TSMC 廠務季刊

2016.9, Vol.23 / 技術專文

New Revolution in Slurry Filtration System - Cross Flow Filtration

研磨液過濾系統新革命 - 掃流過濾

文 | 江宜蓁 | 奈米材料中心一部 | 曾誌江 | 新廠設計部 |

在半導體製程中，改善晶圓缺陷為提昇良率重要的一環。以化學機械研磨中的刮傷缺陷之改善為例，一般常見手法為裝置濾心以降低研磨液中微粒子數，但目前過濾方法的效果十分有限。本研究顛覆過去既有的過濾思維，在半導體業首創掃流式...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

New Sterilization Technology - Composite Pulse and Plasma Sterilization Technology

生態保育水活化殺菌技術大進化 - 脈衝電漿殺菌技術

文 | 徐愷澤 | 中科廠務二部 |

為追求環境保護與生態保育之目標，科學園區管理局針對園區廠商制定嚴格之放流水排放標準，用以降低放流水生物急毒性（TUa）。水處理系統近年來新增氫氧化四甲基銨（TMAH）、氨氮（NH3-N）、廢硫酸（W-H2SO4）處...

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2016.9, Vol.23 / 技術專文

Withdraw Copper from Waste Copper Sulfate-Application of Annular Cylindrical Electrochemical Cells

液中求銅－製程廢硫酸銅回收裝置應用

文 | 連翊鈞 | 竹科廠務一部 |

硫酸銅（CuSO4）為LSI銅製程之重要原料之一，其製程（ECP）廢液濃度可達20 g/L以上，極具回收價值。現行因放流水質限制（竹科放流水銅檢出量需小於1ppm），本公司高濃度廢硫酸銅均採委...

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2016.6, Vol.22 / 技術專文

Development and Application of Energy Conversion Factors (ECFs) Calculator of Fab Facility Systems

廠務能源轉換係數計算器之研究發展及應用

文 | 蔡耀文 | 林廸 | 胡石政 | 國立台北科技大學能源與冷凍空調工程系 |

製程機台的耗能除了本身直接的電力需求外，尚需考量廠務系統之能耗，SEMI S23定義了能源轉換係數為提供單位製程設施使用量所需之耗電量，透過廠務「能源轉換係數」（Energy Conversion Factor, ...

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2015.9, Vol.19 / 技術專文

lectrical ExplosionPrevention Guidelines and Practice

電氣防爆規範與實務

文 | 徐永政 | 廠務品質管理部 |

本文介紹防爆危險場所之防爆設備安裝、選用規則，以及新建廠之防爆設備規劃。依新建廠防爆區之危險區域劃分結果，大部分區域危險等級劃分為Zone 2，有少部分區域劃分為Zone 1（易燃液體供應區/儲存區之集液井溝）及Z...

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金筆獎入圍

2014.6, Vol.14 / 技術專文

Simulation of Stack Emission and the Impact on Cleanroom Intake Air

以計算流體力學模擬煙囪對外氣空調箱進氣品質的影響

文 | 陳駿華 | 新廠設計部 | 馮郁寧 | 國立臺北科技大學 | 胡石政 | 國立臺北科技大學 |

本研究採用有限體積法，透過計算流體力學(CFD)軟體 – Ansys-FLUENT進行相關分析，以一新建廠房相關數據進行模型的建立，同時將鄰近廠區相關數據納入評估，針對該廠區在不同季節條件下，污染物(總...

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2014.3, Vol.13 / 新象新知

SEMI Taiwan High-Tech Facility Committee

台灣高科技廠房設施委員會

文 | 鄭昭平 | 新廠規劃部 | 張陸滿 | 國立台灣大學 | 李靜怡 | SEMI台灣高科技廠房設施委員會 |

高科技半導體廠房設計與監造的能力對產業未來的發展與競爭力極為重要，台灣可以透過提高廠房設施之技術層次，突破關鍵技術之瓶頸，採取產學策略聯盟合作加速研發，以提昇在國際上的競爭能力及永續實力; SEMI台灣高科技廠房設...

