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2020.7, Vol.37 / 技術專文
Study on Facility Organization and Operation Methodology in RD FAB
論研發廠廠務組織的規劃與運作模式
文 | 尤國男 | 竹科廠務五部 |
廠務組織承擔工廠永續營運的基礎，設計規劃新廠區並為公司提供穩定和維護良好 的運營環境。其中研發廠廠務總是在新製程開發階段與RD組織密切合作，一方面參 與製程問題改善，另一方面解決新製程衍生的空污、水污問題等。同時把這些累...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文
To investigate the Challenge of AAS Systems in tsmc 8"Semiconductor Fab
探討台積電八吋晶圓廠空污處理系統的挑戰
文 | 連上舜 | 竹科廠務二部 |
隨著台灣歷經了多次的空氣污染防制法的修訂與政策變遷，建置時的空污處理設備效率不彰是許多老廠正面臨的問題。如何持續精進空污處理設備以達到公司綠色製造，永續經營的理念是關鍵。本文以台積電首座八吋晶圓製造廠三廠為例，運用KT決...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文
Intelligent Management of Predictive Maintenance of Rotating Equipment
轉動設備預知保養智慧化管理探討
文 | 張智能 | 八廠廠務部 |
轉動設備的預知保養檢測資料彙整在FAM平台(Facility Assets Maintenance)，對接一套智慧化預知保養管理系統將檢測結果轉變為管理進化的強大資料庫，除了原有SPC(Statistical Proce...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文
Challenges and Strategies of Air Pollutants Emission Reduction in R&D Fab
研發廠空氣污染物排放減量之挑戰與策略
文 | 黃友元 | 盧銘駿 | 竹科廠務三部 |
空氣污染問題已成為人們日常討論的議題，統計陳情案件，以高科技廠較為集中的新竹科學園區周圍空氣污染問題最多，而空污的來源大多數由未經適當處理的污染物經由煙囪排出。面對民眾生活環境及複雜製程所使用的化學物質，操作者應思...

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2019.9, Vol.35 / 技術專文
RCW Recycling for Air Pollutant Removal of Central Scrubber
中央洗滌塔排水 回收再利用改善空污排放
文 | 楓祥儀 | 陳聖偉 | 陳能泉 | 中科廠務一部 |
半導體廠空氣污染物處理設備以中央洗滌塔(Central Scrubber)為主，因製程需求演進導致機台廢氣酸鹼混排問題，而目前先進製程廠區酸性氣體排放管道中，氨氣皆佔有一定排放量比例，而煙囪排放氨氣濃度也間接影響無...

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2019.9, Vol.35 / 新象新知
Acid/alkaline On-line and Realtime Monitoring System of Stack Emissions
煙道酸鹼即時連續監測系統研究
文 | 康智翔 | 錢立行 | 竹科廠務三部 |
於廠務運轉層面，各項空氣污染物減量改善對策已展開並如火如荼的進行，如酸槽機台異丙醇(IPA)源頭改善及排放減量，煙道不透光率改善及氟氣(F2)異味改善也都已有成效。在這些改善項目執行過程中，選...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
Distributed Optical Fiber Sensing Temperature On-Line Monitoring and Locate Fault for Power Cable
分散式光纖電力電纜溫度即時監測及故障預警測距系統
文 | 鍾易璋 | 竹科廠務三部 |
透過電力電纜監測技術的原理概況，探討傳統測溫方法與即時光纖測溫技術的優劣，得知光纖測溫系統在電力電纜應用中的先進性和優越性，進一步研究拉曼散射的原理以及光時域反射技術闡述光纖測溫系統的基本原理以及應用的可行性。本文...

