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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Development of a quality monitoring technique of low-pressure gases by applying the Optical Emission Spectroscopy(OES)
光譜分析儀應用於低壓氣體品質監測之技術開發
文 | 王紹宇 | 蔣竣光 | 劉俊男 | 台中廠務四部 |
F15B廠務過去三年曾歷經了多次SiCl4氣體鋼瓶供應品質異常的狀況。每次事件都是發生在氣櫃切邊供應之後約莫20-60分鐘，線上機台反映測得N2不純物，今年在F18A與F...

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2023.12, Vol.52 / 技術專文
Quality control-breakthrough development of analytical instrument for slurry dispense system
品質監控-化學研磨液系統分析儀器突破性發展
文 | 曾誌江 | 葉俊宏 | 廠務技術發展部 |
半導體先進製程_CMP化學機械研磨，所使用之Slurry 研磨液品質與CMP defects 息息相關，如何適當地分析研磨液品質更顯得重要。研磨液其組成除了包含研磨粒子之外，還包括一些少量且不同功能的化學品，例如:...

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2023.06, Vol.50 / 技術專文
MTU Generators Repairment Standardization
制定標準守則 -MTU 發電機故障查修流程化
文 | 何松穎 | 吳宸禾 | 台南廠務二部 |
於現今發電量綠能占比與日俱增、基載電力不足的環境下，造就供電穩定度與天氣息息相關之結果，限電一詞因而日漸頻繁出沒，各企業工廠急電穩定度亦因此日趨重要。MTU引擎於國內目前主力應用於海軍軍艦動力，其電控式噴油系統低廢...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
Management Of Facility Water System Operation for Fast Ramping Up
因應新廠快速擴產下的水系統運轉管理心法
文 | 林志剛 | 台南廠務九部 |
近年新廠快速擴展，於2021年達到前所未見的高峰(F12P8, F18P4/P5, AP2C, AP06)，平均每90天完成一座FAB。因應裝機時程緊湊，整體工期需較以往縮減6~9個月，主要挑戰如下 : ①缺工缺料 : ...

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2022.12, Vol.48 / 技術專文
Bio-ACF(BAC)'s technology applied decreasing TMAH of the effluent water
Bio-ACF(BAC)技術應用於廢水TMAH濃度減量之機制與研究
文 | 郭適瑜 | 林昱廷 | 蔡億茂 | 台南廠務五部 |
因全球半導體與光電業蓬勃發展，大量使用氫氧化四甲基胺(TMAH)顯影劑。本文中提到傳統樹脂可以有效吸附高濃度TMAH，但對於低濃度TMAH處理效益低，導致放流水TMAH雖符合園區納管標準卻未達ESG排放目標(<1m...

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2022.3, Vol.45 / 技術專文
From Deep Learning Techniques to MLOps Concepts : Take CCTV Surveillance Analysis as an AI-Landing Example
從深度學習技術到MLOps : 以CCTV影像工安辨識談人工智慧的落地應用為例
文 | 謝志宏 | 廠務數位發展部 | 翁逸驊 | 廠務數位發展部 | 林君穎 | 廠務發展處 | 黃俊銘 | 廠務發展處 |
各項報告指出，由於工地環境複雜多變，從高處墜落及物體飛落砸傷等風險，使得營建業成為近年來重大職業災害人數最多的產業。然而傳統以人員持續監控CCTV影像畫面來強化工地安全的作法，需投入大量的人力工時，除了在工程範圍擴大時，...

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點閱 (105)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Diagnosis systemic for Fluorine emission
氟氣排放診斷
文 | 林朝順 | 台南廠務二部 |
半導體製程原物料與副產物中含有多種危害性氣體(腐蝕/爆炸/毒性/...等)，因此需在主機台後端裝設前段廢氣處理設備(LSC)來處理這些危害性氣體，才可確保廢氣排放達到安全及環保的規格。然而這些高腐蝕性氣體也會侵蝕L...

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點閱 (48)
2022.3, Vol.45 / 技術專文
Optimization of Intelligence application efficiency_Real-time analysis for exhaust sub-main with tool FDC
智能應用效率最佳化_Exhaust sub-main自動連結設備FDC即時分析系統
文 | 吳聖儀 | 台南廠務六部 |
300mm廠務組織合併後，集合眾專家所長推出了廠務資訊整合平台-OneFAC，藉此輔助廠務運轉管理，也因系統整合，廠務有平台可獲取各廠的廠務相關資訊，可說廠務運轉管理已邁向成熟階段。然而對廠內資訊的呈現仍不夠即時，...