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金筆獎入圍

2013.6, Vol.10 / 技術專文

Real Time Monitoring System for Low Frequency Magnetic Field in Semiconductor Fabs

低頻磁場即時監測系統於半導體廠房的應用

文 | 于淳 | 廠務技術發展專案 |

半導體廠房內到處都充斥著電磁波，為使機台彼此不受電磁波干擾而能正常作業，就必須作好半導體廠房的電磁波管理，第一步先要建立即時電磁波監測系統，本文探討即時電磁波監測系統所需的感測器要求、即時電磁波監測系統建立的方式，...

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2013.6, Vol.10 / 技術專文

Advanced Chemical and Slurry Supply with Particle Control

先進半導體廠化學品供應系統及微粒子控制

文 | 徐銘宗 | 新廠設計部 | 江宜蓁 | 十二B 廠廠務工程專案 | 謝欣容 | 十二B 廠廠務工程專案 |

本文將討論半導體廠化學品及化學研磨液供應系統微粒子控制的設計和改進的方向以及未來的晶圓廠化學品及化學研磨液供應系統新挑戰。其次，研究化學研磨液顆粒大小和穩定性，以管理研磨液使用時間、減少缺陷，特別是大顆粒粒子（LP...

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2013.3, Vol.09 / 新象新知

450mm Development and Challenge

十八吋晶圓發展現況

文 | 鄭昭平 | 新廠規劃部 |

半導體晶圓廠對18吋晶圓的需求，如同過去8吋轉到12吋一樣，原因很簡單，就是為了降低成本，以能繼續維持競爭力並得以生存。去年(2012)是相當重要的一年，全球推動18吋晶圓之相關組織陸續成立，其組成結合了產學界組織...

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2012.10, Vol.08 / 新象新知

Waste Chemical Recycle Technology

化學廢液回收再利用技術

文 | 鄭昭平 | 廠務技術發展專案 |

18吋(450mm)晶圓這個名字在半導體產業從2007年的初試啼聲，到現在大家已耳熟能詳，其所代表的意義，18吋已不再是“做”與“不做”的爭議，而是反應出對它的需求越...

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2012.10, Vol.08 / 新象新知

Recent Development of OLED ( Organic Light Emitting Diode)

可撓式OLED顯示器最新應用

文 | 林宥芯 | 新廠規劃部 |

近年來隨著科技進步，個人電腦、網路及資訊傳播的普遍化，顯示器成為了人機互動不可或缺的重要角色，而不斷進步的顯示技術更是帶動了顯示器產業跨躍式的發展。傳統ㄧ般的CRT螢幕對使用者來說，顯得厚重、佔體積，因此已逐漸的被...

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2012.7, Vol.07 / 新象新知

Green thinking -LED Bulb

持續創新的綠色思考 - LED球泡燈

文 | 蕭宇廷 | 鍾欽廊 | 林彰明 | 李柏璁 | 公共設施服務部 |

高效能的綠色設計可減少能源消耗，而小小的改變卻可節省大大的能源。電燈的發明，對於現今人類日常生活來說，已經成為不可或缺的用品，而隨著科技的日漸成熟、技術持續的創新及環保節能意識的驅動之下，電燈泡製程由原先的白熾燈泡...

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2012.4, Vol.06 / 技術專文

Floor Vibration Assessment

樓板振動評估

文 | 陳錦村 | 廠務技術發展專案 |

The floor vibration control is very important not only to High-Tech manufacturing factory but also to other...

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2012.1, Vol.05 / 技術專文

i-GET System (Intelligent-Gas Chemical Tracing)

氣體及化學原物料品質即時追蹤系統

文 | 朱慧明 | 研究專案部 |

隨著製程技術進入奈米世代，原物料對晶片良率的影響越來越重要，當有異常發生時，能夠迅速的找到問題所在，並採取必要的防護措施是非常關鍵的，i-GET (Intelligent - Gas Chemical Tracin...

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2011.10, Vol.04 / 特別企劃

Chemiless Town Project to Prevent Sick-building Syndrome

減少病態建築症候群之低化學示範屋

文 | 詹長權 | 臺灣大學 | 謝瑞豪 | 臺灣大學 | 森千里 | 千葉大學大學院 | 花里真道 | 千葉大學大學院 |

由於目前新式的大樓大多使用中央空調，無法以自然換氣的方式來進行室內與室外空氣的置換，因此室內空氣品質對於現代的居住環境更為重要，因此本篇報告，以日本千葉大學所進行的低化學示範屋計畫，介紹該計畫如何使用低化學的建築工...

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