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2019.06, Vol.34 / 技術專文
Preventive Detection Mechanism for Attenuation of Direct Current Capacitor in Variable - frequency Drive
變頻器直流電容衰減預防檢測機制
文 | 陳弘毅 | 中科廠務一部 |
本文針對已在線上運轉之變頻器，並本身無設計直流電容端電壓與電流偵測之系統，提出不停機即可初篩內部直流電容是否失效之方法。利用直流電容端點的引出，即可線上量測漣波電壓比值，進而反映串聯電容兩端之電容比值。由漣波電壓之...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Establish TSMC Ecological Management Objectives and Development Roadmap
建構台積電生態環境管理目標與發展藍圖
文 | 鍾振武 | 公共設施服務部 |
本研究旨在探討如何建構台積電生態環境管理目標，並藉由動態式管理手法將短、中、長期的工作計畫轉化為台積電生態環境發展藍圖。透過國內外文獻回顧整理，擬定台積電生態環境管理5大目標及其30個關鍵因子，以問卷深度訪談40位...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
The Development Roadmap of Environmental Facility for Advanced Semiconductor Operations
先進半導體廠房環保設施發展藍圖
文 | 李明利 | 新廠設計部 |
本研究旨在探討未來先進半導體廠房環保設施發展藍圖，先從文獻回顧過去世界半導體業的環保設施發展方向，從中汲取未來可能需持續改善的重點。再從檢討目前半導體廠房在空氣及放流水的防治方法，伴隨製程發展的演進及環保法令要求趨...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Methodology for Exploring Air Pollution Control Measures in R&D Fab
探索研發廠空污防制對策之方法論
文 | 王若杰 | 竹科廠務三部 |
現今半導體製程發展一日千里，研發廠所面臨的空污排放問題，在處理防制上已是越來越困難了，其原因主要為研發廠空污問題具多變性及未知性，多未能有良好的空污處理經驗以茲依循，另因應研發製程的需求迫切，可擬定空污防制對策的時...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Building-up Effective CPM Managements for New Fab Construction Project
建構高科技廠房建廠要徑管理模式
文 | 呂孟倉 | 新廠工程管理部 |
本文由高科技廠房建廠時程管理的實務切入，討論要徑法(CPM)在高科技廠房工程上的限制。並藉由軌道運輸啟示，提出類比列車軌道時程管理上與高科技廠房建廠時程管理有相似之處，研究建構一個適用於高科技廠房建廠專案的要徑管理...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Apply Weibull Probability Distribution Function to Evaluate the Predictive Maintenance Method of Facility
應用韋伯可靠度機率理論來評估廠務系統預知保養策略
文 | 林豪逸 | 南科廠務二部 |
南科十四A廠自2004年成廠至今，已邁入第十五個年頭，各廠務系統老化問題日漸嚴重，導致設備損壞維修頻率逐漸增加，如何藉由保養維護來減少非預期性的設備故障與延長系統設備壽命，同時不過度保養造成保養成本浪費，達到設備保...

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2019.03, Vol.33 / 技術專文
Establish a Big Data Platform to Enhance Water Treatment Efficiency and to Perform Equipment Predictive Maintenance
建立大數據管理平台以提升水處理系統效能與實現設備預知保養
文 | 王俊元 | 南科廠務五部 |
在一個晶圓廠中，為維持系統的穩定運轉與品質要求，「維護保養」是一個重要的基本要素。在廠務的運轉系統中，往往我們會用傳統式固定時間或固定頻率的方式進行設備維護保養，但過度保養與維修保養不及的狀況都有機會發生。然而，系...

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2018.12, Vol.32 / 技術專文
Reinforcement of Lock out / Tag out Procedure and Its Implementation
談上鎖掛牌程序的強化及執行方式
文 | 林宗龍 | 蔡岳奇 | 十五B 廠工安環保 |
為維護作業的安全，常以工程控制、作業程序與防護具等方式進行，過去上鎖掛牌僅於高風險作業執行。文獻指出，上鎖掛牌程序阻斷危害源，可降低作業產生的風險，如化學品供應端閥件、電源供應元件等。本計畫採以下流程進行 : (1...

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2018.9, Vol.31 / 技術專文
Cobalt Recycle Methodology Study on Waste Water Treatment
廢水外排不鈷息： 先進製程廢水全鈷回收
文 | 蒙彥超 | 竹科廠務三部 |
鈷被大量應用於晶圓先進製程，而其產生之含鈷廢水造成的重金屬汙染對於環境有很大衝擊，需要一個妥善處理含鈷廢水方法，將處理後含鈷有害廢棄物轉換為有價的金屬資源回收，並減少避免處理過程中的衍生環境汙染風險。本篇研究以螯合...

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