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2021.12, Vol.44 / 技術專文
Prevention of chemical filter contamination
化學系統濾心污染防治
文 | 羅立偉 | 日本新廠專案 | 鍾易龍 | 新廠設計部 | 梁高維 | 台南廠務七部 |
隨先進製程技術不斷推進，化學供應品質也面臨挑戰，偵測品質標準中的金屬含量及含不純物成為製程關鍵。既往影響產線供應品質汙染源，以原物料及耗材供應商製造與包裝品質異常之案例為甚，又以定時保養更換系統耗材或配件影響風險較...

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2021.9, Vol.43 / 技術專文
Discussion on The Development Roadmap of Facility Laboratory
探討廠務實驗室發展藍圖
文 | 吳連芳 | 廠務技術發展部 |
在半導體工廠裡廠務扮演極重要的角色，來自供應商的原物料(水、化學品、研磨液、氣體、空氣)，都需經由廠務系統供應至生產線，使用後的廢水、廢酸、廢氣，又須經由廠務系統處理。面對日益精密的製程，廠務系統的品質也必須不斷提...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文
New Generation FAB Gas Insulated Switchgear Design Structure Evolution
新世代廠房之氣體絕緣開關設備設計架構再進化
文 | 邱士齊 | 研發廠務部 | 湯宏謙 | 新廠設計部 |
台積廠區為特高壓電力用戶，座落於科學園區內。台電超高壓變電所採用環路架構供電給科學園區內各家工廠，並使用GIS電力設備，因此台積廠區也是使用GIS與台電環路連接供電。
GIS是廠內電力系統最上游的電力設備，...

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2021.6, Vol.42 / 技術專文
Air Circuit Breaker Failure Mode and Effects Analysis
預測性保養不是空想-而是起而行的工作
文 | 傅威中 | 古佩弘 | 温品沅 | 竹科廠務1廠務一部 |
空氣斷路器是低壓電力系統中分層保護的重要開關設備，倘若斷路器性能老化失效，將造成非預期性的嚴重損失。本文透過失效模式與影響分析方法加深維護空氣斷路器之重要性，並藉由台積新竹廠區實施大規模保養發現的異常案例加以分類解析，列...

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2020.12, Vol.40 / 技術專文
Evolution and Integration of Compressed Air System Energy-Saving Technologies
壓縮空氣系統節能技術演進與整合
文 | 薛弘仁 | 南科廠務1廠務五部 | 游昇哲 | 南科廠務2廠務二部 |
我們整合了文獻上的節能技術進行壓縮空氣系統之環境改善、機台改善、控制模式改善，最後導入新的物聯網大數據分析概念，使用Atlas ES360中央控制器進一步程式運算分析配置端緩衝槽壓力數據然後由其動態預測壓力回饋調整供應端...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
The Problem Solving Method for Faclity Interruption Event.
廠務系統供應中斷問題解決方法
文 | 劉佳芳 | 竹科儀控系統課 |
隨著半導體製程不斷演進與製程複雜、及高科技產品快速地推陳出新 ，晶圓的價值也持續攀高，及必須快速生產推向市場，一但廠務供應中斷影響生產，或是廠務排放品質異常導致環保問題，除了工廠大範圍運作受影響，公司信譽與形象也會受負面...

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2020.8, Vol.38 / 技術專文
Uninterrupted Quality Management–Facility SMP
持續不間斷的品質管理–廠務SMP
文 | 何吉修 | 南科儀控系統二課 | 吳永堂 | 廠務處 | 李豐豪 | 新廠設計部 |
台積公司的整合製造管理平台(Super Manufacturing Platform, SMP)，除了能讓客戶得到相同的品質與可靠度，還能享有更大的產能彈性、縮短良率學習曲線與量產時間，並減少昂貴的產品重新認證所需要的流...

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2020.7, Vol.37 / 技術專文
To investigate the Challenge of AAS Systems in tsmc 8"Semiconductor Fab
探討台積電八吋晶圓廠空污處理系統的挑戰
文 | 連上舜 | 竹科廠務二部 |
隨著台灣歷經了多次的空氣污染防制法的修訂與政策變遷，建置時的空污處理設備效率不彰是許多老廠正面臨的問題。如何持續精進空污處理設備以達到公司綠色製造，永續經營的理念是關鍵。本文以台積電首座八吋晶圓製造廠三廠為例，運用KT決...

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