signal data, such as vibration or earthquake ...

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2013.3, Vol.09 / 技術專文

Steel Quantity Calculation Program for ETABS® 3D Model

ETABS結構模型鋼構數量精算程式

文 | 栗正暐 | 群策工程顧問公司 |

本文提出新的鋼結構數量計算軟體工具，可以在短時間內直接以鋼結構設計軟體ETABS結構模型為原始資料庫，計算主體鋼結構數量與雜項鋼構數量，包含:小斜撐、螺栓、剪力釘、橫隔板、加勁板、剪力連結板、斜撐連接板、柱底板&h...

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2012.10, Vol.08 / 技術專文

Performance Test for 40nm Liquide Particle Counter

40奈米液相微粒分析儀實測

文 | 洪舜立 | 專案管理部 |

在晶圓的生產過程中微粒(Particle)會造成品質瑕疵，甚至於報廢，因此如何量測與去除一直是個重要議題，本文針對量測液相流體微粒的新式40奈米微粒分析儀(Particle Counter)與現行主力65奈米分析儀...

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